浆料涂覆装置的制作方法

本发明涉及浆料涂覆装置等。

背景技术：

本发明人提出了如下装置和方法：在例如层叠陶瓷电容器、电感器、热敏电阻等电子部件的端部以浸渍的方式涂覆浆料(例如导电浆料)，从而在电子部件形成外部电极(专利文献1、2)。

以往，浆料涂覆装置例如在橡胶板上的二维面沿垂直的两个轴具有多个孔，使用在该孔嵌合支承有电子部件的治具，一次性向多个电子部件涂覆浆料(专利文献2)。

为了提高生产率，各种领域较多地提出了采用辊对辊方式。在这些情况下，通过辊对辊方式输送的片本身是被处理体。也就是说，在通过辊对辊方式输送的片或薄膜基板上对用于电子部件的各种膜进行成膜并层叠。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2002-237403号公报

专利文献2:日本特开2016-100459号公报

技术实现要素：

发明所要解决的课题

作为浆料涂覆的对象的层叠陶瓷电容器等电子部件是被分割成一个个的微小尺寸的电子部件。因此，为了对分割成一个个的微小尺寸电子部件进行处理，使用上述的橡胶板等治具。但是，对治具进行处理并向各工序输送需要时间，而且输送机构也复杂化。

本发明的几个方式的目的在于提供能够显著提高生产率的浆料涂覆装置。

用于解决课题的手段

(1)本发明的一个方式涉及浆料涂覆装置，该浆料涂覆装置具有：

第一进给移动部，其使第一带状部件进给移动；

安装部，其将多个电子部件的各自的一端部与停止的所述第一带状部件接合，将所述多个电子部件安装于所述第一带状部件；

第一涂覆部，其向安装于停止的所述第一带状部件的所述多个电子部件的各自的另一端部涂覆浆料；

第一干燥部，一边通过所述第一进给移动部使所述第一带状部件进给移动，一边通过该第一干燥部对涂覆于所述多个电子部件的各自的所述另一端部的所述浆料进行干燥；

第二进给移动部，其使第二带状部件进给移动；

转移部，其将在所述另一端部具有干燥的所述浆料的所述多个电子部件的各自的所述另一端部与所述第二带状部件接合，将所述多个电子部件的各自的所述一端部从所述第一带状部件分离，将所述多个电子部件从所述第一带状部件转移到所述第二带状部件；

第二涂覆部，其向安装于停止的所述第二带状部件的所述多个电子部件的各自的所述一端部涂覆浆料；

第二干燥部，一边通过所述第二进给移动部使所述第二带状部件进给移动，一边通过该第二干燥部对涂覆于所述多个电子部件的各自的所述一端部的所述浆料进行干燥；以及

回收部，其回收所述第二带状部件。

根据本发明的一个方式，多个电子部件与通过第一进给移动部进给移动的第一带状部件，或通过第二进给移动部进给移动的第二带状部件接合从而被输送，因此不需要对橡胶板等治具进行输送，从而生产率提高。通过第一进给移动部进给移动的第一带状部件通过安装部接合有多个电子部件的一端部，从而直接输送多个电子部件。第一涂覆部向接合于第一带状部件的电子部件的另一端部涂覆浆料。第一干燥部对涂覆于电子部件的另一端部的浆料进行干燥。转移部将多个电子部件从第一带状部件转移到所述第二带状部件。通过第二进给移动部进给移动的第二带状部件使具有干燥的浆料的另一端部与第二带状部件接合从而直接输送多个电子部件。第二涂覆部向接合于第二带状部件的电子部件的一端部涂覆浆料。第二干燥部对涂覆于电子部件的一端部的浆料进行干燥。处理结束的第二带状部件被回收部回收。另外，可以保持回收的第二带状部件接合有电子部件的状态，也可以回收使电子部件脱离后的第二带状部件。

(2)在本发明的一个方式(1)中，可以是，该浆料涂覆装置包含：

第一辊，其配置于比所述安装部靠所述第一带状部件的第一进给移动方向的上游的位置，卷绕有所述第一带状部件；

第二辊，其配置于比所述转移部靠所述第一进给移动方向的下游的位置，卷绕有所述第一带状部件；

第三辊，其配置于比所述转移部靠所述第二带状部件的第二进给移动方向的上游的位置，卷绕有所述第二带状部件；以及

第四辊，其配置于所述回收部，卷绕有所述第二带状部件。

由此，能够将多个电子部件作为一批次处理的量，通过第一带状部件的辊对辊方式和第二带状部件的辊对辊方式，将多批次处理的量的电子部件依次输送并进行处理。

(3)在本发明的一个方式(2)中，可以是，

所述第一干燥部具有：

一对第一环形带，它们在所述第一带状部件的宽度方向的两端部与所述第一带状部件的第一面抵接；

一对第二环形带，它们在所述第一带状部件的宽度方向的两端部与所述第一带状部件的第二面抵接；

至少一个第一驱动辊部，其与所述一对第一环形带转动接触；以及

至少一个第二驱动辊部，其与所述一对第二环形带转动接触，

通过所述一对第一环形带和所述一对第二环形带夹持所述第一带状部件的所述两端部，使所述第一带状部件进给移动。这样，通过一对第一环形带和一对第二环形带夹持第一带状部件的宽度方向的两端部，从而输送第一带状部件。由此，即使在输送异常时切断第一带状部件，也能够输送第一带状部件。第二干燥部也可以与第一干燥部同样地构成。

(4)在本发明的一个方式(1)～(3)中，也可以是，该浆料涂覆装置通过将多个单元依次配置而构成，

该多个单元包含配置有所述安装部的安装单元、配置有所述第一涂覆部的第一涂覆单元、配置有所述第一干燥部的第一干燥单元、配置有所述转移部的转移单元、配置有所述第二涂覆部的第二涂覆单元、配置有所述第二干燥部的第二干燥单元以及配置有所述回收部的回收单元。这样，通过以单元为单位进行搬运，搬运空间实现了省空间化。而且，能够在现场用第一带状部件或第二带状部件连结相邻的单元之间，从而组装性也提高。

(5)在本发明的一个方式(4)中，可以是，所述第一进给移动部包含第一张紧辊部，该第一张紧辊部在所述多个单元中的在所述第一带状部件的第一进给移动方向的上游和下游相邻配置的各两个单元的一方进行升降移动，

所述第二进给移动部包含第二张紧辊部，该第二张紧辊部在所述多个单元中的在所述第二带状部件的第二进给移动方向的上游和下游相邻配置的各两个单元的一方进行升降移动。这样，能够通过第一或第二张紧辊部的升降移动消除在相邻的两个单元因多个电子部件的非同步的进给或非同步的停止而产生的第一带状部件和第二带状部件的挠曲或张紧。这样，例如，能够在第一涂覆部进行间歇进给，在第一干燥部进行连续进给。这是因为，通过设置于第一涂覆部与第一干燥部之间的第一张紧辊部的升降移动，能够以不挠曲的方式蓄积第一带状部件。

(6)在本发明的一个方式(1)～(5)中，可以是，所述第一干燥部和所述第二干燥部的至少一方包含曲折输送路径，该曲折输送路径通过多个辊部将所述第一带状部件和所述第二带状部件中的至少一方以转换进给方向的方式曲折地输送。这样，能够确保干燥时间并在较小的空间进行干燥，从而使装置小型化。

(7)在本发明的一个方式(1)～(6)中，可以是，所述第一涂覆部和所述第二涂覆部中的至少一方使在设置于第一平台的平坦面上形成的浆料的浸渍层朝向所述多个电子部件相对移动。由此，能够使用第一、第二带状部件实施以往的使用治具的可靠性较高的浸渍涂覆，而无需使用治具。

