真空规的捕集装置的制作方法

本实用新型涉及真空测量装置的技术领域，具体涉及一种真空规的捕集装置。

背景技术：

为了准确监测和控制腔室内的真空度，一般采用真空规进行测量，目前真空规最为常用的是电容式薄膜真空规，这种真空规的内部设置有感受压力的薄膜，其检测原理是：利用薄膜两边压力不同而使薄膜变形偏移，从而改变了薄膜与电极间之距离，进而使电容改变，最终可以求得压力变化。电容真空规内部的感压薄膜对颗粒沉积比较敏感，如果薄膜上沉积颗粒较多就会导致薄膜的变形发生变化，从而导致测量结果不准。

目前在沉积物较多的场合，一般的做法是定期对真空规进行重新调零，使得沉积物不会影响测量结果，在沉积物堆积过多无法通过调零修正之后，则将真空规淘汰。因此，沉积物不仅严重影响了测量的精度，也大大影响了真空规的使用寿命。

公开号为cn109411385a的中国专利申请，其公开一种真空规连接组件和半导体设备，真空规和反应腔室之间通过收集件相连通，所述收集件能够收集所述气流中的颗粒杂质，因此气流中的颗粒杂质会通过连接管进入到收集件内，可以避免颗粒杂质进入到真空规内部，从而可以提高真空规测量反应腔室内的气体压力的准确度，进而可以提高各工艺阶段的产品制作良率。

上述申请中，虽然增加了收集件，从而延长气体在收集件和连接管的停留时间，使得沉积物更多沉积在收集件中，但这种收集件不能更换，会改变气体流态影响测量结果，对需要精确控制气体压力的工艺影响严重。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种真空规的捕集装置，以解决现有技术中沉积物的收集装置会改变气体流态影响测量结果的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：提供一种真空规的捕集装置，用于将真空规和待检测空腔相连通，包括：连接管以及用于收集沉积物的捕集组件，所述连接管的一端与所述真空规可拆卸连接，另一端与所述待检测空腔可拆卸连接；所述捕集组件包括主动捕集器和被动捕集器，所述主动捕集器和所述被动捕集器均串联于所述连接管上，且所述捕集组件与所述连接管可拆卸连接。

进一步地，所述主动捕集器包括四个电极柱和分别连接四个所述电极柱的射频电源，四个所述电极柱平行设置并围合形成四极场，且所述电极柱的长度方向与所述连接管的延伸方向一致。

进一步地，所述主动捕集器包括阴极筒体、间隔设于所述阴极筒体内的阳极栅网以及与所述阴极筒体和所述阳极栅网相连接的电源。

进一步地，所述阴极筒体内还设有气体挡板，所述气体挡板位于所述阳极栅网远离所述真空规的一侧。

进一步地，所述气体挡板位于所述阴极筒体的中间，且所述气体挡板的外缘与所述阴极筒体的内壁之间具有间隙。

进一步地，所述被动捕集器包括活性炭吸附件和分子筛吸附件。

进一步地，所述活性炭吸附件和所述分子筛吸附件分别位于所述主动捕集器的相对两侧。

进一步地，所述捕集组件设于所述连接管和所述真空规的连接处；或者，所述捕集组件的两端均连接有所述连接管，且两端的所述连接管分别与所述真空规和所述待检测空腔相连接。

进一步地，所述捕集组件和所述连接管的连接处设有密封结构。

进一步地，所述密封结构采用橡胶密封或金属密封。

本实用新型提供的真空规的捕集装置的有益效果在于：与现有技术相比，本实用新型真空规的捕集装置，在真空规和待检测空腔之间设置连接管和捕集组件，连接管可以增长真空规和待检测空腔之间的距离，使得较大的颗粒物在运动时可以沉降在连接管的内部，且捕集组件可以对沉积物进行捕集，其中主动捕集器可以在气体流动时即对带电物质的颗粒杂质进行捕集和沉降，被动捕集器可以利用其物理原理对中性物的颗粒杂质进行过滤，达到捕集颗粒杂质及其他沉降污染物的效果，保证真空规可以精确测量工艺气体压力，并且捕集组件可以拆卸，可以将捕集组件拆卸，进入专门的清洗装置中进行清洗，清洗完毕后重新安装后既可以继续使用，其使用寿命长且能够有效地减少了沉积物沉积在真空规的膜片上的几率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的真空规的捕集装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例1提供的真空规的捕集装置的主动捕集器的结构示意图；

