一种基于外延炉生产用废气处理装置的制作方法

本实用新型涉及外延炉生产技术领域，尤其涉及一种基于外延炉生产用废气处理装置。

背景技术：

外延炉是用来将金属源气分解并将金属源气渡在半导体外延片表面的装置，使用方式是将半导体外延片衬底置于外延炉中，将硅源源气及碳源源气通入外延炉中，在1600℃左右的高温下源气分解后反应生成半导体并沉积于衬底上，从而将半导体外延片制作为高温、高频、大功率和强辐射电力电子器件的理想半导体材料。

外延炉在使用过程中需要配合废气处理装置进行使用，通过废气处理装置将外延炉排出的金属源气进行收集净化，但是现有的废气处理装置不便于对过滤网的表面进行清洁处理，从而使得过滤网在受用一端时间后表面会吸附大量的大颗粒杂质，由于大量的大颗粒杂质吸附在过滤网的表面容易造成过滤网的大面积堵塞，过滤网发生堵塞后极大的降低了过滤效果，进而降低了工作效率。

因此，有必要提供一种基于外延炉生产用废气处理装置解决上述技术问题。

技术实现要素：

本实用新型提供一种基于外延炉生产用废气处理装置，解决了现有的废气处理装置不便于对过滤网的表面进行清洁处理的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的基于外延炉生产用废气处理装置，包括：外延炉本体、收集箱和过滤框，所述外延炉本体的一侧设置有排气管，所述排气管的另一端连通有扩散管，所述扩散管的另一端连通有废气处理框，所述废气处理框内壁的顶部和底部均开设有t形槽，两个所述t形槽的内部均卡接有t形块，两个所述t形块相对的一侧之间固定连接有支撑框，所述过滤框内壁的顶部和底部之间设置有过滤网，所述过滤框靠近外延炉本体的一侧固定连接有第一连接杆，所述第一连接杆的另一端固定连接有助推板，所述废气处理框内壁的顶部且位于t形槽的右侧固定连接有微型电机，所述微型电机的输出端固定连接有凸轮，所述废气处理框内壁的顶部和底部且位于支撑框的左侧均固定连接有固定板，所述过滤框远离外延炉本体的一侧固定连接有两个第二连接杆，两个所述固定板与第二连接杆相对的一侧之间均设置有复位弹簧，所述微型电机通过外接控制开关与外界电源电性连接，所述废气处理框的正面设置有卡紧件，通过卡紧件对支撑框进行卡紧，且通过t形槽与t形块的设置便于工作人员对支撑框的拆装，从而提高了工作人员对过滤网清洁维护的便捷性。

优选的，所述过滤框靠近外延炉本体的一侧且位于第一连接杆的底部开设有四个开口槽，四个所述开口槽的内部均开设有矩形槽，四个所述矩形槽远离开口槽的一侧均开设有柱形槽，所述开口槽与矩形槽呈十字形设置。

优选的，所述收集箱上贯穿有四个转动杆，四个所述转动杆靠近过滤框的一端均固定连接有卡紧块，四个所述转动杆的另一端固定连接有转动把手，四个所述转动把手与收集箱相对的一侧之间均设置有卡紧弹簧，且所述卡紧弹簧套设于转动杆的外表面。

优选的，所述支撑框内壁的正面和背面均开设有滑槽，两个所述滑槽的内部均滑动连接有滑块，两个所述滑块相对的一侧分别固定连接于过滤框的正面和背面。

优选的，所述废气处理框的顶部贯穿有水管，所述水管的底端连通有喷头，所述水管与外界供水管相连接，通过外界的供水管给喷头提供水源。

优选的，所述废气处理框内壁的底部且位于支撑框的左侧固定连接有导向板，所述废气处理框内壁的底部且位于导向板的左侧贯穿有排污管，所述废气处理框远离外延炉本体的一侧贯穿有废气排出管。

优选的，所述外延炉本体的底部设置有支撑架，所述支撑架底部的两侧均固定连接有支撑腿，两个所述支撑腿的底部均固定连接有伸缩杆，两个所述伸缩杆的底端设置有移动轮，两个所述伸缩杆的外表面均套设有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的两端分别固定连接于支撑腿的底部和移动轮的顶部之间。

