一种光刻胶清洗液生产设备的制作方法

1.本技术涉及光刻胶清洗液生产技术领域，具体公开了一种光刻胶清洗液生产设备。


背景技术：

2.光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、x射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在光刻工艺过程中，用作抗腐蚀涂层材料。半导体材料在表面加工时，若采用适当的有选择性的光刻胶，可在表面上得到所需的图像。光刻胶按其形成的图像分类有正性、负性两大类。在光刻胶工艺过程中，涂层曝光、显影后，曝光部分被溶解，未曝光部分留下来，该涂层材料为正性光刻胶。如果曝光部分被保留下来，而未曝光被溶解，该涂层材料为负性光刻胶。按曝光光源和辐射源的不同，又分为紫外光刻胶、深紫外光刻胶、x-射线胶、电子束胶、离子束胶等。光刻胶主要应用于显示面板、集成电路和半导体分立器件等细微图形加工作业。光刻胶生产技术较为复杂，品种规格较多，在电子工业集成电路的制造中，对所使用光刻胶有严格的要求。
3.在半导体生产过程中，需要在基材表面上形成光刻胶掩膜，曝光后进行图形转移，在得到期望的图形之后，再利用清洗液来剥去残留的光刻胶，因此光刻胶清洗液也非常重要，光刻胶清洗液生产过程中，有一些原材料需要进行混合生产，其中常用的配比方式之一就具有流动性的原料与粉末类原料混合，在配比过程中往往会因为粉末类原料在流动性原料内出现结块现象，此时若直接将其投入光刻胶清洗生产，就会降低光刻胶清洗液的良品率，因此，发明人有鉴于此，提供了一种光刻胶清洗液生产设备，以便解决上述问题。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于解决传统的光刻胶清洗液在原材料处理时，容易产生结块现象，从而导致光刻胶清洗液良品率低的问题。
5.为了达到上述目的，本发明的基础方案提供一种光刻胶清洗液生产设备，包括生产罐，生产罐一侧连通有粉末进料管以及液体进料管，生产罐内设有输液泵以及与输液泵连通的水轮组件，水轮组件一侧同轴连接有用于控制粉末进料管进料的粉末间隙给料组件，水轮组件另一侧同轴连接有用于处理结块的研磨组件，输液泵与水轮组件之间设有功能管，功能管的一侧设有用于连通间歇给料组件与研磨组件的混合筒，混合筒的一侧与水轮组件连通，功能管与混合筒之间贯穿转动设有若干传动轴，传动轴位于功能管内一端均布固接有若干拨板，传动轴位于混合筒内一端均设有扰流扇。
6.本基础方案的原理及效果在于：
7.1、当需要加工清洗液原材料时，可使用本设备，生产罐能临时储存液体的原材料，启动输液泵，输液泵就可以源源不断的将液体原材料输送至水轮组件，而水轮组件可以将水能转换成机械能，因此便可为间歇给料组件以及研磨组件提供动力，便于后续的粉末类
原材料的给料工作。
8.2、间歇给料装置工作，可将进料管内的粉末原材料通过间断的方式送入混合筒内，而经过水轮组件液体原材料也同时会流入混合筒内，在这个过程中就完成了粉末原材料与液体原材料的第一次混合，由于粉尘原材料是间歇性的进入混合筒内，因此不存在粉末原材料在短时间大量涌入混合筒内的情况，这种方式给料，粉末原材料的量会少于液体原材料，因此在进行粉末原材料与液体原材料混合的过程汇总，就会极大的减少结块情况的出现。
9.3、输液泵与水轮组件之间设有功能管，功能管可输送由输液泵工作输送出的快速流动的液体原材料，因此当液体原材料经过功能管时，会不断的冲击拨板，从而带动位于混合筒内的扰流扇转动，粉末原材料与液体原材料进入混合筒后，就可以通过扰流扇的转动，完成粉末原材料与液体原材料的充分混合，与此同时，还可通过扰流扇的转动，处理掉一部分以及结块的粉末原材料。
10.4、当混合完毕的原材料进入研磨组件，研磨组件可进一步研磨结块的粉末原材料，最终处理掉所有的结块并完成混合。
11.5、当液体原材料进入水轮组件时，由于生产罐内的原材料是循环的，因此进入水轮组件可形成二次混合，再次进入混合筒同样可以再次混合，提高了混合的效率和效果。
12.与现有技术相比，本发明可以通过在粉末原材料添加过程中，完成混合，有效的减少结块的出现，同时在出现结块的后，也能快速的完成处理和生产，操作简单，可行性高，利用稳定的传动，完成混合，同时在使用过程中，利用单一的动力源，完成多个生产，节约了能耗，降低了碳排放，便于在本领域中推广使用。
13.进一步，所述水轮机构包括水轮壳以及设置在水轮壳内的冲击式水轮，冲击式水轮中心同轴连接了一个完全贯穿水轮壳的功能轴，间歇给料组件以及研磨组件均通过功能轴与水轮组件同轴连接。冲击式水轮能将水能转换成机械能，然后能根据稳定的为间歇给料组件以及研磨组件提供动力。
14.进一步，所述间歇给料组件包括与功能轴同轴连接的给料盘，给料盘上均布开有若干给料孔，粉末进料管位于给料盘上方，混合筒位于给料盘的下方。在使用过程中，给料盘转动，当给料孔位于粉末进料管的正下方时，粉末进料管内的粉末原材料便可通过给料孔进入混合筒内，当给料盘未加工有给料孔的部位位于粉末进料管的正下方时，便没有粉末进料管进入混合筒，以此便可达到间隙给料的功能。
15.进一步，所述给料盘的两侧均固接有限位槽，粉末进料管以及混合筒均滑动设置在限位槽内。粉末进料管以及混合筒均滑动设置在限位槽内，在工作时，可减少粉末原材料扩散的情况，提高了整个设备的生产稳定性。
