一种避免粘附的光刻胶生产用搅拌溶解装置的制作方法

1.本发明涉及光刻胶生产设备技术领域，具体涉及一种避免粘附的光刻胶生产用搅拌溶解装置。


背景技术：

2.光刻胶( photoresist)又称光致抗蚀剂,是指通过紫外光、电子束、离子束、x射线等的照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在光刻工艺过程中,用作抗腐蚀涂层材料。半导体材料在表面加工时,若采用适当的有选择性的光刻胶,可在表面上得到所需的图像。
3.现有的光刻胶生产用搅拌溶解装置，在使用过程中，由于在搅拌混合过程中，混合溶液中的物质具备移动粘性，随着搅拌混合的操作过程中，部分混合溶液粘附在箱体内壁上，在混合搅拌完毕并完成液体抽出后，仍然有部分粘附在箱体内壁上，抽出效果较差，残留混合溶液清洁不便，使用效果不佳；因此，亟需一种避免粘附的光刻胶生产用搅拌溶解装置。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种结构简单，设计合理、使用方便的避免粘附的光刻胶生产用搅拌溶解装置，能够对光刻胶原料进行充分的搅拌，保证的溶解的彻底性，同时，能够将沾附在装置内侧壁上的光刻胶进行刮除下料，减少的原料的损失，方便了后期的清理。
5.为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：它包含箱体、支撑腿和出料管，箱体底面上垂直固定设置有数个支撑腿，箱体下侧的开口端上固定设置有出料管；箱体的前侧壁上侧固定设置有进料管，且出料管和进料管上均设置有控制阀；它还包含：调节板，所述的调节板活动设置在箱体的内部，且调节板的四周壁与箱体的内侧壁相接触设置；驱动机构，所述的驱动机构设置在箱体的顶面上，且驱动机构的下侧与调节板连接；搅拌清理机构，所述的搅拌清理机构设置在调节板的下侧。
6.通过上述技术方案设计，通过进料管将光刻胶原料输送到箱体的内部，然后通过驱动机构带动搅拌清理机构转动以及上下运动，对光刻胶原料进行搅拌，搅拌混合溶解完成之后，通过搅拌清理机构对箱体内侧壁上沾附的原料进行刮除。
7.作为本发明的进一步改进，所述的调节板的顶面上固定设置有位移传感器，所述的位移传感器与外部电源连接。
8.通过上述技术方案设计，通过位移传感器对调节板的位置进行检测，方便控制调节板的高度。
9.作为本发明的进一步改进，所述的驱动机构包含：调节柱，所述的调节柱垂直固定设置在调节板的顶面上，调节柱的上端活动穿设在箱体的顶面上；调节柱的外侧壁上等圆角固定设置有限位条；套管，所述的套管的下端通过轴承旋转设置在箱体的顶面上，套管活动套设在调节柱的外侧，套管的内侧壁上开设有限位槽，且调节柱通过限位条滑动插设在套管的中部；伞齿轮副，所述的伞齿轮副内的一个伞齿轮套设在套管的外侧壁上，且伞齿轮副中的另一侧伞齿轮连接在一号电机的输出端上；所述的一号电机与外部的电源连接；升降板，所述的升降板通过轴承旋转套设在调节柱的上端；电动推杆，所述的电动推杆为两个，且分别垂直固定设置在升降板的底面上，电动推杆的下端固定设置在箱体的顶面上，且电动推杆与外部电源连接。
10.通过上述技术方案设计，通过电动推杆带动升降板进行上下运动，进而通过调节柱带动调节板在箱体的内部进行上下运动，从而对搅拌清理机构的高度进行调节；打开一号电机，一号电机的输出端通过伞齿轮副带动套管转动，进而通过限位槽和限位条的配合带动调节柱转动，进而带动调节板转动，继而带动箱体内的搅拌清理机构转动。
11.作为本发明的进一步改进，所述的搅拌清理机构包含：连接板，所述的连接板为两个，且分别对称设置在调节板下侧的左右两侧，连接板上侧面的前后两侧对称固定设置有导向块，调节板的底面上相对应开设有导向槽，连接板通过导向块滑动设置在导向槽的内部；传动齿轮，所述的传动齿轮为两个，且通过转轴和轴承旋转设置在调节板的底面上，左右两侧的传动齿轮相啮合设置；二号电机，所述的二号电机通过电机支架固定设置在调节板的顶面上，二号电机的输出轴与其中一个传动齿轮中部的转轴固定连接；所述的二号电机与外部电源连接；传动杆，所述的传动杆为两个，且传动杆的一端通过转轴和轴承旋转设置在传动齿轮的底面上，传动杆的另一端通过铰接件与连接板的侧壁相铰接；刮板，所述的刮板为两个，且分别固定设置在左右两侧的连接板的底面上，刮板和连接板均为弧形结构设置；搅拌板，所述的搅拌板为四个，且分别两两活动设置在刮板中部开设的通槽内部，搅拌板的上下两侧壁上均垂直固定设置有转动轴，下侧的转动轴通过轴承旋转设置在刮板内开设的通槽底面上，上侧的转轴上端通过轴承旋转穿过刮板的顶面后，与三号电机的输出端固定连接；所述的三号电机通过电机支架固定设置在连接板的侧壁上；所述的三号电机与外部电源连接。