与相关技术相比较，本实用新型提供的基于外延炉生产用废气处理装置具有如下有益效果：

(1)、本实用新型提供一种基于外延炉生产用废气处理装置，通过微型电机的输出端转动带动凸轮转动，凸轮大半径一侧靠近助推板时，间接带动过滤框向左移动，助推板向左移动的同时对两个复位弹簧进行挤压，通过复位弹簧对过滤框进行缓冲，进而可以提高过滤框移动时的稳定性，当凸轮小半径一侧靠近助推板时，通过两个复位弹簧的弹力作用带动过滤框进行复位，从而实现了过滤框左右震动，通过过滤框的震动使得过滤网表面吸附的大颗粒杂质掉落下来，从而避免了杂质堵塞过滤网，从而提高了过滤网的过滤效果，提高了废气处理的效率。

(2)、本实用新型提供一种基于外延炉生产用废气处理装置，通过向左按动转动把手，转动把手移动间接带动卡紧块移动，从而使得卡紧块退出矩形槽，且移动至柱形槽的内部，紧接着将转动把手转动九十度，间接使得卡紧块与开口槽平行，紧接着将收集箱向右侧移动，使得卡紧块退出开口槽，从而实现了对收集箱的拆卸，进而提高了工作人员对收集箱内部杂质清理维护的便捷性。

附图说明

图1为本实用新型提供的基于外延炉生产用废气处理装置的一种较佳实施例的结构示意图；

图2为图1所示的a处的局部放大图；

图3为图1所示的b处的局部放大图；

图4为图1所示的c处的局部放大图；

图5为图1所示的支撑框和收集箱的切面结构示意图；

图6为图1所示的支撑框和过滤网的切面结构示意图。

图中标号：1、外延炉本体；2、收集箱；3、过滤框；4、排气管；5、扩散管；6、废气处理框；7、t形槽；8、t形块；9、支撑框；10、过滤网；11、第一连接杆；12、助推板；13、微型电机；14、凸轮；15、固定板；16、第二连接杆；17、复位弹簧；18、开口槽；19、矩形槽；20、柱形槽；21、转动杆；22、卡紧块；23、转动把手；24、卡紧弹簧；25、滑槽；26、滑块；27、水管；28、喷头；29、导向板；30、排污管；31、废气排出管；32、支撑架；33、伸缩杆；34、缓冲弹簧；35、移动轮。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。

请结合参阅图1、图2、图3、图4、图5和图6，其中，图1为本实用新型提供的基于外延炉生产用废气处理装置的一种较佳实施例的结构示意图；图2为图1所示的a处的局部放大图；图3为图1所示的b处的局部放大图；图4为图1所示的c处的局部放大图；图5为图1所示的支撑框和收集箱的切面结构示意图；图6为图1所示的支撑框和过滤网的切面结构示意图。基于外延炉生产用废气处理装置，包括：外延炉本体1、收集箱2和过滤框3，所述外延炉本体1的一侧设置有排气管4，所述排气管4的另一端连通有扩散管5，所述扩散管5的另一端连通有废气处理框6，所述废气处理框6内壁的顶部和底部均开设有t形槽7，两个所述t形槽7的内部均卡接有t形块8，两个所述t形块8相对的一侧之间固定连接有支撑框9，所述过滤框3内壁的顶部和底部之间设置有过滤网10，所述过滤框3靠近外延炉本体1的一侧固定连接有第一连接杆11，所述第一连接杆11的另一端固定连接有助推板12，所述废气处理框6内壁的顶部且位于t形槽7的右侧固定连接有微型电机13，所述微型电机13的输出端固定连接有凸轮14，所述废气处理框6内壁的顶部和底部且位于支撑框9的左侧均固定连接有固定板15，所述过滤框3远离外延炉本体1的一侧固定连接有两个第二连接杆16，两个所述固定板15与第二连接杆16相对的一侧之间均设置有复位弹簧17。

通过扩散管5的设置可以对排气管4排出的废气进行扩散，进而提高废气与过滤网10的接触面积，进而可以提高过滤网10的过滤效率，从而提高了装置工作效率。

所述过滤框3靠近外延炉本体1的一侧且位于第一连接杆11的底部开设有四个开口槽18，四个所述开口槽18的内部均开设有矩形槽19，四个所述矩形槽19远离开口槽18的一侧均开设有柱形槽20。

所述收集箱2上贯穿有四个转动杆21，四个所述转动杆21靠近过滤框3的一端均固定连接有卡紧块22，四个所述转动杆21的另一端固定连接有转动把手23，四个所述转动把手23与收集箱2相对的一侧之间均设置有卡紧弹簧24。

通过卡紧弹簧24的设置可以在卡紧块22卡紧在矩形槽19内部时对转动把手23提供向右的作用力，进而可以避免卡紧块22退离矩形槽19，从而使得卡紧块22能够紧紧的卡在矩形槽19使的内部，进而提高了装置的稳定性。

