固体腔的空气净化器的制作方法

1.本技术涉及激光技术领域，具体而言，涉及一种固体腔的空气净化器。


背景技术：

2.紫外激光以其波长短、加工精度高、冷加工等特性，在半导体材料加工、微光学元件制作和印刷电路板等领域中具有独特优势，能够有效提高制造品质。
3.近几年随着新型紫外以及深紫外非线性光学晶体的不断出现以及各种倍频技术的日趋成熟，紫外激光器已成为激光技术研究领域中的热点之一。但倍频技术中倍频晶体对工作环境有着严苛的要求，特此设计固体腔来隔绝倍频晶体与外部的联系。
4.但固体腔内运动机械件、镜片粘接用的胶体以及密封圈等会随着使用时长带来少量粉尘以及挥发性有机物，空气质量较低的固体腔影响出光功率，甚至会影响使用寿命以及机器的可靠性。
5.针对相关技术中，固体腔中较低的空气质量导致激光器出光功率较低等问题，尚未提出有效的解决方案。


技术实现要素：

6.本技术实施例提供了一种固体腔的空气净化器，以至少解决相关技术中，固体腔中较低的空气质量导致激光器出光功率较低等问题。
7.根据本技术实施例的一个实施例，提供了一种固体腔的空气净化器，包括：空气过滤装置和空气循环装置，其中，所述空气循环装置的出气端与所述空气过滤装置的进气端连接；所述空气过滤装置的出气端与所述空气循环装置的进气端分别连接激光器中部署的固体腔的两端，形成密封通道；所述空气循环装置用于驱动所述固体腔中的待净化空气经过所述空气过滤装置之后回流至所述固体腔内，其中，所述待净化空气为空气质量小于目标阈值的空气；所述空气过滤装置用于过滤所述待净化空气，得到净化空气，其中，所述净化空气为空气质量大于或者等于所述目标阈值的空气。
8.可选的，所述空气过滤装置，包括：过滤模块和放置腔，其中，所述过滤模块安装在所述放置腔内，所述过滤模块与所述放置腔内壁形成环形空间；所述放置腔所包括的第一进气口用于将所述待净化空气导入所述过滤模块的内部；所述过滤模块用于过滤内部的所述待净化空气，得到净化空气，其中，从所述过滤模块内部过滤出的所述净化空气渗透至所述环形空间中；所述放置腔所包括的第一出气口用于将所述环形空间内的所述净化空气导出所述放置腔。
9.可选的，所述过滤模块，包括：滤芯和滤芯螺管，其中，所述滤芯为一端开口、一端密封的空心柱体；所述滤芯螺管为空心管，所述滤芯螺管插入所述滤芯的所述开口中；
所述滤芯用于过滤出所述待净化空气中的杂质，并将所述净化空气渗透至所述环形空间中；所述滤芯螺管用于连通所述滤芯的内腔与所述第一进气口。
10.可选的，所述滤芯螺管的外圆柱面一端为螺纹面，另一端为光滑柱面；所述光滑柱面采用过盈配合的方式插入所述滤芯的所述开口，所述螺纹面连接所述第一进气口。
11.可选的，所述滤芯螺管与所述滤芯均为高分子材料粉末烧结形成。
12.可选的，所述放置腔，包括：滤芯壳体和滤芯盖，所述滤芯盖与所述过滤模块连接；所述滤芯盖用于固定所述过滤模块悬空于所述滤芯壳体内形成所述环形空间；所述环形空间用于存储从所述过滤模块过滤得到的所述净化空气。
13.可选的，所述滤芯壳体底部设置有通孔作为所述第一出气口，所述第一出气口的正对端面为与所述滤芯盖对接组装的开口，所述滤芯盖端面上设置有通孔作为所述第一进气口。
14.可选的，所述空气循环装置，包括：隔膜泵和压板，其中，所述隔膜泵嵌入所述压板内，所述隔膜泵的第二进气口与所述固体腔的出气端连接，所述隔膜泵的第二出气口与所述空气过滤装置的进气端连接；所述压板用于固定所述隔膜泵；所述隔膜泵用于抽取所述固体腔中的待净化空气进入所述空气过滤装置。