12.通过上述技术方案设计，在进行搅拌时，打开二号电机，二号电机的输出端带动其中一个传动齿轮转动，由于左右两侧的传动齿轮相啮合，通过传动杆的连接作用带动左右两侧的连接板向中间靠拢，此时，打开三号电机，三号电机的输出端带动转动轴转动，将搅拌板转动90
°
，然后打开一号电机，通过驱动机构带动调节板转动，进而带动刮板和搅拌板转动，对箱体内的光刻胶搅拌溶解；搅拌完成之后，电动推杆带动调节板上移，驱动机构带动调节板高速旋转，利用离心力将刮板以及搅拌板上的光刻胶甩到箱体的内侧壁上；然后，通过二号电机带动刮板向箱体的侧壁移动，刮板的侧壁抵设在箱体的内侧壁上，先通过下料管进行下料，下料完成，电动推杆带动刮板下移，刮板将箱体内侧壁上沾附的光刻胶刮
下，且通过驱动机构不断变换刮板的位置，以保证将箱体内侧壁上的光刻胶刮除干净。
13.作为本发明的进一步改进，所述的刮板的底面设置有倒角面。
14.通过上述技术方案设计，通过倒角面的设置，方便刮板的下侧边将箱体内侧壁上的光刻胶刮下，进行清理。
15.作为本发明的进一步改进，所述的三号电机的外侧壁上均罩设有防水罩，防水罩固定设置在连接板的侧壁上。
16.通过上述技术方案设计，通过防水罩有效的防止光刻胶进入到三号电机的内部。
17.与现有技术相比，本发明有益效果为：1、驱动机构带动搅拌清理机构在箱体的内部进行上下运动，能够对光刻胶原料进行充分的搅拌，保证的溶解的彻底性；2、通过搅拌清理机构能够将沾附在装置内侧壁上的光刻胶进行刮除下料，减少的原料的损失，方便了后期的清理。
附图说明
18.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
19.图1是本发明的结构示意图。
20.图2是图1中的a-a向剖视图。
21.图3是本发明的内部结构示意图。
22.图4是图3中的b部放大图。
23.图5是本发明的套管和调节柱的结构示意图。
24.附图标记说明：箱体1、支撑腿2、出料管3、进料管4、控制阀5、调节板6、位移传感器7、驱动机构8、调节柱8-1、限位条8-2、套管8-3、限位槽8-4、伞齿轮副8-5、升降板8-6、电动推杆8-7、一号电机8-8、搅拌清理机构9、连接板9-1、导向块9-2、导向槽9-3、传动齿轮9-4、二号电机9-5、传动杆9-6、刮板9-7、搅拌板9-8、转动轴9-9、三号电机9-10、防水罩10。
具体实施方式
25.下面结合附图对本发明作进一步的说明。
26.实施例1：参看如图1-5所示，本实施例它包含箱体1、支撑腿2和出料管3，箱体1底面上垂直固定焊设有数个支撑腿2，箱体1下侧的开口端上通过螺栓固定设置有出料管3；箱体1的前侧壁上侧通过螺栓固定设置有进料管4，且出料管3和进料管4上均通过螺栓设置有控制阀5；它还包含：调节板6，所述的调节板6活动设置在箱体1的内部，且调节板6的四周壁与箱体1的内侧壁相接触设置；所述的调节板6的顶面上通过螺栓固定设置有位移传感器7，所述的位
移传感器7与外部电源连接；通过位移传感器7对调节板6的位置进行检测，方便控制调节板6的高度；驱动机构8，所述的驱动机构8设置在箱体1的顶面上，且驱动机构8的下侧与调节板6连接；搅拌清理机构9，所述的搅拌清理机构9设置在调节板6的下侧。
27.实施例2：参看如图1-5所示，在实施例1的基础上，所述的驱动机构8包含：调节柱8-1，所述的调节柱8-1垂直固定焊设在调节板6的顶面上，调节柱8-1的上端活动穿设在箱体1的顶面上；调节柱8-1的外侧壁上等圆角一体成型有限位条8-2；套管8-3，所述的套管8-3的下端通过轴承旋转设置在箱体1的顶面上，套管8-3活动套设在调节柱8-1的外侧，套管8-3的内侧壁上开设有限位槽8-4，且调节柱8-1通过限位条8-2滑动插设在套管8-3的中部；伞齿轮副8-5，所述的伞齿轮副8-5内的一个伞齿轮套设在套管8-3的外侧壁上，且伞齿轮副8-5中的另一侧伞齿轮连接在一号电机8-8的输出端上；所述的一号电机8-8与外部的电源连接；升降板8-6，所述的升降板8-6通过轴承旋转套设在调节柱8-1的上端；电动推杆8-7，所述的电动推杆8-7为两个，且分别通过螺栓垂直固定设置在升降板8-6的底面上，电动推杆8-7的下端通过螺栓固定设置在箱体1的顶面上，且电动推杆8-7与外部电源连接。