所述支撑框9内壁的正面和背面均开设有滑槽25，两个所述滑槽25的内部均滑动连接有滑块26。

通过滑块26和滑槽25的设置便于支撑框9进行左右移动。

所述废气处理框6的顶部贯穿有水管27，所述水管27的底端连通有喷头28。

所述废气处理框6内壁的底部且位于支撑框9的左侧固定连接有导向板29，所述废气处理框6内壁的底部且位于导向板29的左侧贯穿有排污管30，所述废气处理框6远离外延炉本体1的一侧贯穿有废气排出管31。

所述外延炉本体1的底部设置有支撑架32，所述支撑架32底部的两侧均固定连接有支撑腿，两个所述支撑腿的底部均固定连接有伸缩杆33，两个所述伸缩杆33的底端设置有移动轮35，两个所述伸缩杆33的外表面均套设有缓冲弹簧34。

通过移动轮35的设置可以提高装置移动的便捷性，且通过伸缩杆33和缓冲弹簧34的设置可以在装置移动时进行缓冲，提高装置移动时的稳定性。

本实用新型提供的基于外延炉生产用废气处理装置的工作原理如下：

工作时，当外延炉本体1在使用时会产生废气，废气通过排气管4排至扩散管5，通过扩散管5将废气进行扩散，经过扩散后的废气进入废气处理框6的内部，通过过滤网10将废气中的大颗粒杂质进行过滤后排至喷头28的底下，通过外界的供水端给喷头28提供水源，通过喷头28对废气进行降尘后产生的污水通过导向板29导向至排污管30的内部，进而通过排污管30流至外界的处理装置内部，经过处理后的废气通过排出管31排出废气处理框6的外部；

当过滤网10在对废气过滤时，大颗粒杂质容易将过滤网10堵塞，通过控制开关启动微型电机13，微型电机13的输出端转动带动凸轮14转动，凸轮14大半径一侧靠近助推板12时，推动助推板12向左移动，助推板12向左移动带动过滤框3移动，助推板12向左移动的同时对两个复位弹簧17进行挤压，进而当凸轮14小半径一侧靠近助推板12时，通过两个复位弹簧17的弹力作用带动过滤框3进行复位，从而实现了过滤框3左右震动，进而将过滤网10表面吸附的大颗粒杂质抖落，抖落下来的大颗粒杂质掉落至收集箱2的内部；

当需要对收集箱2内部的杂质进行清理时，通过将废气处理框6外部的卡紧件打开，进而使得卡紧件不对支撑框9进行卡紧，通过把手向正面拉动支撑框9，从而使得两个t形块8在t形槽7的内部滑动，进而可以将支撑框9从废气处理框6的内部取出，支撑框9拆卸下来后，通过向左按动转动把手23，转动把手23移动带动转动杆21移动，转动杆21移动带动卡紧块22移动，从而使得卡紧块22退出矩形槽19，且移动至柱形槽20的内部，将转动把手23转动九十度，间接使得卡紧块22与开口槽18平行，紧接着将收集箱2向右侧移动，使得卡紧块22退出开口槽18，从而实现了对收集箱2的拆卸。

与相关技术相比较，本实用新型提供的基于外延炉生产用废气处理装置具有如下有益效果：

通过微型电机13的输出端转动带动凸轮14转动，凸轮14大半径一侧靠近助推板12时，间接带动过滤框3向左移动，助推板12向左移动的同时对两个复位弹簧17进行挤压，通过复位弹簧17对过滤框3进行缓冲，进而可以提高过滤框3移动时的稳定性，当凸轮14小半径一侧靠近助推板12时，通过两个复位弹簧17的弹力作用带动过滤框3进行复位，从而实现了过滤框3左右震动，通过过滤框3的震动使得过滤网10表面吸附的大颗粒杂质掉落下来，从而避免了杂质堵塞过滤网10，从而提高了过滤网10的过滤效果，提高了废气处理的效率；

通过向左按动转动把手23，转动把手23移动间接带动卡紧块22移动，从而使得卡紧块22退出矩形槽19，且移动至柱形槽20的内部，紧接着将转动把手23转动九十度，间接使得卡紧块22与开口槽18平行，紧接着将收集箱2向右侧移动，使得卡紧块22退出开口槽18，从而实现了对收集箱2的拆卸，进而提高了工作人员对收集箱2内部杂质清理维护的便捷性。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。