(8)在本发明的一个方式(7)中，可以是，通过使设置于第二平台的平坦面朝向所述多个电子部件相对移动，使所述第一涂覆部和所述第二涂覆部中的至少一方与形成于所述多个电子部件的所述浆料接触，使所述浆料平坦化。由此，能够实施使涂覆于电子部件的浆料平坦化的印迹工序。

(9)在本发明的一个方式(1)～(8)中，可以是，

所述转移部包含：

吸附部，使所述多个电子部件配置在所述第一带状部件与所述第二带状部件的对置面之间，该吸附部吸附所述第二带状部件的与所述对置面不同的面；

移动部，其使所述第一带状部件和所述第二带状部件中的至少一方朝向另一方移动，使所述多个电子部件与所述第二带状部件接合；以及

剥离引导部，其引导所述第一带状部件，以使通过所述第一进给移动部进行进给移动的所述第一带状部件从接合于所述第二带状部件的所述多个电子部件剥离。

这样，由第一带状部件输送的多个电子部件在暂时与第一和第二带状部件的双方接合之后，通过第一带状部件被剥离，而从第一带状部件转移到第二带状部件。

(10)在本发明的一个方式(9)中，可以是，所述剥离引导部包含进给方向转换部件，该进给方向转换部件使所述第一带状部件的进给方向锐角地变更。这样，通过使第一带状部件的进给方向锐角地变更，能够从多个电子部件剥离第一带状部件。

(11)在本发明的一个方式(9)或(10)中，可以是，所述第二带状部件的接合力比所述第一带状部件的接合力大。这样，在转移部中，容易使多个电子部件从第一带状部件转移到第二带状部件。

(12)在本发明的一个方式(1)～(11)中，可以是，通过所述安装部同时安装于所述第一带状部件的所述多个电子部件是一批次量的电子部件，

以所述一批次量的电子部件为单位对所述第一带状部件和所述第二带状部件赋予不同的批次id。这样，能够以批次为单位管理与第一带状部件或第二带状部件接合的电子部件。

(13)在本发明的一个方式(12)中，可以是，该浆料涂覆装置具有：

摄像部，其对接合于所述第一带部件和/或所述第二带状部件的所述一批次量的电子部件的至少一个进行摄像；

第一id读取部，其读取通过所述摄像部拍摄的电子部件所属的批次的批次id；以及

第二id读取部，其配置于所述转移部，读取供所述一批次量的电子部件转移的所述第一带状部件和所述第二带状部件的各自的批次id。这样，能够通过由第一id读取部和第二id读取部读取的批次id来管理根据摄像部的摄像结果而判别为合格品/不合格品的一批次量的电子部件。

(14)在本发明的一个方式(13)中，可以是，所述回收部具有：

第三id读取部，其读取赋予到所述第二带状部件的所述批次id；以及

部件回收部，其根据由所述第三id读取部读取的所述批次id对根据所述摄像部的摄像结果而判别为合格品/不合格品的所述一批次量的电子部件进行合格/不合格判定，将从所述第二带状部件脱离的所述一批次量的电子部件分类成合格品/不合格品来进行回收。这样，能够将根据摄像部的摄像结果判别为合格品/不合格品的一批次量的电子部件的每一个分类成合格品/不合格品来进行回收。

(15)本发明的其他方式涉及浆料涂覆装置，该浆料涂覆装置具有：

进给移动部，其使带状部件进给移动；

安装部，其将多个电子部件的各自的一端部与停止的所述带状部件接合，将所述多个电子部件安装于所述带状部件；

涂覆部，其使形成于平台的浆料的浸渍层向安装于停止的所述带状部件的所述多个电子部件相对移动，向所述多个电子部件的各自的另一端部涂覆所述浆料；以及

干燥部，一边通过所述进给移动部使所述带状部件进给移动，一边通过该干燥部使涂覆于所述多个电子部件的各自的所述另一端部的浆料材料干燥。

根据本发明的其他方式，多个电子部件与通过进给移动部进行进给移动的带状部件接合从而被输送，因此不需要使用橡胶板等治具，从而生产率提高。通过进给移动部进行进给移动的带状部件通过安装部接合有多个电子部件的一端部，从而直接输送多个电子部件。涂覆部向接合于带状部件的电子部件的另一端部涂覆浆料。干燥部对涂覆于电子部件的另一端部的浆料进行干燥。这样，能够向多个电子部件的一个端部涂覆浆料，并使该浆料干燥。为了在多个电子部件的另一个端部涂覆浆料，使涂覆有浆料的端部与带状部件接合，并通过带状部件再次输送多个电子部件即可。

(16)本发明的另一个其他的方式涉及浆料涂覆装置，该浆料涂覆装置具有：

旋转体，其具有平坦面；

旋转驱动部，其使所述旋转体间歇地旋转；

浸渍层形成部，其在所述平坦面形成所述浸渍层；

移动部，其使所述旋转体朝向接合于带状部件的所述多个电子部件相对移动，使形成于所述平坦面的所述浸渍层与所述多个电子部件接触；

以及去除部，其从形成有与所述多个电子部件接触的所述浸渍层的所述平坦面去除所述浸渍层。

根据本发明的另一个其他的方式的浆料涂覆装置，能够使依次形成于通过旋转驱动部和移动部移动的平坦面的浸渍层与多个批次处理的量的电子部件依次接触，该多个批次处理的量的电子部件与带状部件接合并间歇地被输送。

(17)本发明的另一个其他的方式涉及电子部件的转移装置，

该电子部件的转移装置将多个电子部件从第一带状部件转移到第二带状部件，该第一带状部件与所述多个电子部件的各自的一端部接合，支承所述多个电子部件，该第二带状部件与所述多个电子部件的各自的另一端部接合，其中，该电子部件的转移装置包含：

吸附部，使所述多个电子部件配置在所述第一带状部件与所述第二带状部件的对置面之间，该吸附部吸附所述第二带状部件的与所述对置面不同的面；

移动部，其使所述第一带状部件和所述第二带状部件中的至少一方朝向另一方移动，使所述多个电子部件与所述第二带状部件接合；

以及剥离引导部，其对所述第一带状部件进行进给移动引导，以使所述第一带状部件从与所述第二带状部件接合的所述多个电子部件剥离。

根据本发明的另一个其他的方式的电子部件的转移装置，由第一带状部件输送的多个电子部件在暂时与第一和第二带状部件的双方接合之后，通过第一带状部件被剥离，而从第一带状部件转移到第二带状部件。

(18)本发明的另一个其他的方式涉及带状部件的进给移动装置，

该带状部件的进给移动装置具有第一面和与所述第一面相反侧的第二面，该带状部件的进给移动装置使在所述第一面和所述第二面的任意一方接合了多个电子部件的带状部件进给移动，其中，该带状部件的进给移动装置具有：

一对第一环形带，它们在所述带状部件的宽度方向的两端部与所述带状部件的所述第一面抵接；

一对第二环形带，它们在所述带状部件的宽度方向的两端部与所述带状部件的所述第二面抵接；

至少一个第一驱动辊部，其与所述一对第一环形带转动接触；

以及至少一个第二驱动辊部，其与所述一对第二环形带转动接触，

通过所述一对第一环形带和所述一对第二环形带夹持所述带状部件的所述两端部，使所述带状部件进给移动。根据本发明的另一个其他的方式的带状部件的进给移动装置，即使在输送异常时切断带状部件，也能够输送带状部件。