15.可选的，所述压板与所述隔膜泵的接触面之间部署了用于减震的皮垫。
16.可选的，所述固体腔的空气净化器包括多组一一对应的所述空气过滤装置和所述空气循环装置。
17.在本技术实施例中，空气过滤装置和空气循环装置，其中，空气循环装置的出气端与空气过滤装置的进气端连接；空气过滤装置的出气端与空气循环装置的进气端分别连接激光器中部署的固体腔的两端，形成密封通道；空气循环装置用于驱动固体腔中的待净化空气经过空气过滤装置之后回流至固体腔内，其中，待净化空气为空气质量小于目标阈值的空气；空气过滤装置用于过滤待净化空气，得到净化空气，其中，净化空气为空气质量大于或者等于目标阈值的空气，即空气循环装置的出气端与所述空气过滤装置的进气端连接，空气过滤装置的出气端与空气循环装置的进气端分别连接激光器中部署的固体腔的两端，空气循环装置驱动固体腔中的待净化空气经过空气过滤装置之后回流至固体腔内，经过过滤循环，此时返回至固体腔内为净化空气，使得激光器出光功率升高。采用上述技术方案，解决了相关技术中，固体腔中较低的空气质量导致激光器出光功率较低等问题，实现了提高固体腔中的空气质量使得激光器出光功率升高的技术效果。
附图说明
18.此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本技术的实施例，并与说明书一起用于解释本技术的原理。
19.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
20.图1是根据本技术实施例的一种固体腔的空气净化器的第一种结构框图；
图2是根据本技术实施例的一种空气过滤装置的结构示意；图3是根据本技术实施例的一种过滤模块的结构示意；图4是根据本技术实施例的一种放置腔的结构示意；图5是根据本技术实施例的一种空气循环装置的结构示意一；图6是根据本技术实施例的一种空气循环装置的结构示意二；图7是根据本技术实施例的一种固体腔的空气净化器的第二种结构框图。
具体实施方式
21.为了使本技术领域的人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。
22.需要说明的是，本技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本技术的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
23.在本实施例中提供了一种固体腔的空气净化器，图1是根据本技术实施例的一种固体腔的空气净化器的第一种结构框图；如图1所示，包括：空气过滤装置1002和空气循环装置1004，其中，所述空气循环装置1004的出气端与所述空气过滤装置1002的进气端连接；所述空气过滤装置1002的出气端与所述空气循环装置1004的进气端分别连接激光器中部署的固体腔1000的两端，形成密封通道；所述空气循环装置1004用于驱动所述固体腔1000中的待净化空气经过所述空气过滤装置之后回流至所述固体腔1000内，其中，所述待净化空气为空气质量小于目标阈值的空气；所述空气过滤装置1002用于过滤所述待净化空气，得到净化空气，其中，所述净化空气为空气质量大于或者等于所述目标阈值的空气。
