液滴释放装置和位置调整方法与流程

1.本发明涉及液滴释放装置和位置调整方法。


背景技术：

2.已知有液滴释放装置，其能够对被运送的基片以喷墨方式进行涂敷液的液滴的涂敷。
3.另一方面，在专利文献1中，作为喷墨头的制造技术，公开了通过将多个头部高精度地配置在一个承载器上，来组装长条的喷墨头的组装装置。在液滴释放装置中，搭载有例如用上述组装装置组装成的喷墨头。
4.现有技术文献
5.专利文献
6.专利文献1：日本特开2001-162892号公报


技术实现要素：

7.发明要解决的技术问题
8.本发明提供能够在液滴释放装置中进行头部的位置调整的技术。
9.用于解决技术问题的技术手段
10.本发明的一个方式的液滴释放装置包括释放单元、运送单元和调整单元。释放单元具有：形成有多个开口部的承载器；多个头部，其以覆盖开口部的方式设置在承载器，能够释放功能液的液滴；和能够相对于承载器对头部进行固定和固定解除的多个固定部。运送单元配置在释放单元的下方，沿水平方向运送基片。调整单元从释放单元的下方访问以调整头部的位置。
11.发明效果
12.依照本发明，能够在液滴释放装置中进行头部的位置调整。
附图说明
13.图1是实施方式的液滴释放装置的俯视图。
14.图2是实施方式的液滴释放装置的侧视图。
15.图3是实施方式的承载器的俯视图。
16.图4是图3中的沿iv-iv线箭头截面图。
17.图5是从斜下方观察实施方式的头部的立体图。
18.图6是实施方式的调整单元的侧视图。
19.图7是表示实施方式的液滴释放装置执行的处理的工序的流程图。
20.图8是表示第一调整处理的工序的流程图。
21.图9是表示第二调整处理的工序的流程图。
22.图10是表示实施方式的液滴释放装置执行的处理的工序的另一例的流程图。
23.图11是示意性地表示变形例的液滴释放装置的结构的框图。
24.图12是示意性地表示变形例的释放单元的结构的立体图。
25.附图标记说明
26.1：液滴释放装置(液滴排出装置)
27.2：架台
28.3：第一导轨
29.4：第二导轨
30.5：运送单元
31.6：释放单元(排出单元)
32.7：检查单元
33.8：维护单元
34.9：第三导轨
35.10：调整单元
36.11：滑块
37.12：基座
38.13：机械手
39.14：距离测量部
40.15：拍摄部
41.16：温度调节部
42.50：控制装置
43.51：滑块
44.52：工作台
45.61：滑块
46.62：承载器转动部
47.63：支承体
48.64：承载器(载体)
49.65：头部
50.71：检查膜
51.72：拍摄部
52.73：滑块
53.100：腔室
54.131：支承部件
55.131a：销
56.132：移动部
57.132a：基部
58.132b：移动台
59.132c：连接机构
60.133：移动部
61.616：释放孔(排出孔)
62.641：开口部
63.642：固定部
64.w：基片。
具体实施方式
65.以下，参照附图，对用于实施本发明的液滴释放装置和位置调整方法的方式(以下，记为“实施方式”)详细地进行说明。另外，本发明并不由此实施方式限定。此外，各实施方式在不使处理内容矛盾的范围内能够适当组合。此外，在以下的各实施方式中对相同的部位标注相同的附图标记，省略重复的说明。
66.另外，在以下所示的实施方式中，有时使用“一定”“正交”“垂直”或者“平行”之类的用词，但是这些用词并不必须是严格意义上的“一定”“正交”“垂直”或者“平行”。即，上述的各用词容许存在例如制造精度、设置精度等的偏差。
67.另外，以下参照的各附图中，为了使说明容易理解，有时给出规定彼此正交的x轴方向、y轴方向和z轴方向，并使z轴正方向为铅垂向上方向的正交坐标系。此外，有时将以铅垂轴为旋转中心的旋转方向称为θ方向。
68.＜液滴释放装置的结构＞
69.首先，参照图1和图2，对实施方式的液滴释放装置的结构进行说明。图1是实施方式的液滴释放装置的俯视图。图2是实施方式的液滴释放装置的侧视图。
70.图1和图2所示的液滴释放装置1，一边将基片w在水平方向(以下，记为“主运送方向”)上运送一边用喷墨方式对基片w释放功能液的液滴，由此对基片w进行描绘。基片w例如是用于平板显示器的基片。平板显示器例如是使用有机发光二极管的显示器、量子点的显示器。