16.进一步，所述研磨组件包括与混合筒连通的研磨壳以及转动设置在研磨壳内且与功能轴同轴连接的研磨辊，研磨壳的内底面中心设有排料口。当有结块的原材料进入研磨壳内后，会通过重力的因素从研磨辊与研磨壳的内底面流向排料口，在这个过程中，便可研磨处理结块的原材料。
17.进一步，所述排料口内设有过滤网，研磨辊的下表面设有研磨刮板。若还有为研磨的结块原材料，经过滤网后，被过滤网留下，然后研磨刮板转动，可研磨处理留在过滤网上的结块。
18.进一步，所述研磨辊下表面以及研磨壳内底面均设有研磨凸起。提高研磨稳定性。
19.进一步，所述生产罐上设有防护栏以及攀爬梯。便于检修和使用。
附图说明
20.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
21.图1示出了本技术实施例提出的一种光刻胶清洗液生产设备的结构示意图；
22.图2示出了本技术实施例提出的一种光刻胶清洗液生产设备中内部结构的示意图；
23.图3示出了本技术实施例提出的一种光刻胶清洗液生产设备中间隙给料组件的结构示意图；
24.图4示出了本技术实施例提出的一种光刻胶清洗液生产设备中研磨组件的结构示意图。
25.图5示出了本技术实施例提出的一种光刻胶清洗液生产设备中传动轴的结构示意图。
具体实施方式
26.为更进一步阐述本发明为实现预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。
27.说明书附图中的附图标记包括：防护栏以及攀爬梯1、生产罐2、液体进料管3、粉末进料管4、水轮壳5、排水管6、功能轴7、功能管8、研磨壳9、扰流扇10、拨板11、传动轴12、混合筒13、给料盘14、给料孔15、限位槽16、研磨辊17、研磨刮板18、过滤网19。
28.实施例如图1所示，包括生产罐2，生产罐2的外壁以及上表面便于焊接了防护栏以及攀爬梯1，生产罐2的上表面连通设置一个粉末进料管4以及一个液体进料管3，粉末进料管4以及液体进料管3的最上端均焊接了一个法兰盘，生产罐2底面连通设置了一个泄料管，泄料管的最下端也焊接了一个法兰盘，泄料口内设置了一个阀门。
29.如图2所示，生产罐2内底面安装了一个输液泵，生产罐2的内部上端安装了一个水轮组件，输液泵的输出端与水轮组件的进料口之间通过功能管8连通，水轮机构包括水轮壳5以及设置在水轮壳5内的冲击式水轮，冲击式水轮中心同轴连接了一个完全贯穿水轮壳5上表面以及下表面的功能轴7；如图3所示，功能轴7的上端安装了一个与功能轴7同轴连接的给料盘14，给料盘14上均布开有六个给料孔15，给料盘14的上表面以及下表面对称焊接了两个限位槽16，粉末进料管4以及混合筒13均滑动设置在限位槽16内，同时粉末进料管4以及混合筒13可通过给料孔15连通；如图2和图4所示，研磨壳9位于水轮壳5的正下方，混合筒13的最下端与研磨壳9连通，水轮壳5内转动设置了一个与功能轴7同轴连接的研磨辊17，研磨壳9的内底面中心设有排料口，排料口内设有过滤网19，研磨辊17的下表面中心安装了一块与过滤网19对应的研磨刮板18，研磨辊17下表面以及研磨壳9内底面均设有研磨凸起。
30.如图2和图5所示，混合筒13的右侧安装在功能管8上，功能管8与混合筒13之间贯
穿转动设有若干传动轴12，传动轴12位于功能管8内一端均布焊接有若干拨板11，传动轴12位于混合筒13内一端均安装有一个扰流扇10，水轮壳5的出水口连通设置了一个与混合筒13连通的排水管6。
31.将本设备安装在指定的生产线上，连接好各种输送线管、电源等，然后便可开始使用。
32.关闭阀门，将液体原材料通过液体进料管3通入生产罐2内；
33.开启输液泵，液体原材料便可经功能管8、水轮壳5、混合筒13以及研磨壳9再回到生产罐2，在这个过程中，当液体原材料经过水轮壳5时，可带动冲击式水轮转动，从而控制给料盘14以及研磨辊17转动，给料盘14转动，当给料孔15位于粉末进料管4的正下方时，粉末进料管4内的粉末原材料便可通过给料孔15进入混合筒13内，当给料盘14未加工有给料孔15的部位位于粉末进料管4的正下方时，便没有粉末进料管4进入混合筒13；
34.功能管8可输送由输液泵工作输送出的快速流动的液体原材料，因此当液体原材料经过功能管8时，会不断的冲击拨板11，从而带动位于混合筒13内的扰流扇10转动，粉末原材料与液体原材料进入混合筒13后，就可以通过扰流扇10的转动，完成粉末原材料与液体原材料的充分混合；
35.当混合完毕的原材料进入研磨壳9，研磨壳9内的研磨辊17可进一步研磨结块的粉末原材料，然后从排料口排出处理完成的原材料经过滤网19流会生产罐2，仍然结块的原创料，被过滤网19留下，然后研磨刮板18转动，研磨处理留在过滤网19上的结块。
36.原材料混合完成，打开阀门，排出即可。
37.本发明可以通过在粉末原材料添加过程中，完成混合，有效的减少结块的出现，同时在出现结块的后，也能快速的完成处理和生产，操作简单，可行性高，利用稳定的传动，完成混合，同时在使用过程中，利用单一的动力源，完成多个生产，节约了能耗，降低了碳排放，便于在本领域中推广使用。
38.以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本发明，任何本领域技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简介修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。