一种光刻胶材料中间体废水处理装置的制作方法

文档序号:31182244发布日期:2022-08-17 11:12阅读:286来源:国知局
一种光刻胶材料中间体废水处理装置的制作方法

1.本实用新型涉及光刻胶废水处理技术领域,尤其涉及一种光刻胶材料中间体废水处理装置。


背景技术:

2.光刻胶又称光致抗蚀剂,是指通过紫外光、电子束、离子束、x射线等的照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料,由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体,在光刻工艺过程中,用作抗腐蚀涂层材料。
3.现有的光刻胶材料中间体废水处理装置,在使用过程中,废水处理流程中的过滤装置容易被废水中的光刻胶堵塞,且废水中的光刻胶回收效率较低,降低了废水处理装置的实用性。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的是为了解决现有的光刻胶材料中间体废水处理装置,在使用过程中,废水处理流程中的过滤装置容易被废水中的光刻胶堵塞,且废水中的光刻胶回收效率较低,降低了废水处理装置的实用性的缺点,而提出的一种光刻胶材料中间体废水处理装置。
5.为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
6.一种光刻胶材料中间体废水处理装置,包括:
7.处理箱,所述处理箱的正面安装有观察窗,且处理箱的顶部安装有支撑架,所述支撑架的顶部安装有减速电机,且减速电机的输出端连接有旋转杆,所述旋转杆的另一端安装有机箱,且机箱的内部连安装有电动推杆,所述电动推杆的底部连接有旋转盘,且旋转盘的下方设置有清理布,所述清理布的下方设置有过滤网,且清理布与旋转盘之间连接有安装盖,所述处理箱的左侧连接有进水管,且处理箱的右侧连接有出液管。
8.优选的,所述旋转盘的内部开设有滑槽,且滑槽的内部连接有阻尼推块,所述安装盖的内部开设有插槽,且插槽与阻尼推块之间连接有插杆,所述插杆与旋转盘之间连接有弹簧。
9.优选的,所述清理布与过滤网之间通过电动推杆、旋转盘构成升降结构,且清理布的底面与过滤网的顶面相接触。
10.优选的,所述清理布与过滤网之间通过减速电机、旋转盘构成旋转结构,且过滤网呈圆形状结构。
11.优选的,所述插杆与插槽之间通过阻尼推块、滑槽构成升降结构,且阻尼推块的外壁与滑槽的内壁相贴合。
12.优选的,所述安装盖与旋转盘之间通过插杆、插槽构成可拆卸结构,且插杆关于旋转盘的纵轴对称。
13.综上所述,由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是:
14.1、本实用新型中,设置有减速电机、机箱、旋转盘、清理布以及过滤网,通过控制减速电机就方便带动清理布进行旋转操作,在通过机箱内电动推杆就方便带动清理布进行下降操作,这样就方便对过滤网上的光刻胶进行收集,避免光刻胶将过滤网堵塞,影响废水的过滤工作,具有较高的实用性。
15.2、本实用新型中,设置有电动推杆、旋转盘、安装盘、阻尼推块、插杆以及清理布,通过控制电动推杆就方便带动清理布进行上升操作,再操作阻尼推块就方便带动插杆进行上升操作,这样就方便完成清理布的拆卸工作,该拆卸机构,使用方便,且有利于对清理布上的光刻胶进行回收工作。
附图说明
16.图1为本实用新型中处理箱内部结构示意图;
17.图2为图1中a处放大结构示意图;
18.图3为本实用新型中旋转盘与安装盖连接结构示意图;
19.图4为本实用新型中处理箱俯视内部结构示意图。
20.图例说明:
21.1、处理箱;2、观察窗;3、进水管;4、出液管;5、支撑架;6、减速电机;7、旋转杆;8、机箱;9、电动推杆;10、旋转盘;11、过滤网;12、安装盖;13、清理布;14、滑槽;15、阻尼推块;16、插杆;17、插槽;18、弹簧。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本实用新型保护的范围。
23.参照图1-4,一种光刻胶材料中间体废水处理装置,包括处理箱1,处理箱1的正面安装有观察窗2,且处理箱1的顶部安装有支撑架5,支撑架5的顶部安装有减速电机6,且减速电机6的输出端连接有旋转杆7,旋转杆7的另一端安装有机箱8,且机箱8的内部连安装有电动推杆9,电动推杆9的底部连接有旋转盘10,且旋转盘10的下方设置有清理布13,清理布13与过滤网11之间通过电动推杆9、旋转盘10构成升降结构,且清理布13的底面与过滤网11的顶面相接触,启动电动推杆9,电动推杆9带动旋转盘10进行下降操作,旋转盘10又带动清理布13进行下降,清理布13的底面将与过滤网11的顶面相接触,这样就方便对过滤网11上的光刻胶进行收集,清理布13与过滤网11之间通过减速电机6、旋转盘10构成旋转结构,且过滤网11呈圆形状结构,启动减速电机6,减速电机6通过旋转盘10带动清理布13进行旋转操作,使得清理布13与过滤网11充分接触,这样就可以避免光刻胶将过滤网11堵塞,清理布13的下方设置有过滤网11,且清理布13与旋转盘10之间连接有安装盖12,安装盖12与旋转盘10之间通过插杆16、插槽17构成可拆卸结构,且插杆16关于旋转盘10的纵轴对称,人工操作阻尼推块15,阻尼推块15带动插杆16进行上升操作,插杆16将上升至插槽17外,这样就方便完成安装盖12的拆卸工作,有利于对清理布13上的光刻胶进行收集工作,处理箱1的左侧连接有进水管3,且处理箱1的右侧连接有出液管4;
24.旋转盘10的内部开设有滑槽14,且滑槽14的内部连接有阻尼推块15,安装盖12的内部开设有插槽17,且插槽17与阻尼推块15之间连接有插杆16,插杆16与插槽17之间通过阻尼推块15、滑槽14构成升降结构,且阻尼推块15的外壁与滑槽14的内壁相贴合,人工操作阻尼推块15,阻尼推块15通过滑槽14带动插杆16进行上升操作,插杆16的上升使得弹簧18进行压缩操作,松开阻尼推块15,使得插杆16通过弹簧18进行复位工作,插杆16将复位至插槽17内,这样就方便完成清理布13的安装工作,插杆16与旋转盘10之间连接有弹簧18。
25.工作原理:使用时,首先废水通过进水管3流至处理箱1内,废水通过过滤网11进行过滤工作,废水中的光刻胶将被截留至过滤网11上,启动减速电机6,减速电机6通过旋转杆7、机箱8、电动推杆9、旋转盘10带动清理布13进行旋转操作,这样就加快了废水的过滤工作,启动电动推杆9,电动推杆9带动清理布13进行升降操作,清理布13将与过滤网11接触,这样就方便对过滤网11上的光刻胶进行收集,避免光刻胶将过滤网11堵塞,当需要对清理布13上的光刻胶进行收集时,启动电动推杆9,电动推杆9带动清理布13进行上升操作,清理布13将上升至处理箱1外,再人工操作阻尼推块15,阻尼推块15带动插杆16进行上升操作,插杆16将上升至插槽17外,这样就方便完成安装盖12的拆卸工作,有利于对清理布13上的光刻胶进行收集工作(上述电器均为现有技术,可直接在市场上购买)。
26.以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
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