71.液滴释放装置1被收纳在腔室100中。对腔室100供给不活泼气体(例如，氮气)。液滴释放装置1在不活泼气体气氛下进行对基片w的描绘。此外，液滴释放装置1并不一定必须被收纳在腔室100中。
72.功能液中，除了墨水之外，还包含形成空穴注入层(hil：hole injection layer)、空穴输送层(htl：hole transport layer)等的液。
73.腔室100中，并排设置有收纳控制装置50等的电气室101、用于更换贮存功能液的未图示的功能液罐的更换室102。
74.液滴释放装置1包括架台2、一对第一导轨3、3和一对第二导轨4、4。
75.架台2沿主运送方向(此处为y轴方向)延伸。架台2的上表面为水平面。一对第一导轨3、3是沿主运送方向延伸的导轨，配置在架台2的上表面。
76.一对第二导轨4、4是沿与主运送方向正交的水平方向(x轴方向，以下记为“副运送方向”)延伸的导轨，配置在一对第一导轨3、3的上方。各第二导轨4例如安装在形成为门形的支承体4a的上表面。此外，一对第二导轨4、4延长至配置于架台2的侧方的后述的维护单元8的上方。
77.液滴释放装置1包括运送单元5、多个释放单元6、检查单元7、维护单元8和调整单元10。
78.运送单元5沿主运送方向运送基片w。具体而言，如图2所示，运送单元5包括滑块51
和工作台52。
79.滑块51安装在一对第一导轨3、3，通过设置于一对第一导轨3、3中的至少一者的未图示的驱动部例如线性电机而沿一对第一导轨3、3移动。工作台52固定在滑块51，与滑块51一起移动。工作台52例如是真空吸附工作台，通过吸附载置于上表面的基片w，而能够保持基片w。
80.运送单元5如上述那样构成，通过使滑块51沿一对第一导轨3、3移动，而能够使保持于工作台52的基片w沿主运送方向运送。
81.另外，运送单元5可以是浮上式的运送机构。此情况下，运送单元5例如从下方支承基片w的端部，一边从下方向基片w吹去压缩空气以水平地保持基片w，一边基片w。
82.另外，运送单元5也可以包括使工作台52绕铅垂轴转动的工作台旋转部。此情况下，使用设置于工作台52的上方的未图示的对准摄像机来拍摄基片w的对准标记，基于拍摄到的图像，使用工作台旋转部使工作台52转动，从而能够校正基片w的方向。
83.多个释放单元6在架台2的上方沿副运送方向并排地配置。图1所示的例子中，3个释放单元6沿副运送方向配置，但是释放单元6的数量并不限定于3个。
84.各释放单元6包括滑块61、承载器转动部62、支承体63、承载器64和多个头部65。
85.滑块61安装在一对第二导轨4、4，通过设置于一对第二导轨4、4中的至少一者的驱动部(未图示)例如线性电机而能够沿一对第二导轨4、4移动。
86.承载器转动部62安装在滑块61的中央，经由后述的支承体63使承载器64绕铅垂轴转动。此外，承载器转动部62的安装位置并不限定于滑块61的中央。例如，承载器转动部62的安装位置也可以从滑块61的中央向y轴负方向或者y轴正方向偏离。支承体63与承载器转动部62的下端连接，由承载器转动部62从上方对其进行支承。
87.承载器64与支承体63的下端连接，有支承体63从上方对其进行支承。
88.多个头部65设置在承载器64。头部65经由未图示的供给管而连接到未图示的功能液罐，将从功能液罐经由供给管供给的功能液经由喷嘴(此处未图示)呈液滴状释放。头部65具有多个喷嘴，能够从该多个喷嘴释放多种功能液。关于承载器64和头部65的结构，在后文说明。
89.检查单元7用检查膜71接收从头部65释放的功能液的液滴，用拍摄部72拍摄液滴的释放状态。检查膜71与滑块73一起沿第一导轨3、3移动。
90.维护单元8包括吸引部81、擦拭部82和重量计测部83。
91.吸引部81在维护头部65时从头部65吸引功能液的液滴。吸引部81例如使未图示的帽状部与头部65的下表面密接，经由未图示的吸引管用未图示的喷射器吸引功能液。吸引部81防止功能液的堵塞。