(19)在本发明的另一个其他的方式(18)中，可以是，

所述一对第一环形带通过与所述第一驱动辊部的凹凸卡合被输送引导，所述一对第二环形带通过与所述第二驱动辊部的凹凸卡合被输送引导。这样，第一、第二驱动辊部能够对一对第一、第二环形带进行引导并且不脱落地输送。

(20)在本发明的另一个其他的方式(18)或(19)中，可以是，

在所述带状部件的所述宽度方向的中心区域还具有与所述第一面接触的引导辊部，

可以是，在所述带状部件的所述第一面中，将所述中心区域作为所述多个电子部件的非接合区域。这样，能够防止带状部件的中心区域发生挠曲。

附图说明

图1是电子部件的概略立体图。

图2是示出电子部件的各种尺寸的剖视图。

图3是本发明的第一实施方式的浆料涂覆装置的概略说明图。

图4是示出与带状部件的宽度方向的两端部接触的辊部的图。

图5是第一、第二涂覆部的立体图。

图6是示出设置于第一、第二涂覆部的旋转体和浸渍层形成部的图。

图7是浸渍层形成部的剖视图。

图8是转移部的概略说明图。

图9是第三和第四吸附部的俯视图。

图10是示出通过转移部使电子部件的一端部从第一带部件分离的动作的图。

图11是示出通过转移部使电子部件的两端部与第一、二带部件接合的动作的图。

图12是示出设置于第一干燥部的带状部件的带输送机构的图。

图13是带状部件的带输送机构的剖视图。

图14是带输送机构的局部俯视图。

图15是示出配置于回收部的部件脱离部的概略说明图。

图16是本发明的第二实施方式的浆料涂覆装置的概略说明图。

图17是示出图16所示的安装部和第一涂覆部的图。

图18是示出图16所示的第一干燥部、转移部以及第二涂覆部的图。

图19是示出图16所示的第二干燥部和回收部的图。

图20是用于本发明的第二实施方式的控制系统的框图。

具体实施方式

在以下的说明中，提供了用于实施所提出的主题的不同特征的多个不同的实施方式和实施例。当然，这些仅仅是例子，并不意味着进行限定。此外，在本说明中，在各种例子中，存在参照标号和/或文字重复的情况。像这样重复是为了简洁清楚，其本身并不需要与各种实施方式和/或所说明的结构之间存在关系。此外，当记述为第一要素与第二要素“连接”或“连结”时，像这样的记述包含第一要素与第二要素相互直接连接或连结的实施方式，并且也包含在第一要素与第二要素之间夹着一个以上的其它要素，而使该第一要素与该第二要素相互间接连接或连结的实施方式。另外，当记述为第一要素相对于第二要素“移动”时，像这样的记述包含第一要素和第二要素中的至少一方相对于另一方进行移动的相对移动的实施方式。

1.电子部件

图1示出了通过本发明的实施方式的制造方法而制造的电子部件1，图2示出了形成于电子部件1的导电层4a的截面。在这里，对应用本发明的电子部件1的大小没有特别的限制，但适合于随着缩小规模而被超小型化的电子部件1。作为超小型的电子部件1，在将图1所示的例如矩形(正方形或长方形)截面的一边的最大长度设为l1、将与矩形截面垂直的方向的长度设为l2时，l1＝500μm以下且l2＝1000μm以下。优选为，l1＝300μm以下且l2＝600μm以下，更优选为，l1＝200μm以下且l2＝400μm以下，进一步优选为，l1＝125μm以下且l2＝250μm以下。外，这里所谓的矩形，除了两边相交的角严格地为90°的矩形之外，还包含角被弯曲或倒角的大致矩形。另外，本发明当然也能够应用于除矩形截面以外的电子部件1。

在图2中，电子部件1在包含一端部2a和另一端部2b的端部2形成有由导电性浆料层构成的电极4a。电子部件1的端部2包含端面2a、侧面2b以及连结端面2a和侧面2b的角部2c。能够使形成于端面2a的电极4a的实质上均匀的厚度t1和形成于侧面2b的电极4a的实质上均匀的厚度t2实质上为t1＝t2。此外，能够使形成于角部2c的电极4a的厚度t3为t3≥t1或t3≥t2，或者为t3＜t1或t3＜t2。而且，将形成于侧面2b的电极4a的从端面2a起的电极长度设为l3。优选电极4a的尺寸(t1～t3以及l3)具有均匀性。

2.第一实施方式

图3是示出浆料涂覆装置的概略图。在图3中，浆料涂覆装置10包含第一装置10a和第二装置10b。第一装置10a是向一端部2a被接合支承的电子部件1的另一端部2b涂覆导电性浆料并进行干燥的装置。第二装置10b是向另一端部2b被接合支承的电子部件1的一端部2a涂覆导电性浆料并进行干燥的装置。也就是说，浆料涂覆装置10能够在电子部件1的两端部2a、2b对导电性浆料进行涂覆和干燥。

浆料涂覆装置10具有例如通过辊对辊方式使第一带状部件20例如间歇地进给移动的第一进给移动部30、以及例如通过辊对辊方式使第二带状部件40例如间歇地进给移动的第二进给移动部50。浆料涂覆装置10能够包含第一辊部31、第二辊部32、第三辊部51以及第四辊部52。第一辊部31卷绕有接合电子部件1之前的第一带状部件20。第二辊部32卷绕有暂时接合的电子部件1脱离之后的第一带状部件20。第一进给移动部30包含使第一带状部件20从第一辊部31朝向第二辊部32进给移动和/或引导移动的多个驱动或从动辊部。第三辊部51卷绕有接合电子部件1之前的第二带状部件40。第四辊部52卷绕有第二带状部件40，该第二带状部件40安装有涂覆和干燥处理结束的多个电子部件1。第二进给移动部50包含使第二带状部件40从第三辊部51朝向第四辊部52进给移动和/或引导移动的多个驱动或从动辊部。第二、第四辊部32、52也可以作为驱动辊部。第二、第四辊部32、52之外的驱动辊部可以包含驱动第一、第二带状部件20、40并对第一、第二带状部件20、40赋予张力的张紧辊部。另外，将卷绕于第一～第四辊部31、32、51、52的第一或第二带状部件20、40称为第一～第四辊21、22、41、42。在本实施方式中，第一带状部件20在第一、第二辊21、22之间通过辊对辊方式被输送。同样地，第二带状部件40在第三、第四辊41、42之间通过辊对辊方式被输送。

在这里，如图4所示，第一、第二带状部件20、40的单面20a、40a成为能够通过粘接或粘合等与电子部件1的端部2a、2b接合的接合面。第一、第二带状部件20、40可以具有与接合面20a、40a重叠的衬纸(剥离纸)，也可以不具有衬纸(剥离纸)。在具有衬纸的情况下，在第一、第二带状部件20、40的进给移动中，衬纸被剥去。另外，与第一、第二带状部件20、40转动接触的辊部是以不与电子部件1干涉的方式与未接合有电子部件1的单面(非接合面)20b、40b接触的辊部33、53(图1)，或者是如图4所示那样，是在第一、第二带状部件20、40的接合面20a、40a或非接合面20b、40b的任意一方都与宽度方向的两端部接触的辊部34、54。与接合面20a、40a接触的辊部可以具有不与接合面20a、40a的粘接剂或粘合剂接合，或难以接合的辊部面。或者，第一、第二带状部件20、40中的与辊部接触的区域也可以不形成粘接剂或粘合剂。

