一种显影液制备用过筛装置的制作方法

文档序号:27536471发布日期:2021-11-22 21:11阅读:133来源:国知局
一种显影液制备用过筛装置的制作方法

1.本实用新型涉及显影液制备技术领域,具体为一种显影液制备用过筛装置。


背景技术:

2.显影液是溶解由曝光造成的光刻胶的可溶解区域的一种化学溶剂,在电子领域拥有很大的需求量,并且根据使用工艺的不同,还区分了很多不同性能的显影液,显影液的浓度是指显影剂的相对含量,市场上销售的显影液多是浓缩型液体,使用时需要按比例稀释,显影液的浓度多以显影液的稀释比来表示,其他条件不变的前提下,显影速度与显影液浓度成正比关系。
3.现有的显影液制备用过筛装置不能有效将显影液经过筛板上,导致显影液多数沉积在过筛板上,影响过筛的效率和效果,还有的显影液制备用过筛装置在过筛前未进行搅拌,导致很多的显影液都聚集在一起,形成絮状物,不能过筛,使用起来不方便,故而提出了一种显影液制备用过筛装置来解决上述提出的问题。


技术实现要素:

4.针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种显影液制备用过筛装置,具备过筛效果好、防止显影液聚集不能过筛的优点,解决了过筛效果差、显影液聚集形成絮状物不能过筛的问题。
5.为实现上述过筛效果好、防止显影液聚集不能过筛的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种显影液制备用过筛装置,包括底座,所述底座的内壁左右两侧均固定安装有对显影液振动的过筛机构,所述底座的顶部固定安装有制备箱,所述制备箱的顶部固定安装有对显影液混合的搅拌机构,所述过筛机构包括固定杆、伸缩弹簧和固定框架,所述底座的内壁左右两侧均固定安装有固定杆,所述底座的内壁左右两侧且位于固定杆的外部固定安装有伸缩弹簧,所述固定杆的外表面滑动连接有与伸缩弹簧固定连接的固定框架,所述搅拌机构包括电动机、转轴和电动推杆,所述制备箱的顶部固定安装有电动机,所述电动机的输出轴固定安装有与制备箱转动连接的转轴,所述转轴的外表面固转动连接有电动推杆。
6.进一步,所述固定框架通过固定孔与固定杆滑动连接,所述固定框架的内壁固定安装有过筛板,所述固定框架的底部右侧固定安装有驱动块。
7.进一步,所述底座的内壁正面固定安装有驱动电机,所述驱动电机的输出轴固定安装有主动链轮,所述底座的内壁正面且位于驱动电机的左侧固定安装有固定轴。
8.进一步,所述固定轴的正面转动连接有从动链轮,所述主动链轮和从动链轮的外表面均传动连接有链条。
9.进一步,所述链条的外表面固定安装有与驱动块相接触的连接块,所述底座的内底壁摆放有接料箱,所述底座通过抵座与制备箱固定连接。
10.进一步,所述制备箱的顶部左侧固定安装有进料斗,所述制备箱的底部固定安装
有出管,所述出管的外表面固定安装有开关阀。
11.进一步,所述转轴的外表面且位于电动推杆的底部转动连接有活动叶片,所述活动叶片的外表面转动连接有连接杆。
12.进一步,所述转轴通过支座与电动推杆和活动叶片转动连接,所述电动推杆通过抵块与连接杆转动连接。
13.与现有技术相比,本实用新型提供了一种显影液制备用过筛装置,具备以下有益效果:
14.该显影液制备用过筛装置,通过设置固定杆、伸缩弹簧、固定框架、过筛板、驱动电机、主动链轮、固定轴、从动链轮、链条、连接块和驱动块,驱动电机启动,主动链轮转动,链条传动,使得连接块活动,拉动驱动块、固定框架和过筛板移动,从而让左侧伸缩弹簧被压缩,左侧伸缩弹簧被拉伸,当连接块不与驱动块接触时,在伸缩弹簧弹力下向右固定框架和过筛板移动回弹,从而有效使得过筛板上的显影液左右晃动,使得显影液能够过筛,通过设置电动机、转轴、电动推杆、活动叶片和连接杆,启动电动机,转轴、活动叶片和连接杆转动,对显影液进行搅拌,调节电动推杆的伸缩,带动连接杆上下移动,使得活动叶片向上向下转动,将显影液全面有效混合,有效防止了显影液聚集形成絮状物。
附图说明
15.图1为本实用新型结构正面剖视图;
16.图2为本实用新型结构正视图;
17.图3为本实用新型结构图1中a的放大图。
18.图中:1底座、2固定杆、3伸缩弹簧、4固定框架、5过筛板、6驱动电机、7主动链轮、8固定轴、9从动链轮、10链条、11连接块、12驱动块、13制备箱、14电动机、15转轴、16电动推杆、17活动叶片、18连接杆。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
20.请参阅图1