92.擦拭部82将未图示的擦拭片材(擦拭纸、wipe sheet)按压到由吸引部81吸引了功能液后的头部65的下表面以对头部65的下表面进行擦拭。
93.重量计测部83用例如接收器皿接收从头部65释放的功能液的液滴，用电子天秤计测液滴的重量。
94.＜承载器的结构＞
95.下面，参照图3和图4，对承载器64的结构进行说明。图3是实施方式的承载器64的俯视图。图4是沿图3的iv-iv线箭头截面图。
96.如图3和图4所示，承载器64是平板状的部件。承载器64具有多个开口部641。例如，在图3所示的例子中，共计12个开口部641沿主运送方向和副运送方向以矩阵状设置于承载器64。另外，此处，给出了在承载器64设置12个开口部641时的例子，但是开口部641的个数可以比12个多也可以比12个少。
97.在多个开口部641，逐一收纳有头部65。头部65以覆盖开口部641的方式设置在承载器64。
98.如图4所示，头部65包括头主体602和从头主体602向侧方突出的凸缘部603。头部65能够从例如承载器64的上方插入开口部641。由此，头部65中的头主体602配置在开口部641内。此外，头部65中的凸缘部603抵接到承载器64的上表面。头部65成为卡固于承载器64的状态。
99.另外，头部65也可以从承载器64的下方插入开口部641此情况下，例如，将通过凸缘部603的贯通孔设置在开口部641的周围即可。像这样，通过采用将头部65从承载器64的下方插入开口部641的方式，能够使例如头部65的更换变得容易。
100.另外，凸缘部603的形状、固定部642的配置等并不限定于图3所示的例子，也可以适当改变为适合于将头部65从承载器64的下方插入开口部641的方式的形状、配置。例如，关于凸缘部603，也可以代替设置在头部65的整周的形状，而采用仅设置在与固定部642对应的部分的形状。
101.承载器64包括多个固定部642。固定部642例如每4个地设置在各开口部641的周围，具体而言被头部65的凸缘部603覆盖的位置。在图3中，仅示出了与纸面左上的开口部641所对应的4个固定部642，而省略了与其他开口部641对应的固定部642的图示。此外，与一个开口部641对应地设置的固定部642的个数和配置并不限定于图示的例子。
102.固定部642通过用抽真空来吸引凸缘部603的下表面，以将凸缘部603吸附在承载器64的上表面。由此，固定部642能够将头部65固定在承载器64。此外，固定部642通过停止基于抽真空的吸引，而能够解除头部65的固定。
103.另外，利用固定部642进行的头部65的固定方法，并不限定于基于吸引的固定。例如，固定部642也可以从头部65的上方按压头部65，以将头部65推压并固定在承载器64的上表面。作为此情况下的施压方法，能够使用例如弹簧。此外，固定部642也可以为螺纹孔。此情况下，固定部642设置在与形成于凸缘部603的螺纹孔对应的位置，通过螺纹固定将头部65固定在承载器64。此外，固定部642也可以是通过磁力固定头部65的电磁体等。
104.＜头部的结构＞
105.下面，参照图5，对头部65的结构进行说明。图5是从斜下方观察实施方式的头部65的立体图。
106.头部65例如为压电方式的喷嘴头。在头主体602的下表面615，形成多个释放孔616。多个释放孔616例如沿主运送方向(y轴方向)形成2列。此外，在各列，多个释放孔616沿副运送方向(x轴方向)等间隔地配置。
107.头主体602具有未图示的泵部。泵部包含贮存功能液的空腔、使空腔的体积变化的压电元件、振动板等，通过对压电元件施加电压使振动板振动，而使空腔的体积变化以从各释放孔释放功能液的液滴。此外，在头部65，设置有经由供给管与功能液罐连接的功能液导入部、经由柔性扁平电缆与控制装置50(参照图1)连接的头基片等。
108.凸缘部603在头部602的外周面的上部跨头部602的整周而设置，从头部602的外周面从水平方向外侧突出。凸缘部603的下表面631例如为水平面，相当于由固定部642进行固定的被固定面(被吸附面)。此外，也可以在凸缘部603的下表面631，设置有与基于固定部642的固定方法相应的被固定部。
109.＜调整单元的结构＞