浆料涂覆装置10的第一装置10a沿通过第一进给移动部30进行进给移动的第一带状部件20的移动路径具有安装部100、第一涂覆部200、第一干燥部300以及转移部400。浆料涂覆装置10的第二装置10b沿通过第二进给移动部50进行进给移动的第二带状部件40的移动路径具有转移部400、第二涂覆部500、第二干燥部600以及回收部700。

在这里，在本实施方式中，浆料涂覆装置10能够通过将安装单元11a、第一涂覆单元11b、干燥单元11c、转移/回收单元11d以及第二涂覆单元11e依次连结单元之间而构成。这样，能够根据每个单元进行分解并搬运，并在现场通过未图示的连结构件而连结单元之间。在该情况下，安装单元11a配置有安装部100，第一涂覆单元11b配置有第一涂覆部200，第二涂覆单元11e配置有第二涂覆部500。干燥单元11c配置有第一干燥部300和第二干燥部600。能够将第一干燥部300和第二干燥部600配置于共同的干燥室内。由此，能够在第一干燥部300和第二干燥部600共用用于干燥的热源。转移/回收单元11d具有转移部400和回收部700。通过将回收部700配置于第二干燥部600的旁边，能够以最短距离回收被第二干燥部600干燥后的电子部件1。

2.1.安装部

安装部100使多个电子部件1的各自的一端部2a与间歇停止的第一带状部件20接合，从而以立起设置的方式将多个电子部件1安装于第一带状部件20。如图3所示，安装部100具有与专利文献2所示的治具同样地形成有多个孔的例如橡胶制的治具101。治具101能够升降。安装部100能够具有隔着第一带状部件20与治具101对置的基台，例如真空吸附部102。真空吸附部102例如固定于比第一带状部件20的运行路径稍微靠下方的位置。被第一辊21送出的第一带状部件20停止，并被真空吸附部102吸附。然后，使治具101下降(广义地说，第一带状部件20与真空吸附部102的相对移动)。由此，比治具101突出的电子部件1的一端部2a与第一带状部件20接合。然后，治具101上升，真空吸附部102的吸附被解除。这样，多个电子部件1以立起设置的方式安装于第一带状部件20。另外，为了将多个电子部件1配置于治具101，也可以使用另一个排列用治具(未图示)。在排列用治具中，开口部设置为锥状的孔，非排列状态的电子部件1通过振动等其他方法配置于排列用治具的孔。使该排列用治具反转，能够将多个电子部件1同时转移到治具101。另外，也可以与图3不同，使以向上突出的方式将电子部件1排列支承的治具101比第一带状部件20的下方上升，从而在第一带状部件20安装多个电子部件1。如图3所示，在安装部100中，第一带状部件20通过辊部而反转，并以使电子部件1垂下而支承的方式使第一带状部件20进给移动。

该安装动作在第一带状部件20每次间歇停止时实施。在一次停止时，例如几百～几万个一批次量的电子部件1安装于第一带状部件20。图3示出了多列的电子部件1，各列排列有多行的电子部件1。由此，一批次量的电子部件1由多列多行的电子部件1形成。在每次第一带状部件20的间歇停止时反复进行安装动作，从而多批次的量的电子部件1通过第一带状部件20而进给移动。

2.2.第一涂覆部

第一涂覆部200向安装于间歇停止的第一带状部件20的多个电子部件1的各自的端部2b涂覆浆料。第一涂覆部200使支承于第一带状部件20的多个电子部件1的端部2b浸渍于形成于平坦面的浆料的浸渍层。因此，如图5所示，第一涂覆部200具有：旋转体210，其具有平坦面211；以及浸渍层形成部220，其在平坦面211利用浆料形成浸渍层。旋转体210可以例如在其四面具有平坦面211，通过旋转驱动部例如马达230例如以旋转角90°间歇地旋转。

第一涂覆部200使支承于第一带状部件20的多个电子部件1浸渍于形成于平坦面211的浸渍层。因此，第一涂覆部200如图1所述那样具有使旋转体210升降的第一移动部例如气缸240。另外，第一移动部只要使第一带状部件20与旋转体210相对移动即可。在这里，为了便于说明，如图6所示，将旋转体210的四面的平坦面作为211a～211d。如图6所示，浸渍层形成部220在平坦面211a形成浸渍层。形成于平坦面211a的旋转90°后的平坦面211b上的浸渍层在旋转体210上升之后下降，由此在多个电子部件1的端部2b形成浆料层。残留于平坦面211b的旋转90°后的平坦面211c上的浸渍层被作为浆料去除部的刀片250刮落而去除。浆料去除也可以不在平坦面211c的位置实施，而在平坦面211c的旋转90°后的平坦面210d的位置实施。这样，通过旋转驱动部230和第一移动部240使通过浸渍层形成部220形成于平坦面211的浸渍层移动，由此能够在多个批次处理的量的电子部件1依次形成浆料层。

另外，也可以使旋转体210反向旋转。例如，也可以使浸渍层被去除的平坦面211c反向旋转90°。也可以实施使平坦面211c上升，从而与形成于多个电子部件1的端部2b的浆料层接触并进行平坦化的印迹工序。这时，也可以保持电子部件1的浆料层与平坦面211c接触的状态，使电子部件1与平坦面211c相对地水平移动。

接着，也参照图7对浸渍层形成部220进行说明。如图7所示，浸渍层形成部220具有在例如l字状的空洞的下端具备开口221b的浆料收纳部221。浆料经由图5所示的供给孔221a从未图示的浆料供给部供给。也可以设置检测浆料收纳部221内的浆料量的剩余量传感器，并根据剩余量传感器的检测结果向浆料收纳部221自动供给浆料。

浆料收纳部221的开口221b设置有供给辊部222。供给辊部222通过作为旋转驱动部的马达223在图7中例如逆时针旋转。在该情况下，将浆料收纳部221的开口221b与供给辊部222之间，即设置于供给辊部222的下侧的浆料供给侧的间隙设为δ1。供给辊部222旋转时，供给辊部222向外部露出的表面形成有大致厚度δ1的浆料层。形成于该供给辊部222的浆料层转印于旋转体210的平坦面211从而成为浸渍层。另一方面，将浆料收纳部221的开口221b与供给辊部222之间，即设置于供给辊部222的上侧的浆料供给侧的间隙设为δ2。δ1与δ2的关系优选为δ1＜δ2。间隙δ2的上方配置有具有向下倾斜面的刀片224。刀片224刮取图6所示的形成于旋转体210的平坦面211a的浸渍层中的过剩的浆料，并将其引导至间隙δ2。图6所示的形成于旋转体210的平坦面211a的浸渍层之外的浆料经由间隙δ2被浆料收纳部221回收。

如图6所示，浸渍层形成部220沿箭头a方向往复水平移动，并且沿箭头b往复垂直移动。浸渍层形成部220首先水平移动，使形成于供给辊部222的浆料层与图6所示的旋转体210的平坦面211a接触。然后，一边使供给辊部222旋转移动，一边使浸渍层形成部220朝向垂直下方移动。由此，能够将形成于供给辊部222的浆料层转印于图6所示的旋转体210的平坦面211a。

2.3.第一干燥部

如图3所示，第一干燥部300具有例如配置于干燥单元11c的干燥室310。干燥室310通过未图示的加热源被加热到使浆料干燥的温度例如130℃。在本实施方式中，在第一、第二干燥部300、600共用干燥室310。第一干燥部300配置于干燥室310的例如上部，第二干燥部600配置于干燥室310的例如下部。由此，浆料涂覆装置10小型化。如图3所示，第一干燥部300可以包含通过多个辊部使第一带状部件20的进给方向转换而曲折地间歇输送的曲折输送路径320。这样，能够一边确保干燥时间，一边在较小的空间进行干燥，从而干燥室310小型化。第一干燥部300例如在130℃使形成于电子部件1的浆料层例如在10～30分钟内干燥。