28.实施例3：参看如图2-4所示，在实施例1的基础上，所述的搅拌清理机构9包含：连接板9-1，所述的连接板9-1为两个，且分别通过螺栓对称设置在调节板6下侧的左右两侧，连接板9-1上侧面的前后两侧通过螺栓对称固定设置有导向块9-2，调节板6的底面上相对应开设有导向槽9-3，连接板9-1通过导向块9-2滑动设置在导向槽9-3的内部；传动齿轮9-4，所述的传动齿轮9-4为两个，且通过转轴和轴承旋转设置在调节板6的底面上，左右两侧的传动齿轮9-4相啮合设置；二号电机9-5，所述的二号电机9-5通过电机支架固定设置在调节板6的顶面上，二号电机9-5的输出轴与其中一个传动齿轮9-4中部的转轴固定连接；所述的二号电机9-5与外部电源连接；传动杆9-6，所述的传动杆9-6为两个，且传动杆9-6的一端通过转轴和轴承旋转设置在传动齿轮9-4的底面上，传动杆9-6的另一端通过铰接件与连接板9-1的侧壁相铰接；刮板9-7，所述的刮板9-7为两个，且分别通过螺栓固定设置在左右两侧的连接板9-1的底面上，刮板9-7和连接板9-1均为弧形结构设置；所述的刮板9-7的底面设置有倒角面；通过倒角面的设置，方便刮板9-7的下侧边将箱体1内侧壁上的光刻胶刮下，进行清理；搅拌板9-8，所述的搅拌板9-8为四个，且分别两两活动设置在刮板9-7中部开设的通槽内部，搅拌板9-8的上下两侧壁上均垂直固定设置有转动轴9-9，下侧的转动轴9-9通过轴承旋转设置在刮板9-7内开设的通槽底面上，上侧的转轴上端通过轴承旋转穿过刮板9-7的顶面后，与三号电机9-10的输出端固定连接；所述的三号电机9-10通过电机支架固定设置在连接板9-1的侧壁上；所述的三号电机9-10与外部电源连接；所述的三号电机9-10的外
侧壁上均罩设有防水罩10，防水罩10固定设置在连接板9-1的侧壁上；通过防水罩10有效的防止光刻胶进入到三号电机9-10的内部。
29.在使用本发明时，通过进料管4将光刻胶原料输送到箱体1的内部，在进行搅拌时，打开二号电机9-5，二号电机9-5的输出端带动其中一个传动齿轮9-4转动，由于左右两侧的传动齿轮9-4相啮合，通过传动杆9-6的连接作用带动左右两侧的连接板9-1向中间靠拢，此时，打开三号电机9-10，三号电机9-10的输出端带动转动轴9-9转动，将搅拌板9-8转动90
°
，然后打开一号电机8-8，一号电机8-8的输出端通过伞齿轮副8-5带动套管8-3转动，进而通过限位槽8-4和限位条8-2的配合带动调节柱8-1转动，进而带动调节板6转动，进而带动刮板9-7和搅拌板9-8转动，对箱体1内的光刻胶搅拌溶解；搅拌完成之后，通过电动推杆8-7带动升降板8-6进行上下运动，进而通过调节柱8-1带动调节板6在箱体1的内部进行上下运动，从而对刮板9-7的高度进行调节，一号电机8-8带动调节板6高速旋转，利用离心力将刮板9-7以及搅拌板9-8上的光刻胶甩到箱体1的内侧壁上；然后，通过二号电机9-5带动刮板9-7向箱体1的侧壁移动，刮板9-7的侧壁抵设在箱体1的内侧壁上，先通过下料管进行下料，下料完成，电动推杆8-7带动刮板9-7下移，刮板9-7将箱体1内侧壁上沾附的光刻胶刮下，且通过驱动机构8不断变换刮板9-7的位置，以保证将箱体1内侧壁上的光刻胶刮除干净。
30.采用上述结构后，本具体实施方式有益效果为：1、驱动机构8带动搅拌清理机构9在箱体1的内部进行上下运动，进而带动搅拌板9-8在光刻胶的内部进行上下运动，能够对光刻胶原料进行充分的搅拌，保证的溶解的彻底性；2、通过搅拌清理机构9内部的刮板9-7贴合箱体1侧壁进行上下运动，能够将沾附在装置内侧壁上的光刻胶进行刮除下料，同时能够在离心力的作用下将刮板9-7和搅拌板9-8上原料甩出，减少的原料的损失，方便了后期的清理；3、搅拌清理机构9的进行搅拌和箱体1内侧壁清理均采用的是同一个驱动机构8进行驱动，减少了成本的投入，保证了装置整体的简洁性。
31.以上所述，仅用以说明本发明的技术方案而非限制，本领域普通技术人员对本发明的技术方案所做的其它修改或者等同替换，只要不脱离本发明技术方案的精神和范围，均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。