110.返回图1。液滴释放装置1还包括一对第三导轨9、9。一对第三导轨9、9是沿副运送方向延伸的导轨，设置在工作台52的侧面。具体而言，一对第三导轨9、9设置于工作台52所具有的多个(此处为4个)的侧面中，在对基片w进行描绘时，位于基片w移动的方向(y轴正方向)的后端的侧面52a。
111.在一对第三导轨9、9，设置有调整单元10。调整单元10从释放单元6的下方访问头部65以调整头部65相对于开口部641的位置。
112.此处，参照图6，对调整单元10的结构进行说明。图6是实施方式的调整单元10的侧视图。
113.如图6所示，调整单元10包括滑块11、基座12、机械手13、距离测量部14、拍摄部15和温度调节部16。
114.滑块11安装在一对第三导轨9、9，能够通过设置于一对第三导轨9、9中的至少一者的驱动部(未图示)，例如线性电机而沿一对第三导轨9、9移动。基座12固定在滑块11。基座12的上表面成为水平面。
115.机械手13设置在基座12的上表面。该机械手13能够通过滑块11而沿副运送方向移动。如上所述，滑块11经由一对第三导轨9、9安装在工作台52。因此，机械手13也能够通过滑块51(参照图2)而沿主运送方向移动。
116.像这样，机械手13能够使用滑块11、51以沿主运送方向和副运送方向移动。由此，机械手13能够向作为位置调整的对象的头部65(以下，有时记为“对象头部65”)的下方移动。然后，机械手13通过从下方支承对象头部65并使之移动，来调整对象头部65相对于开口部641的位置。
117.机械手13包括支承部件131和移动部132。支承部件131例如具有多个销131a。支承部件131通过借助后述的移动部132移动，而使多个销131a接触到头部65的喷嘴面615以从下方支承头部65。
118.移动部132使支承部件131移动。移动部132例如包含平行连接机构。具体而言，移动部132包括：固定在基座12的上表面(水平面)的基部132a；配置在比基部132a靠上方的移动台132b；以及将基部132a和移动台132b并排地连结的多个连接机构132c。移动台132b的上表面成为平坦面，在该平坦面，除了上述的支承部件131之外还设置有距离测量部14和拍摄部15。
119.像这样，机械手13是所述的平行连接机械手，能够使设置于移动台132b的支承部件131、距离测量部14和拍摄部15在任意方向上移动。平行连接机构与串接连接机构相比能够进行更精密的动作。因此，具有平行连接机构的机械手13，能够高精度地进行头部65的位置调整。此外，机械手13并不一定必须具有平行连接机构。此外，基座12的上表面并不一定必须是水平面，只能能够通过机械手13的姿态变化而实现水平即可。
120.距离测量部14设置在机械手13的移动台132b的上表面。距离测量部14例如是激光
测长器，在与移动台132b的上表面垂直的方向上照射激光，通过接收其反射光，而能够测量至反射面为止的距离。调整单元10使用该距离测量部14测量至头部65的喷嘴面615为止的距离。此外，也可以为，调整单元10具有多个距离测量部14。
121.拍摄部15例如具有ccd图像传感器、cmos图像传感器等拍摄元件，在使光轴朝向与移动台132b的上表面垂直的方向的状态下被固定在移动台132b。调整单元10使用该拍摄部15拍摄头部65的喷嘴面615。
122.温度调节部16设置在机械手13，调节机械手13的温度。例如，也可以为，温度调节部16安装在移动台132b的下表面。像这样，通过在机械手13设置温度调节部16，能够排除因机械手13的发热而导致的移动台132b等的热伸长等的影响。
123.另外，也可以为，调整单元10构成为相对于液滴释放装置1可拆装。具体而言，例如也可以构成为滑块11相对于一对第三导轨9、9可拆装。此外，也可以构成为机械手13相对于基座12可拆装。像这样，通过使调整单元10可拆装地构成，例如能够使根据所要求的位置调整的精度而更换机械手13的作业变得容易。
124.＜液滴释放装置的具体的动作＞
125.返回图1。液滴释放装置1包括控制装置50。控制装置50例如是计算机，包括控制部(未图示)和存储部(未图示)。存储部由例如ram(random access memory：随机存取存储器)、闪存(flash memory)等半导体存储元件，或者硬盘、光盘等存储装置实现。