2.4.转移部

如图8所示，在转移部400中，第一带状部件20和第二带状部件40以接合面20a、40a对置的方式运行。这时，接合于第一带状部件20的多个电子部件1位于第一带状部件20和第二带状部件40的对置面20a、40a之间。在本实施方式中，转移部400的第一带状部件20的第一进给移动方向m1与第二带状部件40的第二进给移动方向m2例如彼此方向相反。转移部400包含分别吸附第一带状部件20和第二带状部件40的与对置面20a、40a不同的各面20b、40b的第一吸附部410和第二吸附部420。第一吸附部410和第二吸附部420能够相对移动，在本实施方式中，能够通过由气缸等构成的未图示的第二移动部使第二吸附部420升降。通过第二移动部使第二吸附部420下降，由此电子部件1的端部2b与第二带状部件40的接合面40a接合。这时，第一带状部件20优选被第一吸附部410吸附。而且，与第二带状部件40接合的电子部件1的端部2b形成有浆料层，但该浆料层已经被干燥，因此不会妨碍接合动作。

第二吸附部420优选能够包含第三吸附部430和第四吸附部440。第三吸附部430在第二进给移动方向m2上，在安装于第二带状部件40的一批次量的多个电子部件1的上游和下游吸附第二带状部件40。在本实施方式中，如图9所示，第三吸附部430在俯视时形成为四边框。因此，第三吸附部430能够在一批次量的多个电子部件1的安装区域的整周范围内吸附第二带状部件40。第四吸附部440配置于由四边框状的第三吸附部430形成的开口431内。如图9所示，第四吸附部440能够在一批次量的多个电子部件1的安装区域的背面吸附第二带状部件40。另外，未图示的第二移动部可以使第三吸附部430和第四吸附部440的双方能够升降，或者也可以使第四吸附部440能够升降。在通过第三吸附部430吸附固定第二带状部件40的状态下，能够通过第四吸附部440将第二带状部件40朝向第一带状部件20按压。由此，能够使多个电子部件1与第二带状部件40接合。第四吸附部440能够在其下降位置，在多个电子部件1的安装区域的背面的位置吸附第二带状部件40。

转移部400能够具有剥离引导部450，该剥离引导部450对第一带状部件20进行移动引导，以使第一带状部件20从接合于第二带状部件40的一批次量的多个电子部件1剥离。这样，由第一带状部件20输送的多个电子部件1在暂时与第一带状部件20和第二带状部件40的双方接合之后，通过第一带状部件20被剥离，而从第一带状部件20转移到第二带状部件40。

参照图8和图10对剥离引导部450的动作的一例进行说明。如图10所示，剥离引导部450能够包含进给方向转换部件，该进给方向转换部件固定于第一吸附部410的第一进给移动方向m1的下游侧，并使第一带状部件20的进给方向以角度θ为锐角的方式急剧变化。这样，通过使第一带状部件20的进给方向锐角地变更，能够从多个电子部件1剥离第一带状部件20。电子部件1被去除的第一带状部件20卷绕于第二辊部32从而成为第二辊22的一部分。

剥离引导部450使图10所示的各列的多个电子部件1从第一带状部件20依次剥离。因此，如图10所示，剥离引导部450首先设定于与第一列电子部件1对应的位置，然后，如图8中点划线所示，设定于与第二列之后的电子部件1对应的位置。这样，使各列电子部件1与剥离引导部450相对移动。在本实施方式中，使剥离引导部450与第一吸附部410和移动辊部460一起沿与第一进给移动方向m1的相反方向移动。这时，第一带状部件20实现与剥离引导部450的移动的同步从而连续或间歇地进行进给移动。在使第一带状部件20进给移动时，不需要通过第一吸附部410进行吸附动作。但是，第一吸附部410也可以在不妨碍第一带状部件20的进给动作的范围内实施吸引动作。另一方面，优选第二带状部件40不进给移动，第二带状部件40被第二吸附部420(第三吸附部430和第四吸附部440)吸附。第一带状部件20从最终列的电子部件1剥离后，使剥离引导部450与第一吸附部410一起恢复到初始位置，由此剥离动作完成。

为了使一批次量的电子部件1更可靠地与第二带状部件40接合，转移部400可以具有作为图11所示的按压部件的辊部460。辊部460配置于由四边框状的第三吸附部430形成的开口431内。因此，第四吸附部440能够从开口431退避移动。辊部460在接合有一批次量的电子部件1的接合面40a的背面40b的位置按压第二带状部件40。辊部460能够沿水平方向进行往复移动。这样，能够提高一批次量的电子部件1与第二带状部件40的密合性。然后，如图8所示，能够将第四吸附部440配置于开口431。

2.5.第二涂覆部

从转移部400向第二涂覆部500供给第二带状部件40。第二涂覆部500向支承于第二带状部件40的一批次量的电子部件1的端部2a涂覆浆料。用于该浆料涂覆的结构和动作与第一涂覆部200相同，因此省略详细的说明。如图3所示，通过设置于第二涂覆部500的辊部55、56等，第二带状部件40的进给移动方向被转换，从而经由第二涂覆单元11e和转移/回收单元11d的下部空间，向干燥单元11c进给移动。

2.6.第二干燥部

如图3所示，第二干燥部600能够包含通过多个辊部使第二带状部件40的进给方向转换而曲折地进行间歇输送的曲折输送路径610。这样，能够使涂布于多批次的量的电子部件1的端部2a的浆料干燥。

2.7.回收部

如图3所示，回收部700通过在转移/回收单元11d的转移部400的例如下方配置第四辊部52而构成。该第四辊部52卷绕安装了电子部件1的第二带状部件40而作为第四辊42回收，该电子部件1在两端部2a、2b形成有浆料层。也可以与此不同，在将第二带状部件40卷绕于第四辊部52并进行回收之前，如后所述，使电子部件1从第二带状部件40脱离。

3.变形例

另外，像上述那样对本实施方式进行了详细说明，但本领域技术人员应该能够容易理解到，可以在实质上不脱离本发明的新颖事项和效果的情况下进行多种变形。因此，所有像这样的变形例都包含在本发明的范围内。例如，在说明书或附图中，至少一次与更加广义或同义的不同术语一起记载的术语能够在说明书或附图的任意部位置换为该不同的术语。而且，本实施方式和变形例的所有组合也包含于本发明的范围。

3.1.相对于电子部件的一端部的浆料涂覆装置

在上述实施方式中，浆料涂覆装置10是为了在电子部件1的两端部2a、2b涂覆导电性浆料并进行干燥，包含第一装置10a和第二装置10b的双面电极形成装置。并不限于此，也可以是仅由在电子部件1的两端部2a、2b的任意一个涂覆导电性浆料并进行干燥的第一装置10a和第二装置10b的一方构成的单面电极形成装置。在该情况下，单面电极形成装置例如能够构成为具有包含于第一装置10a的安装部100、第一涂覆部200、第一干燥部300以及代替转移部400而设置的回收部。回收部具有第二辊部32即可。在该单面涂覆装置中，在电子部件1的端部2a涂覆导电性浆料并进行干燥之后，将由回收部回收的第二辊22通过安装部100作为第一辊21再次安装即可。由此，也能够在电子部件1的端部2b涂覆导电性浆料并进行干燥。