24.通过上述实施例，空气循环装置的出气端与所述空气过滤装置的进气端连接，空气过滤装置的出气端与空气循环装置的进气端分别连接激光器中部署的固体腔的两端，空气循环装置驱动固体腔中的待净化空气经过空气过滤装置之后回流至固体腔内，经过过滤循环，此时返回至固体腔内为净化空气，使得激光器出光功率升高。采用上述技术方案，解决了相关技术中，固体腔中较低的空气质量导致激光器出光功率较低等问题，实现了提高固体腔中的空气质量使得激光器出光功率升高的技术效果。
25.可选地，在本实施例中，固体腔内由于运动机械件、镜片粘接用的胶体以及密封圈等会随着使用时长带来少量粉尘以及挥发性有机物，导致影响固体腔的空气洁净等级。进一步影响出光功率，甚至会影响使用寿命以及机器的可靠性。
26.可选地，在本实施例中，固体腔的空气净化器所包括的空气循环装置将固体腔内的空气抽出传输至空气过滤装置，空气经过空气过滤装置过滤之后返回至固体腔中，从而实现能时刻对固体腔内的空气进行循环净化，保证激光器内固体腔的空气洁净等级。
27.在一个示例性实施例中，图2是根据本技术实施例的一种空气过滤装置的结构示意；如图2所示，所述空气过滤装置1002，包括：过滤模块102和放置腔104，其中，所述过滤模块安装在所述放置腔内，所述过滤模块102与所述放置腔104内壁形成环形空间；所述放置腔104所包括的第一进气口用于将所述待净化空气导入所述过滤模块的内部；所述过滤模块102用于过滤内部的所述待净化空气，得到净化空气，其中，从所述过滤模块102内部过滤出的所述净化空气渗透至所述环形空间中；所述放置腔104所包括的第一出气口用于将所述环形空间内的所述净化空气导出所述放置腔。
28.可选地，在实施例中，过滤模块为空气过滤装置的核心部件，作用是对经过过滤模块的待净化空气进行过滤，其中，过滤的方式可以但不限于包括任何物理、化学、生物机制，目的在于过滤除去待净化空气中的杂质，输出空气质量等级更高的净化空气。
29.可选地，在实施例中，放置腔为过滤模块的放置部位，待净化空气在空气过滤装置内部的流通方式可以但不限于为：首先从放置腔的第一进气口进入过滤模块，被过滤模块过滤处理之后渗出至环形空间中，在从放置腔的第一出气口流出放置腔。
30.可选地，在实施例中，环形空间可以通过将过滤模块悬空于放置腔内部空间，过滤模块与放置腔内部壁面无接触形成环形空间，利于气体过滤流动。
31.在一个示例性实施例中，图3是根据本技术实施例的一种过滤模块的结构示意；如图3所示，所述过滤模块102，包括：滤芯10和滤芯螺管11，其中，所述滤芯10为一端开口、一端密封的空心柱体；所述滤芯螺管11为空心管，所述滤芯螺管11插入所述滤芯10的所述开口中；所述滤芯10用于过滤出所述待净化空气中的杂质，并将所述净化空气渗透至所述环形空间中；所述滤芯螺管用于连通所述滤芯的内腔与所述第一进气口。
32.可选地，在实施例中，滤芯螺管为中空外螺纹管，滤芯螺管的一端与滤芯开口的一端，采用过盈配合连接在一起，第一进气口上有与滤芯螺管相配合的螺纹盲孔，滤芯螺管的另一端与第一进气口上的螺纹盲孔采用螺纹连接在一起，第一进气口外侧有气嘴，方便与气管连接。
33.可选地，在实施例中，滤芯由高分子材料粉末烧结成型，形成圆柱形，有固定形态且无粉末颗粒等残留。同时过滤性能优异。圆柱的一端密封，另一端开口。
34.在一个示例性实施例中，所述滤芯螺管的外圆柱面一端为螺纹面，另一端为光滑柱面；所述光滑柱面采用过盈配合的方式插入所述滤芯的所述开口，所述螺纹面连接所述第一进气口。