126.控制部包括包含cpu(central processing unit：中央处理器)、rom(read only memory：只读存储器)、ram、输入输出端口等的微型计算机、各种电路。微型计算机的cpu通过读取并执行存储于rom的程序，来实现液滴释放装置1的控制。
127.另外，程序也可以记录于计算机可读取的存储介质，从存储介质被安装到控制装置50的存储部。作为计算机可读取的存储介质，例如有硬盘(hd)、软盘(fd)、光盘(cd)、磁光盘(mo)、存储卡等。
128.此处，参照图7～图9，对液滴释放装置1的具体动作进行说明。图7是表示实施方式的液滴释放装置1执行的处理的工序的流程图。
129.图8是表示第一调整处理的工序的流程图。图9是表示第二调整处理的工序的流程图。图7～图9所示的各处理，在控制装置50所具有的控制部的控制下被执行。
130.如图7所示，在实施方式的液滴释放装置1中，首先，进行第一调整处理(步骤s01)，然后，进行第二调整处理(步骤s02)。第一调整处理使用的调整单元10的拍摄部15拍摄头部65，基于从拍摄到的图像得到的头部65的位置偏差量进行头部65的位置调整。第二调整处理从头部65释放功能液的液滴，基于液滴的释放位置的偏差量进行头部65的位置调整。
131.首先，对第一调整处理的工序进行说明。图8示出了关于1个头部65的调整处理的工序。此外，在第一调整处理开始之前，将多个头部65例如通过人手配置在承载器64的多个开口部641。
132.如图8所示，在液滴释放装置1中，进行临时固定对象头部65的处理(步骤s101)。具体而言，控制部控制多个固定部642，将对象头部65固定在承载器64。此外，对多个头部65连续地进行第一调整处理的情况下，控制部也可以在对第一个对象头部65的第一调整处理中，将多个头部65一起临时固定在承载器64。
133.接着，在液滴释放装置1中，进行计测头部65的喷嘴面615的倾斜(倾斜程度)的处
理(步骤s102)。具体而言，控制部控制滑块51(参照图2)和滑块11(参照图6)，将机械手13在配置对象头部65的正下方。接着，控制部一边控制滑块11，使机械手13沿副运送方向移动，一边使用距离测量部14测量至各头部65的喷嘴面615为止的距离。然后，控制部基于距离测量部14的测量结果，获取相对于各头部65的喷嘴面615的水平面的倾斜程度。
134.接着，控制部控制机械手13，与步骤s102中获取的喷嘴面615的倾斜程度相应地使移动台132b倾斜(步骤s103)。具体而言，控制部使移动台132b倾斜，以使得喷嘴面615与移动台132b的上表面相平行。
135.接着，控制部基于由拍摄部15拍摄到的图像，获取设置于喷嘴面615的多个释放孔616(参照图6)中预先决定的释放孔616(以下，记为“基准孔616”)的位置(步骤s104)。例如，将形成为2列的多个释放孔616中位于第一列最起始的释放孔616和位于第二列最末尾的释放孔616，预先决定为基准孔616。
136.接着，控制部计算步骤s104中获取到的基准孔616的位置与预先设定的该基准孔616的目标位置的偏差，作为对象头部65的必要移动量(步骤s105)。必要移动量包含目标位置与基准孔616的位置之间的距离，以及基准孔616相对于目标位置的方向。
137.目标位置由以移动台132b的上表面为基准的坐标系中的坐标表示。另一方面，步骤s104中获取的基准孔616的位置，由以拍摄部15的拍摄面(与光轴正交的面)为基准的坐标系中的坐标表示。利用液滴释放装置1，在步骤s103中使移动台132b与喷嘴面615的倾斜程度相应地倾斜，由此能够使上述2个坐标系的倾斜程度一致。由此，能够高精度地计算必要移动量。
138.接着，控制部控制固定有对象头部65的多个固定部642，以解除对象头部65的固定(步骤s106)。