3.2.带状部件的带输送机构

带状部件的进给驱动装置不限于驱动辊部、从动辊部或张紧辊部的组合。图12～图14示出了能够设置于第一、第二干燥部300、600的至少一个，例如设置于图3的第一干燥部300的带输送机构330。该带输送机构330用于图3的曲折输送路径320。

如图12所示，带输送机构330包含一对第一环形带331a和一对第二环形带331b。一对第一环形带331a架设于至少一个第一驱动辊部332a和多个从动辊部333a。一对第二环形带331b也架设于至少一个第二驱动辊部332b和多个从动辊部333b。

如图13所示，一对第一环形带331a在第一带状部件20的宽度方向的两端部与第一带状部件20的接合面(第一面)20a抵接。一对第二环形带331b在第一带状部件20的宽度方向的两端部与第一带状部件20的非接合面(第二面)20b抵接。而且，通过一对第一环形带331a和一对第二环形带331b夹持第一带状部件20的两端部，由此使第一带状部件20进给移动。第一、第二驱动辊部332a、332b与第一进给移动部30中的其他驱动辊部同步地被驱动。

在这里，尤其是在曲折输送路径320产生输送异常时，有时想要切断第一带状部件20来进行应对异常。根据带输送机构330，夹持第一带状部件20的宽度方向的两端部从而输送第一带状部件20，因此无论有无切断，都能够输送第一带状部件20。第二干燥部600的曲折输送路径610也可以同样地配置带输送机构。

也可以是一对第一环形带331a通过与所述第一驱动辊部332a的凹凸卡合被输送引导，一对第二环形带331b通过与所述第二驱动辊部332b的凹凸卡合被输送引导。例如，如图13所示，一对第一环形带331a能够具有比与第一带状部件20的第一面20a抵接的面的相反面突出的第一引导肋331a1。在该情况下，第一驱动辊部332a具有供第一引导肋331a1进入的第一周槽332a1。同样地，一对第二环形带331b能够具有比与第一带状部件20的第二面20b抵接的面的相反面突出的第二引导肋331b1。在该情况下，第二驱动辊部332b具有供第二引导肋331b1进入的第二周槽332b1。这样，能够通过第一驱动辊部332a的第一周槽332a1和/或第二驱动辊部332b的第二周槽332b1，以不从正规的输送路径脱离的方式对一对第一环形带331a和/或一对第二环形带331b进行输送引导。第一引导肋331a1和第二引导肋331b1可以在带面上连续地形成，也可以不连续地形成。也可以将带作为凹结构，将辊部作为凸结构。也可以设置于凹凸结构的输送引导从动辊部。设置于第二干燥部600的带输送机构也可以同样地构成。

如图14所示，带输送机构330可以在第一带状部件20的宽度方向的中心区域进一步具有与第一面20a和第二面20b的至少一个接触的引导辊部334。在引导辊部334与第一面20a转动接触的情况下，第一带状部件20的与引导辊部334接触的宽度方向的中心区域作为电子部件1的非接合区域。例如，图14所示的阴影区域作为电子部件1的接合区域。这样，第一带状部件20在宽度方向的两端部和中央部被支承，从而能够抑制挠曲。因此，引导辊部334优选与第一带状部件20的朝下面抵接。设置于第二干燥部600的带输送机构也可以同样地构成。

3.3.配置于回收部的电子部件脱离装置

图15示出了能够配置于图3所示的回收部700的电子部件脱离装置710。部件脱离装置710使接合于进给移动的第二带状部件40的接合面40a的多个电子部件1从第二带状部件40脱离。部件脱离装置710配置于比在图3中卷绕第二带状部件40的第四辊部52靠第二带状部件40的进给方向的上游的位置。

部件脱离装置710具有：供给部712，其向第二带状部件40的接合面40a供给纯水711；以及脱离部715，其在第二带状部件40的进给移动方向上配置于比供给部712靠下游的位置，使多个电子部件1从第二带状部件40脱离。

供给部712能够包含收纳纯水711的收纳部713以及旋转刷714。旋转刷714包含旋转体714a和形成于旋转体714a的周面的刷子714b。在该情况下，旋转刷714的旋转轨迹包含收纳部713的与纯水711接触的下部旋转轨迹区域和与接合面40a接触的上部旋转轨迹区域。另外，供给部712也可以是朝向接合面40a喷射纯水的喷嘴等。而且，如图14所示，脱离部715也可以由在旋转体176a的周面具备例如橡胶板等的刮刀176b的旋转刮刀716等构成。电子部件1被旋转刮刀726从接合面40a刮取。脱离部715也可以是与第二带状部件40的进给方向交叉设置，并与进给移动的电子部件1发生干涉从而使电子部件1向下方落下的棒状或板状等干涉部件。

第二带状部件40的接合面40a的粘接面或粘合功能因接合面40a与水接触而受损。由此，在脱离部715的上游侧的供给部712，向接合有电子部件1的接合面40a供给水。通过使供给的水为纯水，只要通过干燥去除纯水，电子部件1的功能就不会受损。在脱离部715中，通过对电子部件1赋予外力，使电子部件1从接合面40a脱离。该赋予的外力很小即可，因此电子部件1也不会破损。

4.第二实施方式

图16示出了本发明的第二实施方式的浆料涂覆装置1000。图17～图19示出了设置于浆料涂覆装置1000的各部分。浆料涂覆装置1000包含安装部1100、第一涂覆部1200、第一干燥部1300、转移部1400、第二涂覆部1500、第二干燥部1600以及回收部1700。图16所示的各部分1100～1700与图3所示的各部分100～700具有相同的功能。以下，对图16～图19所示的部件中的与图3所示的部件具有相同功能的部件标注与图3相同的标号，并省略其详细说明。如图16所示，在浆料涂覆装置1000中，也可以将各部分1100～1700分别单元化为多个单元1000a～1000g。各单元1000a～1000g至少通过第一带状部件20或第二带状部件40连结。浆料涂覆装置1000不限于七个单元1000a～1000g，也可以与图3的五个单元11a～11e同样地单元化为五个单元。

在图16中，设置有第一进给移动部30a(在图16中未图示，参照图17和图18参照)和第二进给移动部50a(在图16中未图示，参照图18和图19)，该第一进给移动部30a使第一带状部件20从第一安装部1100向转移部1400进行进给移动，该第二进给移动部50a使第二带状部件40从转移部1400向回收部1700进行进给移动。在这里，在图16中，为了容易理解第一进给移动部30a的第一带状部件20的剩余长度调整功能和第二进给移动部的第二带状部件40的剩余长度调整功能，示出了在单元1000a～1000g中的相邻的各两个单元之间能够升降移动的张紧辊部1001～1006。张紧辊部1001～1006通过未图示的升降机构以能够升降的方式设置于相邻的两个单元的一个。张紧辊部1001～1006的位置不限定于相邻的各两个单元之间的位置。另外，将实施第一带状部件20的剩余长度调整功能的部件称为第一张紧辊部1001～1003，将实施第二带状部件40的剩余长度调整功能的部件称为第二张紧辊部1004～1006。通过使张紧辊部1001～1006中的对应的一个的升降移动，能够消除在相邻的两个单元因多个电子部件1的非同步的进给或非同步的停止而产生的第一带状部件20或第二带状部件40的挠曲或张紧。在图16中，张紧辊部1001～1006中的一个上升时，即使相邻的单元之间的第一带状部件20或第二带状部件40的剩余长度变短，也继续赋予张力。同样地，张紧辊部1001～1006中的一个下降时，即使相邻的单元之间的第一带状部件20或第二带状部件40的剩余长度变长，也继续赋予张力。这样，例如，能够在第一涂覆部1200进行间歇进给，在第一干燥部1300进行连续进给。这是因为，通过设置于第一涂覆部1200与第一干燥部1300之间的张紧辊部1002的升降移动，能够以不挠曲的方式蓄积第一带状部件20。