35.可选地，在实施例中，光滑柱面采用过盈配合的方式插入所述滤芯的所述开口目的可以但不限于在于通过过盈配合的紧密性，保证从滤芯螺管导入滤芯的待净化空气不会泄露。
36.可选地，在实施例中，滤芯螺管采用螺纹面连接所述第一进气口的目的可以但不限于是增强滤芯螺管的可拆卸性，能快速简单的更换整个滤芯，另外，采用纯机械结构安装，不仅增加了系统的可靠性以及可拆卸替换性，同时还避免了粘接剂内挥发物质带来的空气污染。
37.在一个示例性实施例中，所述滤芯螺管与所述滤芯均为高分子材料粉末烧结形成。
38.可选地，在实施例中，滤芯采用的高分子材料可以但不限于是超高分子聚乙烯为主要原料，其中，滤芯可以但不限于具备以下性能：超大流量：高孔隙率（60%）保证了单位面积流体流量更大；外表面光滑：光滑的外表面，杂质不易粘着，反冲洗容易彻底；抗污能力强：外小内大的过滤精度使得杂质不能留存在滤芯体内，可以将污泥压于至70%的含水量；耐强酸、强碱的腐蚀，耐有机溶剂的溶解；优良的强度和耐磨性保证了其使用寿命；外光的表面使杂质不易粘连；良好的韧性，滤芯不易断裂。
39.在一个示例性实施例中，图4是根据本技术实施例的一种放置腔的结构示意；如图4所示，所述放置腔104，包括：滤芯壳体12和滤芯盖13，所述滤芯盖13与所述过滤模块102连接；所述滤芯盖13用于固定所述过滤模块102悬空于所述滤芯壳体12内形成所述环形空间；所述环形空间用于存储从所述过滤模块过滤得到的所述净化空气。
40.可选地，在实施例中，滤芯盖上有与滤芯螺管相配合的螺纹盲孔，螺纹盲孔底部有小孔（即为上述第一进气口），小孔外侧有气嘴，方便与气管连接，滤芯螺管、滤芯盖间可以采用螺纹连接。
41.在一个示例性实施例中，所述滤芯壳体底部设置有通孔作为所述第一出气口，所述第一出气口的正对端面为与所述滤芯盖对接组装的开口，所述滤芯盖端面上设置有通孔作为所述第一进气口。
42.可选地，在实施例中，滤芯壳体内部为空心，底部也有小孔与气嘴，方便与气管连接。滤芯盖与滤芯壳体接触的面上有密封圈槽，且可放置密封圈。可防止内部气体泄露。滤芯壳体、滤芯盖间可以但不限于采用螺钉紧固连接。
43.在一个示例性实施例中，图5是根据本技术实施例的一种空气循环装置的结构示意一；如图5所示，所述空气循环装置1004，包括：隔膜泵106和压板108，其中，所述隔膜泵106嵌入所述压板108内，所述隔膜泵的第二进气口与所述固体腔的出气端连接，所述隔膜泵的第二出气口与所述空气过滤装置的进气端连接；所述压板108用于固定所述隔膜泵106；所述隔膜泵106用于抽取所述固体腔中的待净化空气进入所述空气过滤装置。
44.可选地，在实施例中，空气过滤装置、空气循环装置以及固体腔上有气嘴，用气管使空气过滤装置、空气循环装置以及固体腔间气嘴串连，形成内部循环空间。
45.可选地，在实施例中，隔膜泵在接通电源后驱动空气进入空气过滤装置过滤后，通过气管使过滤后的空气进入固体腔内，受气压的影响，固体腔内的空气又沿着另一条气管回到隔膜泵中，进而达到循环净化的目的。
46.在一个示例性实施例中，图6是根据本技术实施例的一种空气循环装置的结构示意二；如图6所示，所述压板与所述隔膜泵的接触面之间部署了用于减震的皮垫。
47.可选地，在实施例中，空气循环装置由隔膜泵以及压板组成。隔膜泵被压板压在所需安装的位置，压板上有过孔，可以用螺钉固定，使压板固定在所需安装的位置。压板和隔膜泵接触面间有皮垫，用于减少隔膜泵震动对其他器件的影响。