139.在解除了对象头部65的临时固定时，存在对象头部65的位置发生偏移的可能。因此，控制部通过与步骤s104同样的工序，再次获取基准孔616的位置(步骤s107)。然后，控制部判断步骤s107中获取到的基准孔616的位置是否从步骤s104中获取到的基准孔616的位置发生了偏移(步骤s108)。例如，控制部在步骤s107中的基准孔616的位置与步骤s104中的基准孔616的位置之差超过了阈值的情况下，判断为基准孔616的位置发生了偏移。
140.在步骤s108中，在判断为基准孔616的位置发生了偏移，控制部基于步骤s107中的基准孔616的位置在此计算必要移动量(步骤s109)。
141.在结束了步骤s109的处理的情况下，或者，在步骤s108中基准孔616的位置没有偏移的情况下(步骤s108，否(no))，在液滴释放装置1中，进行使对象头部65移动的处理(步骤s110)。具体而言，控制部通过控制机械手13，使对象头部65移动步骤s105或者步骤s109中计算出的必要移动量。
142.接着，控制部控制多个固定部642，将对象头部65固定在承载器64(步骤s111)。
143.接着，控制部通过与步骤s104同样的的工序，再次获取基准孔616的位置(步骤s112)。然后，控制部判断步骤s112中获取到的基准孔616的位置与目标位置的偏差是否在阈值以内(步骤s113)。在该处理中，当与目标位置的偏差超过了阈值的情况下(步骤s113，否(no))，控制部使处理返回步骤s105，反复步骤s105～s113的处理。另一方面，在步骤s113中，当判断为与目标位置的偏差在阈值以内时(步骤s113，是(yes))，控制部结束对1个对象头部65的第一调整处理。
144.例如，当液滴释放装置1启动时，将所有头部65作为对象进行上述的第一调整处理行。此情况下，对作为对象的多个头部65连续地进行第一调整处理。
145.另外，也可以为，例如在将发生了不良状况的头部65更换为其他头部65时，仅将更换后的头部65作为对象进行第一调整处理。此外，利用液滴释放装置1，能够单独地进行多个头部65的固定和固定解除，因此即使在头部65发生了不良状况的情况下，也能够仅替换发生了不良状况的头部65，而不需要以承载器64为单位进行更换。因此，能够减少维持液滴释放装置1所需的工夫和成本。
146.当第一调整处理结束时，开始第二调整处理。如图9所示，在液滴释放装置1中，首先，进行从对象头部65释放液滴的处理(步骤s201)。具体而言，控制部控制滑块73(参照图1)，使检查膜71移动到对象头部65的下方。然后，控制部控制释放单元6从对象头部65对检查膜71释放液滴。
147.另外，此处，控制部使得从对象头部65对检查膜71释放液滴，但是，也可以为使得对基片w释放液滴。此情况下，控制部控制滑块51(参照图2)，将基片w配置到对象头部65的下方即可。
148.接着，在液滴释放装置1中，进行获取检查膜71上的液滴的释放位置的处理(步骤s202)。具体而言，控制部使用拍摄部72(参照图2)拍摄被释放到检查膜71的液滴，基于拍摄到的图像来获取液滴的释放位置。
149.接着，控制部判断步骤s202中获取到的释放位置与预先决定的该释放位置的目标位置之偏差是否在阈值以内(步骤s203)。在该处理中，当与目标位置的偏差超过了阈值时(步骤s203，否(no))，控制部将与目标位置的偏差作为对象头部65的必要移动量，控制机械手13使对象头部65移动(步骤s204)。
150.在结束了步骤s204的处理的情况下，或者，在步骤s203中判断为与目标位置的偏差在阈值以内的情况下(步骤s203，否(no))，控制部结束第二调整处理。
151.另外，也可以为，控制部在第二调整处理中，例如，对多个对象头部65同时进行步骤s201和步骤s202。即，也可以从多个头部65释放液滴，一次获取与该多个头部65对应的释放位置。然后，控制部在步骤s203的判断处理中，对判断为与目标位置的偏差超过了阈值的对象头部65，执行步骤s204的处理。
152.(变形例)
153.图10是表示实施方式的液滴释放装置1执行的处理的工序的另一例的流程图。如图10所示，也可以为，液滴释放装置1在进行了第二调整处理之后(步骤s11)，进行第一调整处理(步骤s12)。