图3为本实用新型实施例2提供的真空规的捕集装置的主动捕集器的结构示意图。

附图标记说明：

1、真空规；2、待检测空腔；3、连接管；4、捕集组件；41、主动捕集器；42、被动捕集器；411、电极柱；412、阴极筒体；413、阳极栅网；414、气体挡板；421、活性炭吸附件；422、分子筛吸附件。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

请一并参阅图1，现对本实用新型提供的真空规的捕集装置进行说明。所述真空规的捕集装置，用于将真空规1和待检测空腔2相连通，包括：

连接管3，所述连接管3的一端与所述真空规1可拆卸连接，另一端与所述待检测空腔2可拆卸连接；以及

用于收集沉积物的捕集组件4，所述捕集组件4包括主动捕集器41和被动捕集器42，所述主动捕集器41和所述被动捕集器42均串联于所述连接管3上，且所述捕集组件4与所述连接管3可拆卸连接。

本实用新型提供的真空规的捕集装置，与现有技术相比，在真空规1和待检测空腔2之间设置连接管3和捕集组件4，连接管3可以增长真空规1和待检测空腔2之间的距离，使得较大的颗粒物在运动时可以沉降在连接管3的内部，且捕集组件4可以对沉积物进行捕集，其中主动捕集器41可以在气体流动时即对带电物质的颗粒杂质进行捕集和沉降，被动捕集器42可以利用其物理原理对颗粒杂质进行过滤，达到捕集中性物的颗粒杂质及其他沉降污染物的效果，保证真空规1可以精确测量工艺气体压力，并且捕集组件4可以拆卸，可以将捕集组件4拆卸，进入专门的清洗装置中进行清洗，清洗完毕后重新安装后既可以继续使用，其使用寿命长且能够有效地减少了沉积物沉积在真空规1的膜片上的几率。

进一步地，请一并参阅图2，作为本实用新型提供的真空规的捕集装置的一种具体实施方式，所述主动捕集器41包括四个电极柱411和分别连接四个所述电极柱411的射频电源，四个所述电极柱411平行设置并围合形成四极场，且所述电极柱411的长度方向与所述连接管3的延伸方向一致。具体的，主动捕集器41能够对带电物质进行筛选，使得带电物质吸附在电极柱411上，四个电极柱411可以通过适当的扫频电压可以进行沉积物的筛选沉积，使得带电物质无法到达真空规1的膜片上，从而对膜片的测试性能产生影响。其中，捕集的原理是：采用射频电源分别和四个电极柱411相连接，从而形成四极场，且该四极场为交变电场，能够使得具有合适荷质比的带电粒子可以到达膜片上，其它气体粒子如杂质气体粒子将沉积在电极柱411上。根据不同的工艺气体情况，设置可以通过的气体与需要捕集的杂质荷质比，从而达到捕集污染物并精确测量工艺气体压力的效果，结合污染物质谱分析的结果，可以对特定的沉积物成分进行捕集，这样对气体压力的影响可以降到最低。

进一步地，请参阅图1，作为本实用新型提供的真空规的捕集装置的一种具体实施方式，所述被动捕集器42包括活性炭吸附件421和分子筛吸附件422。具体的，活性炭吸附件421是由木质、煤质和石油焦等含碳的原料经热解、活化加工制备而成，具有发达的孔隙结构，其可以对不用的气体均具有吸附能力，但是其吸附能力差距较小，即吸附效果较差；分子筛可以根据不同的气体成分进行选择筛选，从而对中性物的杂质进行捕集，对于特别容易捕集的杂质，可以直接捕捉到被动捕集器42中，也延长了主动捕集器41的寿命。当然，根据实际情况和具体需求，在本实用新型的其他实施例中，被动捕集器42还可以采用单独的活性炭吸附件421、分子筛吸附件422或其他可以实现被动捕集的吸附件，此处不作唯一限定。