48.在一个示例性实施例中，图7是根据本技术实施例的一种固体腔的空气净化器的第二种结构框图；如图7所示，所述固体腔的空气净化器包括多组一一对应的所述空气过滤装置和所述空气循环装置。
49.可选地，在实施例中，当激光器固体腔较大时，需要较大的过滤性能时，可使用多组单模空气净化系统并联形成一个多模空气净化系统为单一固体腔净化空气，提高净化性能。
50.可选地，在实施例中，当激光器空间不受限时，多模空气净化系统的多个空气循环装置，可换成一个大功率隔膜泵，为多个并联的空气过滤装置注入空气。在减少零件降低故障率的同时，降低成本。
51.在一个示例性实施例中，作为本技术的一个完整的实施例，可以但不限于具体包括以下内容：可选地，一种用于激光器内固体腔的空气净化系统，它由两部分组成：空气过滤装置和空气循环装置；为了便于后续描述，将空气过滤器组件作为上述空气过滤装置，将隔膜泵组件作为上述空气循环装置进行相关内容的阐述。
52.可选地，空气过滤器组件由四部分组成，滤芯、滤芯螺管、滤芯壳体、滤芯盖。滤芯由高分子材料粉末烧结成型，形成圆柱形，圆柱的一端密封，另一端开口。滤芯螺管为中空外螺纹管，滤芯螺管的一端与滤芯开口的一端，采用过盈配合连接在一起。滤芯盖上有与滤芯螺管相配合的螺纹盲孔，滤芯螺管的另一端与滤芯盖上的螺纹盲孔采用螺纹连接在一起，同时螺纹盲孔底部有小孔，小孔外侧有气嘴，方便与气管连接。滤芯壳体内部为空心，底部也有小孔与气嘴，滤芯壳体、滤芯盖间采用螺钉配合固定，且配合接触面有密封圈，防止内部气体泄露。同时滤芯随滤芯壳体、滤芯盖的配合也放置于滤芯壳体内部空间。滤芯壳体、滤芯盖上均有椭圆形安装槽口，方便灵活安装与调整。
53.可选地，隔膜泵组件由隔膜泵以及压板组成。隔膜泵被压板压在所需安装的位置，压板上有过孔，可用螺钉固定，使压板固定在所需安装的位置。压板和隔膜泵接触面间有皮垫，用于减少隔膜泵震动对其他器件的影响。
54.可选地，空气过滤器组件、隔膜泵组件以及固体腔间用气管相互连接形成循环空间。气管分别与空气过滤器组件、隔膜泵组件以及固体腔上的气嘴连接。
55.可选地，隔膜泵在接通电源后驱动空气进入空气过滤器组件过滤后，通过气管使过滤后的空气进入固体腔内，受气压的影响，固体腔内的空气又沿着另一条气管回到隔膜泵中，进而达到循环净化的目的。
56.可选地，固体腔的空气净化器由两部分组成：空气过滤器组件，隔膜泵组件。空气过滤器组件、隔膜泵组件以及固体腔上有气嘴，用气管使空气过滤器组件、隔膜泵组件以及固体腔间气嘴串连，形成内部循环空间。
57.可选地，隔膜泵组件在接通电源后驱动空气进入空气过滤器组件过滤后，通过气管使过滤后的空气进入固体腔内，受气压的影响，固体腔内的空气又沿着另一条气管回到隔膜泵中，进而达到循环净化的目的。
58.可选地，空气过滤器组件由四部分组成，滤芯、滤芯螺管、滤芯壳体、滤芯盖。滤芯、滤芯螺管间采用过盈配合连接，滤芯螺管、滤芯盖间采用螺纹连接。滤芯壳体、滤芯盖间采用螺钉紧固连接。
59.可选地，滤芯由高分子材料粉末烧结成型，有固定形态且无粉末颗粒等残留。同时过滤性能优异。滤芯烧结成型为空心圆柱形，圆柱的一端密封，另一端开口。滤芯开口的一端与滤芯螺管，采用过盈配合连接在一起。