如图17～图19所示，浆料涂覆装置1000具有：第一进给移动部30a，其例如与第一实施方式相同地通过辊对辊方式使第一带状部件20进给移动；以及第二进给移动部50a，其例如通过辊对辊方式使第二带状部件40进给移动。如图17～图19所示，浆料涂覆装置1000能够包含第一辊部31、第二辊部32、第三辊部51以及第四辊部52。将卷绕于第一～第四辊部31、32、51、52的第一或第二带状部件20、40称为第一～第四辊21、22、41、42。

4.1.安装部

图17所示的安装部1100中，作为第一带状部件20的第一进给移动部30a，除了第一辊部31，还设置有辊部1101～1106、1112～1114。其中，例如辊部1101、1104、1113是驱动辊部。辊部1101被间歇地驱动，从而第一带状部件20从第一辊21依次进给移动。辊部1104例如能够正反旋转，在第一带状部件20停止在直线输送路径1120上之后，辊部1104反向旋转，辊部1113正向旋转，由此对在直线输送路径1120上的第一带状部件20赋予张力。使一批次量的电子部件1朝向上方而进行保持的治具101以能够升降的方式配置于第一带状部件20的直线输送路径1120的下方。第一带状部件20的直线输送路径1120的上方设置有平整辊部1111。平整辊部1111一边旋转一边水平移动，从而促进一批次量的电子部件1与第一带状部件20的接合。也可以设置图3的真空吸附部102来代替平整辊部1111。辊部1103是能够升降的张紧辊部。在通过治具101和平整辊部1111在安装动作中使第一带状部件20停止的期间，调整张紧辊部1103的升降位置，以使通过辊部1101从第一辊21引出的第一带状部件20不产生挠曲。安装了一批次量的电子部件1的第一带状部件20通过辊部1104、1113的间歇驱动向前方进行进给移动。

第一带状部件20被反复再利用。因此，能够设置对再利用的第一带状部件20进行清洗的清洗辊部1107。清洗辊部1107例如通过气缸1108被进退驱动。前进并与第一带状部件20接触的清洗辊部1107被气缸1108赋予气垫。为了检查再利用的第一带状部件20的接合力，设置有接合于第一带状部件20的接合部1109。接合部1109例如通过气缸1110被进退驱动，并在后退驱动时检查从第一带状部件20分离的力，由此判定第一带状部件20的接合力。判定为第一带状部件20的接合力不足时，进行警告，并停止装置的工作。

4.2.第一涂覆部

图17所示的第一涂覆部1200设置有辊部1201～1206作为第一带状部件20的第一进给移动部30a。其中，例如辊部1201、1205是驱动辊部，并被间歇驱动。而且，作为第一带状部件20的第一进给移动部30a，辊部1113、1201之间设置有能够升降移动的第一张紧辊部1001。当在安装部1100和第一涂覆部1200存在非同步的第一带状部件20的进给移动或停止动作时，张紧辊部1001通过升降对第一带状部件20赋予张力。

辊部1201例如能够正反旋转，在第一带状部件20停止在直线输送路径1210上之后，辊部1201反向旋转，辊部1205正向旋转，由此对在直线输送路径1210上的第一带状部件20赋予张力。在第一带状部件20的直线输送路径1210的下方，第一平台1220以能够升降的方式配置于第一带状部件20的进给移动方向的上游侧，第二平台1240以能够升降的方式配置于第一带状部件20的进给移动方向的下游侧。第一平台1220的上方隔着第一带状部件20设置有第一吸附部1230，第二平台1240的上方隔着第一带状部件20设置有第二吸附部1250。第一平台1220的平坦面形成有导电性浆料的浸渍层5。通过第一平台1220的上升，导电性浆料层涂覆于一批次量的电子部件1。在第一带状部件20的间歇输送之后，在一批次量的电子部件1涂覆了导电性浆料层的导电性浆料层与上升的第二平台1240的平坦面接触。由此，调整涂覆于电子部件1的导电性浆料层的膜厚和平坦性。

4.3.第一干燥部

图18所示的第一干燥部1300设置有辊部1301～1309作为第一带状部件20的第一进给移动部30a。其中，例如辊部1308是驱动辊部，例如被连续驱动。而且，辊部1206、1301之间设置有能够升降移动的第一张紧辊部1002作为第一带状部件20的第一进给移动部30a。当在第一涂覆部1200和第一干燥部1300存在非同步的第一带状部件20的进给移动或停止动作时，第一张紧辊部1002通过升降对第一带状部件20赋予张力。

在第一干燥部1300中，通过辊部1301～1309形成有冗长的输送路径，例如在四个直线输送路径配置有加热部例如红外线加热器1310。红外线加热器1310的背面配置有反射板1311，从而提高形成于电子部件1的导电性浆料层的加热效率。例如通过辊部1308被连续驱动，第一带状部件20在第一干燥部1300内被连续地进给移动。这样，通过连续输送，与间歇输送的情况相比，能够减少加热不均。而且，通过调整第一张紧辊部1002的升降位置，在第一干燥部1300中被连续输送并且在其上游的第一涂覆部1200被间歇输送的第一带状部件20被持续赋予张力，而不会产生挠曲。

4.4.转移部

在图18所示的转移部1400中，作为第一带状部件20的第一进给移动部30a，除了第二辊部32，还设置有辊部1401～1309。其中，例如辊部32、1402是驱动辊部，例如被间歇驱动。而且，能够升降的第一张紧辊部1003作为第一带状部件20的第一进给移动部30a设置于辊部1309、1401之间。当在第一干燥部1300和转移部1400存在非同步的第一带状部件20的进给移动或停止动作时，第一张紧辊部1003通过升降对第一带状部件20赋予张力。

在图18所示的转移部1400中，作为第二带状部件40的第二进给移动部50a，除了第三辊部51，还设置有辊部1410～1417。其中，例如1410、1414、1417是驱动辊部，例如被间歇驱动。

如图18所示，第二带状部件40的直线输送路径1420的下方设置有吸附部1409。辊部32、辊部1405～1407以及气缸1408能够作为升降部1430一体地相对于直线输送路径1420进行升降。图18是升降部1430在上升的位置。升降部1430下降时，与第一带状部件20接合的一批次量的电子部件1的端部与真空吸附于吸附部1409的第二带状部件40接触。然后，引导第一带状部件20的剥离引导辊部1406(剥离引导部或进给方向转换部件)与图8、图10以及图11的剥离引导部450同样地水平移动，以使第一带状部件20从与第二带状部件40接合的一批次量的电子部件1锐角地剥离。由此，与图8、图10以及图11的剥离引导部450的动作同样地，能够将一批次量的电子部件1从第一带状部件20转移到第二带状部件40。在该情况下，如果使第二带状部件40的接合力比第一带状部件20的接合力高，则更容易转移。另外，气缸1408向剥离引导辊部1406赋予气垫力。