进一步地，参阅图1，作为本实用新型提供的真空规的捕集装置的一种具体实施方式，所述活性炭吸附件421和所述分子筛吸附件422分别位于所述主动捕集器41的相对两侧。具体的，活性炭吸附件421和分子筛吸附件422为两个相对独立的被动捕集器42，两个被动捕集器42分别设置在主动捕集器41的两端，既可以保证较好的捕捉沉积物的效果，还可以避免主动捕集器41内捕捉到较多的沉积物，使得其清洗周期较短。优选的，活性炭吸附件421位于主动捕集器41远离真空规1的一侧，分子筛吸附件422位于主动捕集器41靠近真空规1的一侧。活性炭吸附件421和分子筛吸附件422均和主动捕集器41可拆卸连接，从而方便对主动捕集器41进行清洗和更换。当然，根据实际情况和具体需求，活性炭吸附件421和分子筛吸附件422还可以均设置在主动捕集器41远离真空规1的一侧，或者靠近真空规1的一侧，此处不作唯一限定。

进一步地，请参阅图1，作为本实用新型提供的真空规的捕集装置的一种具体实施方式，所述捕集组件4设于所述连接管3和所述真空规1的连接处；或者，所述捕集组件4的两端均连接有所述连接管3，且两端的所述连接管3分别与所述真空规1和所述待检测空腔2相连接。具体的，捕集组件4设置在待检测空腔2和真空规1之间，且待检测空腔2和真空规1之间具有实现气体流通的连接管3，捕集组件4可以进行快速装卸，从而确保捕集组件4在捕集较多的沉积物后可以方便进行更换和清洗。其中，捕集组件4可以两端均和连接管3相连接，也可以一端和连接管3相连接，另一端直接和真空规1相连接，均可以实现将捕集组件4和连接管3相串联的效果，此处不作唯一限定。

进一步地，作为本实用新型提供的真空规的捕集装置的一种具体实施方式，所述捕集组件4和所述连接管3的连接处设有密封结构，所述密封结构采用橡胶密封或金属密封。具体的，捕集组件4为可拆卸的结构，且捕集组件4可以和连接管3相连接，因此需要保证捕集组件4和连接管3之间的密封效果。一般在捕集组件4的两端设置两个连接法兰(图未示)，连接管3的端部或者真空规1的一侧也设置与之相对的连接法兰(图未示)，从而通过螺栓既可以实现可拆卸连接，密封结构可以为垫设在两个法兰之间的垫片，该垫片可以采用橡胶垫片或金属垫片进行密封。或者，该密封结构还可以为密封套管，直接套设在捕集组件4和连接管3的连接处，该密封套管可以采用橡胶材质或金属材质制成，此处不作唯一限定。

实施例2

参阅图3，作为本实用新型提供的真空规的捕集装置的另一种具体实施方式，本实施例中，主动捕集器41包括阴极筒体412、间隔设于所述阴极筒体412内的阳极栅网413以及与所述阴极筒体412和所述阳极栅网413相连接的电源(图未示)。具体的，阴极筒体412为一筒体结构和连接管3相连通，阳极栅网413为垂直于阴极筒体412设置的栅网结构，电源能够分别对阴极筒体412和阳极栅网413进行供电。气体进入由阳极栅网413和阴极筒体412结构的电极中，阴极与阳极之间的电场使得气体中的带电粒子更容易沉积在阳极栅网413和阴极筒体412上，减少了带电的沉积物沉积在真空规1内的膜片上的可能。

优选的，在阴极筒体412的两端部可以做分别做成活性炭或者分子筛涂层，从而增加捕集组件4对中性沉积物的捕捉能力。并且，为了观察该主动捕集器41是否可以继续吸附带电的沉积物，可以对阴极筒体412和阳极栅网413的电阻值进行测量，从而通过电阻值的变化对沉积物的数量进行观察，从而方便及时更换或清洗。

进一步地，请参阅图3，作为本实用新型提供的真空规的捕集装置的一种具体实施方式，所述阴极筒体412内还设有气体挡板414，所述气体挡板414位于所述阳极栅网413远离所述真空规1的一侧，所述气体挡板414位于所述阴极筒体412的中间，且所述气体挡板414的外缘与所述阴极筒体412的内壁之间具有间隙。具体的，气体挡板414设置在阳极栅网413之前，可以在气体进入阳极栅网413之前即对气体进行遮挡，避免气体直接进入至阳极栅网413内部，导致气体过于集中。通过设置气体挡板414，使得气体由四周均匀的向内流动，既不会影响气体的流态，使得测量的结果更加准确，且还可以避免气体过于集中的问题。当然，根据实际情况和具体需求，在本实用新型的其他实施例中，还可以将气体挡板414遮挡整个阴极筒体412，且在气体挡板414上开设若干供气体流动的流动通孔，此处不作唯一限定。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。