3,一种显影液制备用过筛装置,包括底座1,底座1的内壁左右两侧均固定安装有对显影液振动的过筛机构,底座1的顶部固定安装有制备箱13,制备箱13的顶部固定安装有对显影液混合的搅拌机构;
21.过筛机构包括固定杆2、伸缩弹簧3和固定框架4,伸缩弹簧3的伸缩能够带动固定框架4左右欢动,从而让显影液能够充分过筛,底座1的内壁左右两侧均固定安装有固定杆2,底座1的内壁左右两侧且位于固定杆2的外部固定安装有伸缩弹簧3,固定杆2的外表面滑动连接有与伸缩弹簧3固定连接的固定框架4;
22.搅拌机构包括电动机14、转轴15和电动推杆16,电动机14启动和调节电动推杆16的伸缩,能够使得活动叶片17充分将显影液搅拌,使得进入到过筛板5上的显影液能够过筛,过筛效果更佳,制备箱13的顶部固定安装有电动机14,电动机14的输出轴固定安装有与
制备箱13转动连接的转轴15,转轴15的外表面固转动连接有电动推杆16。
23.本实施例中,固定框架4通过固定孔与固定杆2滑动连接,固定框架4的内壁固定安装有过筛板5,固定框架4的底部右侧固定安装有驱动块12,连接块11能够带动驱动块12的移动,在连接块11不与驱动块12接触时,固定框架4就能够左右晃动,实现有效过筛的目的。
24.本实施例中,底座1的内壁正面固定安装有驱动电机6,驱动电机6的输出轴固定安装有主动链轮7,主动链轮7转动能够带动链条10的传动,让连接块11拉动驱动块12移动,逐渐实现左右晃动的目的,底座1的内壁正面且位于驱动电机6的左侧固定安装有固定轴8。
25.本实施例中,固定轴8的正面转动连接有从动链轮9,主动链轮7和从动链轮9的外表面均传动连接有链条10,链条10的传动,连接块11不与驱动块12接触时,能够使得固定框架4在伸缩弹簧3的弹力下左右滑动,有效将显影液过筛。
26.本实施例中,链条10的外表面固定安装有与驱动块12相接触的连接块11,底座1的内底壁摆放有接料箱,对过筛的显影液进行接料,底座1通过抵座与制备箱13固定连接。
27.本实施例中,制备箱13的顶部左侧固定安装有进料斗,制备箱13的底部固定安装有出管,方便将显影液排出进行过筛,出管的外表面固定安装有开关阀。
28.本实施例中,转轴15的外表面且位于电动推杆16的底部转动连接有活动叶片17,活动叶片17的转动能够使得显影液不聚集在一起,方便显影液进行过筛,活动叶片17的外表面转动连接有连接杆18。
29.本实施例中,转轴15通过支座与电动推杆16和活动叶片17转动连接,调节电动推杆16的伸缩,带动连接杆18上下移动,使得活动叶片17向上向下转动,将显影液全面有效混合,电动推杆16通过抵块与连接杆18转动连接。
30.本实施例在使用时,启动电动机14,转轴15、活动叶片17和连接杆18转动,对显影液进行搅拌,调节电动推杆16的伸缩,带动连接杆18上下移动,使得活动叶片17向上向下转动,将显影液全面有效搅拌,使得显影液不会聚集形成絮状物,启动驱动电机6,主动链轮7转动,链条10传动,使得连接块11活动,拉动驱动块12、固定框架4和过筛板5移动,从而让左侧伸缩弹簧3被压缩,左侧伸缩弹簧3被拉伸,当连接块11不与驱动块12接触时,在伸缩弹簧3弹力下向右固定框架4和过筛板5移动回弹,从而有效使得过筛板5上的显影液左右晃动,显影液能够有效过筛。
31.上述实施例的有益效果为:该显影液制备用过筛装置,通过设置固定杆2、伸缩弹簧3、固定框架4、过筛板5、驱动电机6、主动链轮7、固定轴8、从动链轮9、链条10、连接块11和驱动块12,驱动电机6启动,主动链轮7转动,链条10传动,使得连接块11活动,拉动驱动块12、固定框架4和过筛板5移动,从而让左侧伸缩弹簧3被压缩,左侧伸缩弹簧3被拉伸,当连接块11不与驱动块12接触时,在伸缩弹簧3弹力下向右固定框架4和过筛板5移动回弹,从而有效使得过筛板5上的显影液左右晃动,使得显影液能够过筛,通过设置电动机14、转轴15、电动推杆16、活动叶片17和连接杆18,启动电动机14,转轴15、活动叶片17和连接杆18转动,对显影液进行搅拌,调节电动推杆16的伸缩,带动连接杆18上下移动,使得活动叶片17向上向下转动,将显影液全面有效混合,有效防止了显影液聚集形成絮状物。
32.文中出现的电器元件均与主控器及电源电连接,主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备,且现有公开的电力连接技术,不在文中赘述。
33.需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实
体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个
……”
限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
34.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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