154.在上述的实施方式中，对使用液滴释放装置1所具有的调整单元10以头部65为单位调整头部65的位置的情况的例子进行了说明。不限于此，也可以为，调整单元10以承载器64为单位调整头部65的位置。以下，对使用调整单元10进行承载器64的位置调整的情况的例子进行说明。
155.图11是示意性地表示变形例的液滴释放装置的结构的框图。如图11所示，在变形例中，利用在液滴释放装置1a的外部配置的头安装装置200所具有的第二调整单元10b，进行头部65相对于承载器64a的位置调整。第二调整单元10b例如具有与上述的实施方式的调整单元10同样的结构，通过与调整单元10同样的工序进行头部65的位置调整。
156.另外，第二调整单元10b不需要与调整单元10完全相同，至少包含与调整单元10相同的结构即可。利用该第二调整单元10b，进行头部65相对于承载器64a的开口部641的位置调整。
157.变形例的液滴释放装置1a包括第一调整单元10，该第一调整单元10具有与上述的实施方式的调整单元10同样的结构。变形例的液滴释放装置1a从头安装装置200接收已搭载头部65的承载器64a，使用第一调整单元10a将接收到的承载器64a安装在液滴释放装置1a。
158.另外，关于液滴释放装置1a，也能够使用第一调整单元10a从液滴释放装置1a拆下承载器64a，也能够使用第一调整单元10a进行安装于液滴释放装置1a的承载器64a的位置调整。此外，液滴释放装置1a与实施方式的液滴释放装置1同样，也能够使用第一调整单元10a以头部65为单位调整头部65的位置。
159.图12是示意性地表示变形例的释放单元的结构的立体图。另外，在图12中，省略了图示，但是在承载器64a安装有多个头部65，并且成为相对于开口部641被定位的状态。
160.如图12所示，变形例的释放单元6a构成为承载器64a相对于支承体63a可分离。支承体63a例如经由未图示的支柱与承载器转动部62(参照图2)连接。
161.在承载器64a，设置有用于将承载器64a连接到支承体63a的连接部645。连接部645包括：从承载器64a的上表面向上方延伸的多个(此处为2个)的支柱部645a；和设置于多个支柱部645a的上部并在水平方向上延伸的顶部645b。此外，承载器部64a包括设置于顶部645b的下表面的多个(此处为2个)的固定部645c。固定部645c通过抽真空来吸引支承体635的上表面645c。
162.承载器64a经由该连接部645固定在支承体63a。具体而言，连接部645通过使用固定部645c吸引支承体63a的上表面635，以相对于支承体63a固定承载器64a。
163.另外，利用固定部645c进行的承载器64a的固定方法，并不限定于基于吸引的固定，例如可以为基于使用弹簧等的按压力的固定，也可以为基于螺纹固接的固定，还可以为基于使用电磁体等的磁力的固定。
164.第一调整单元10a例如使用机械手13从下方支承承载器64a的下表面中央部。在承载器64a形成有贯通孔647，第一调整单元10a能够使用拍摄部15，经由该贯通孔647拍摄承载器64a的上方。在位于承载器64a的上方的支承体63a的下表面，设置有用于对承载器64a进行定位的记号。
165.在变形例的液滴释放装置1a中，使用滑块51、滑块11使支承着承载器64a的第一调整单元10a移动至支承体63a。此时，承载器64a被第一调整单元10a支承，以使得固定部645c的位置比支承体63a的上表面635高。
166.液滴释放装置1a在利用第一调整单元10a的拍摄部15，经由贯通孔647拍摄了上述的记号的情况下，判断为承载器64a被配置于恰当的位置，使用第一调整单元10a使承载器64a下降。由此，承载器64a的固定部645c与支承体63a的上表面635接触。然后，固定部645c吸引支承体63a的上表面635，由此承载器64a固定在支承体63a。
167.如上所述，也可以为，液滴释放装置1a以承载器64a为单位进行头部65的位置调整。具体而言，执行以下步骤：在将承载器64a固定到液滴释放装置1a之前，对各承载器64a解除由固定部642进行的头部65的固定的步骤；然后，使用包含与第一调整单元10a相同的
结构的第二调整单元10b调整头部65相对于开口部641的位置的步骤；以及，然后，使用固定部642将头部65固定在承载器6a的步骤。然后，执行使用第一调整单元10a，调整各承载器64a相对于液滴释放装置1a的位置的步骤。