4.5.第二涂覆部

图19所示的第二涂覆部1500能够是与图17所示的第一涂覆部1200相同的结构。第二涂覆部1500设置有辊部1501～1506作为第二带状部件40的第二进给移动部50a。其中，例如辊部1501、1505是驱动辊部，被间歇驱动。而且，在辊部1419、1501之间设置有能够升降移动的第二张紧辊部1004作为第二带状部件40的第一进给移动部30a。当在转移部1400和第二涂覆部1500存在非同步的第二带状部件40的进给移动或停止动作时，第二张紧辊部1004通过升降对第二带状部件40赋予张力。

在第二状部件4的直线输送路径1510的下方，第一平台1520以能够升降的方式配置于第二带状部件40的进给移动方向的上游侧，第二平台1540以能够升降的方式配置于第二带状部件40的进给移动方向的下游侧。第一平台1520的上方隔着第二带状部件40设置有第一吸附部1530，第二平台1540的上方隔着第二带状部件40设置有第二吸附部1550。第一平台1520的平坦面形成有导电性浆料的浸渍层5。通过第一平台1520的上升，导电性浆料层涂覆于一批次量的电子部件1。在第二带状部件40的间歇输送之后，在一批次量的电子部件1涂覆了导电性浆料层的导电性浆料层与上升的第二平台1540的平坦面接触。由此，调整涂覆于电子部件1的导电性浆料层的膜厚和平坦性。

4.6.第二干燥部

图19所示的第二干燥部1600能够是与图18所示的第一干燥部1300相同的结构。在第二干燥部1600设置有辊部1601～1609作为第二带状部件40的第二进给移动部50a。其中，例如辊部1608是驱动辊部，例如被连续驱动。而且，在辊部1506、1601之间设置有能够升降移动的第二张紧辊部1005作为第二带状部件40的第二进给移动部50a。当在第二涂覆部1500和第二干燥部1600存在非同步的第二带状部件40的进给移动或停止动作时，第二张紧辊部1005通过升降对第二带状部件40赋予张力。

在第二干燥部1600中，通过辊部1601～1609形成有冗长的输送路径，例如在四个直线输送路径配置有加热部例如红外线加热器1610。红外线加热器1610的背面配置有反射板1611，从而提高形成于电子部件1的导电性浆料层的加热效率。例如通过辊部1608被连续驱动，第二带状部件40在第二干燥部1600内连续地进给移动。而且，通过调整第二张紧辊部1005的升降位置，在第二干燥部1600中被连续输送并且在其上游的第二涂覆部1500被间歇输送的第二带状部件40被持续赋予张力，而不会产生挠曲。

4.7.回收部

在图19所示的回收部1700中，作为第二带状部件40的第二进给移动部50a，除了第四辊部52，还设置有辊部1701～1703。其中，例如辊部52、1701是驱动辊部，例如被间歇驱动。而且，在辊部1609、1701之间设置有能够升降移动的第二张紧辊部1006作为第二带状部件40的第二进给移动部50a。当在第二干燥部1600和回收部1700存在非同步的第二带状部件40的进给移动或停止动作时，第二张紧辊部1006通过升降对第二带状部件40赋予张力。

可以在回收部1700设置不合格品回收部1721和合格品回收部1731作为部件回收部。不合格品回收部1721与不合格品刮取部1720为一体，进行升降移动和水平移动。通过图20所示的控制系统框图的不合格id判定部1800判定电子部件1是否是不合格品。在本实施方式中，例如通过涂覆于至少一个电子部件1的两端部的至少一方的导电性浆料层4a的状态进行判别。因此，如图20所示，例如能够在第一涂覆部1200和第二涂覆部1500配置照相机等摄像部1801、1802。在图20所示的摄像部1801、1802中，例如对图2所示的导电性浆料层4a的尺寸t1+l3的长度l进行摄像。在拍摄到的尺寸l在规定范围内时，不合格id判定部1800判别为合格品，在拍摄的尺寸l在规定范围外时，不合格id判定部1800判别为不合格品。而且，按照一批次量的电子部件1的每个接合区域对第一带状部件20和第二带状部件40赋予批次id(例如条形码)。图20所示的第一id读取部1803、1804读取按照被摄像部1801、1802拍摄的一批次量的电子部件1的每一个而赋予第一带状部件20和第二带状部件40的批次id。而且，关于第一带状部件20的批次id与第二带状部件40的哪一个批次id对应，通过图20所示的第二id读取部1805读取例如在转移部1400对应的第一、第二带状部件20、40的两个批次id。

因此，通过图20所示的第三id读取部1806在回收部1700中读取第二带状部件40的批次id，能够识别在第一涂覆部1200和第二涂覆部1500的至少一方是否产生涂覆不良。判定为不合格的一批次量的电子部件1被不合格品刮取部1720刮取，并被不合格品回收部1721回收。其余的作为合格品的电子部件1被合格品刮取部1730刮取，并被合格品回收部1731回收。刮取了电子部件1的第二带状部件40被第四辊部52作为第四辊42回收。

在上述的第二实施方式中，也可以替换为图1～图15所示的第一实施方式的部件。例如，在第一、第二涂覆部1200、1500的至少一方，也可以使用图5～图7所示的旋转体210来代替第一、第二平台。而且，在第一、第二干燥部1300、1600的至少一方，也可以采用图12～图14所示的带输送机构330。

标号说明

1：电子部件；2、2a、2b：端部；2a：端面；2b：侧面；2c：角部；4：干燥工序完成前的导电性浆料层；4a：电极(干燥工序完成后的导电性浆料层)；5：浸渍层；10：浆料涂覆装置；10a：第一装置；10b：第二装置；11a：安装单元；11b：第一涂覆单元；11c：干燥单元；11d：转移/回收单元；11e：第二涂覆单元；20：第一带状部件；20a：接合面；20b：非接合面；21：第一辊；22：第二辊；30、30a：第一进给移动部；31：第一辊部；32：第二辊部；40：第二带状部件；40a：接合面；40b：非接合面；41：第三辊；42：第四辊；50、50a：第二进给移动部；51：第三辊部；52：第四辊部；100：安装部；101：治具；102：基台；200：第一涂覆部；210：旋转体；211：平坦面；220：浸渍层形成部；221：浆料收纳部；221b：开口；222：供给辊部；224：刀片；230：旋转驱动部；240：移动部(第一移动部)；250：去除部(刀片)；300：第一干燥部；310：干燥室；320：曲折输送路径；330：带输送机构；331a：一对第一环形带；331a1：第一引导肋；331b：一对第二环形带；331b1：第二引导肋；332a：第一驱动辊部；332a1：第一周槽；332b：第二驱动辊部；332b1：第二周槽；334：引导辊部；400：转移部；410：第一吸附部；420：第二吸附部；430：第三吸附部；431：开口；440：第四吸附部；450：剥离引导部；460：按压部(辊部)；500：第二涂覆部；600：第二干燥部；610：曲折输送路径；700：回收部；710：电子部件脱离装置；711：纯水；712：供给部；713：收纳部；714：旋转刷；714a：旋转体；714b：刷子；715：脱离部；716：旋转刮刀；716a：旋转体；716b：刮刀；1000：浆料涂覆装置；1000a～1000g：多个单元；1001～1003：第一张紧辊部；1004～1006：第二张紧辊部；1100：安装部；1200：第一涂覆部；1220：第一平台；1240：第二平台；1300：第一干燥部；1400：转移部；1500：第二涂覆部；1520：第一平台；1540：第二平台；1600：第二干燥部；1700：回收部；1721、1731：部件回收部；1800：不合格id判定部；1801、1802：摄像部；1803、1804：第一id读取部；1805：第二id读取部；1806：第三id读取部。