168.如上所述，通过使用液滴释放装置1a以外的装置进行头部65的位置调整，能够缩短液滴释放装置1a中的位置调整的所需时间。
169.另外，此处，示出了第一调整单元10a安装在工作台52时的例子，第一调整单元10a例如可以安装在滑块73，也可以安装在专用的运送单元。
170.如上所述，实施方式的液滴释放装置(作为一个例子，液滴释放装置1)包括释放单元(作为一个例子，释放单元6)、运送单元(作为一个例子，运送单元5)和调整单元(作为一个例子，调整单元10)。释放单元具有：形成有多个开口部(作为一个例子，开口部641)的承载器(作为一个例子，承载器64)；多个头部(作为一个例子，头部64)，其以覆盖开口部的方式设置于承载器，能够释放功能液的液滴；和能够相对于承载器对头部进行固定和固定解除的多个固定部(作为一个例子，固定部642)。运送单元配置在释放单元的下方，沿水平方向运送基片(作为一个例子，基片w)。调整单元从释放单元的下方访问以调整头部的位置。因此，利用实施方式的液滴释放装置，能够在液滴释放装置中以头部为单位进行头部的位置调整。
171.也可以为，运送单元包括：能够载置基片的工作台(作为一个例子，工作台52)；使工作台沿第一水平方向(作为一个例子，主运送方向)移动的第一移动机构(作为一个例子，滑块51)。此情况下，也可以为，调整单元包括：第二移动机构(作为一个例子，滑块11)，其设置在工作台的侧面，能够沿与第一水平方向交叉的第二水平方向(作为一个例子，副运送方向)移动；第三移动机构(作为一个例子，机械手13)，其设置在第二移动机构，从下方支承头部以使之移动。由此，能够访问任意的头部。
172.也可以为，调整单元设置在第三移动机构，具有拍摄头部的下表面的拍摄部(作为一个例子，拍摄部15)。此外，也可以为，实施方式的液滴释放装置具有控制部(作为一个例子，控制装置50的控制部)。控制部执行以下处理：控制第一移动机构和第二移动机构中的至少一者使第三移动机构移动到头部的下方的处理；控制拍摄部拍摄头部的下表面，基于拍摄到的图像计算头部的移动量的处理；基于计算出的移动量控制第三移动机构以使头部移动的处理；和移动了头部之后，控制固定部将头部固定在承载器的处理。由此，能够高精度地调整头部的位置。
173.也可以为，控制部执行以下处理：在将头部固定在承载器的处理结束后，控制释放单元以从头部释放液滴的处理；和基于液滴的释放位置，控制第三移动机构对头部的位置进行再调整的处理。由此，能够提高头部的位置调整的精度。
174.也可以为，第三移动机构包括：从下方支承头部的支承部件(作为一个例子，支承部件131)；移动部(作为一个例子，移动部132)，其具有设置有支承部件的移动台(作为一个例子，移动台132b)，能够使移动台移动。此外，也可以为，调整单元包括距离测量部(作为一个例子，距离测量部14)，该距离测量部设置在移动台，能够检测至头部的下表面为止的距离。此情况下，也可以为，控制部执行以下处理：在计算头部的移动量的处理之前，一边控制第二移动机构使距离测量部沿第二水平方向移动一边用距离测量部进行测量的处理；和基于距离测量部的测量结果控制移动部，以调整移动台的倾斜的处理。由此，能够提高头部的
位置调整的精度。
175.也可以为，移动部包含平行连接机构。由此，能够高精度地进行头部的位置调整。
176.也可以为，调整单元包含调节第三移动机构的温度的温度调节部(作为一个例子，温度调节部16)。由此，能够排出由第三移动机构的发热造成的影响。
177.也可以为，固定部通过吸引将头部固定在承载器。由此，例如，与通过螺纹紧固等固定头部的情况相比，容易固定，也能够抑制固定时的位置偏移。
178.也可以为，调整单元相对于液滴释放装置可拆装。例如，能够使根据所要求的位置调整的精度而替换调整单元的作业变得容易。
179.应当理解，本次公开的实施方式在所有方面均为例示，而并非限定性的。实际上，上述的实施方式能够以多种多样的方式具体实现。此外，上述的实施方式在不脱离所附的权利要求及其主旨的情况下，能够以各种方式省略、替换、改变。