60.可选地，滤芯盖上有与滤芯螺管相配合的螺纹盲孔，螺纹盲孔底部有小孔，小孔外侧有气嘴，方便与气管连接。滤芯壳体内部为空心，底部也有小孔与气嘴，方便与气管连接。滤芯盖与滤芯壳体接触的面上有密封圈槽，且可放置密封圈。可防止内部气体泄露。
61.可选地，空气过滤器组件组装完成时，滤芯悬空于滤芯壳体内部空间，滤芯与滤芯壳体内部壁面无接触形成环形空间，利于气体过滤流动。滤芯壳体、滤芯盖上均有椭圆形安装槽口，方便灵活安装与调整。
62.可选地，隔膜泵组件由隔膜泵以及压板组成。隔膜泵通过压板能够固定安装。压板上过孔，可用螺钉固定，使压板固定在所需安装的位置。压板和隔膜泵接触面间有皮垫，用于减少隔膜泵震动对其他器件的影响。
63.可选地，固体腔的空气净化器具体安装为隔膜泵组件上的出气嘴与空气过滤组件上滤芯盖的气嘴用气管连接后，空气过滤组件上滤芯壳上的气嘴与固体腔上的入气嘴用气管连接，隔膜泵组件上的入气嘴再与固体腔上的出气嘴用气管连接。三者内部空间及气管共同形成循环通路。
64.可选地，隔膜泵组件在接通电源后驱动空气进入空气过滤器组件过滤后，通过气管使过滤后的空气进入固体腔内，受气压的影响，固体腔内的空气又沿着另一条气管回到隔膜泵中，多次循环后，进而达到循环净化的目的。
65.可选地，空气过滤器组件由四部分组成，滤芯、滤芯螺管、滤芯壳体和滤芯盖。具体安装方式如下：滤芯为空心圆柱形，圆柱的一端密封，另一端开口，滤芯螺管为中空外螺纹管，滤芯螺管的一端与滤芯开口的一端，采用过盈配合连接在一起。滤芯盖上有与滤芯螺管相配合的螺纹盲孔，滤芯螺管的另一端与滤芯盖上的螺纹盲孔采用螺纹连接在一起。滤芯壳体内部为空心，当滤芯壳体、滤芯盖间采用螺钉配合固定时，滤芯也进入滤芯壳体内部空间，且滤芯悬空于滤芯壳体内部空间，滤芯与滤芯壳体内部壁面无接触形成环形空间，利于气体过滤流动。
66.可选地，空气在空气过滤器组件内部的过滤及流动方式为：空气从滤芯盖上的进气嘴进入后，通过螺纹盲孔底部的小孔以及滤芯螺管进入到滤芯空心内部，受气压的影响从滤芯过滤出来后进入滤芯与滤芯壳体内部壁面形成的环形空间。最终从环形空间经过滤芯壳体上的出气嘴流出，完成一次空气过滤。当随着使用时长增加，滤芯的过滤性能下降，可直接将组件拆解后，单独从滤芯螺管上更换滤芯即可，再次组装即可用。
67.可选地，滤芯盖与滤芯壳体接触的面上有密封圈槽，且可放置密封圈。可防止内部气体泄露。滤芯壳体与滤芯盖上均有椭圆形安装槽口，方便组件的灵活安装与调整。
68.可选地，隔膜泵组件由隔膜泵、压板以及皮垫组成。隔膜泵选用小型气体隔膜泵，有入气嘴和出气嘴两个气嘴。隔膜泵被压板压在所需安装的位置，压板上有过孔，可用螺钉固定，使压板和隔膜泵一同被固定在所需安装的位置。压板和隔膜泵接触面间有皮垫，用于减少隔膜泵震动对其他器件的影响。隔膜泵组件通电后隔膜泵入气嘴就会排出空气，出气嘴就会吸入空气。
69.可选地，在实施例中滤芯需与滤芯螺管过盈配合后，再通过滤芯螺管固定在滤芯盖上。因滤芯为高分子材料粉末烧结形成，可将滤芯螺管也用高分子材料制作，使滤芯与滤芯螺管烧结成一体。到下次更换滤芯时，可更直接快速地更换，省去了换装时难度较高滤芯与滤芯螺管间过盈配合的拆装过程。
70.可选地，滤芯盖与滤芯壳体上的进气嘴和出气嘴均采用机加工的方式与滤芯盖与滤芯壳体一体加工成型。可将滤芯盖与滤芯壳体上的气嘴的位置开螺纹孔，再安装可更换的带螺纹的气嘴，当气嘴外径不同时，可适配不同内径的气管，使该空气净化的兼容性增大。
71.可选地，空气过滤组件、隔膜泵组件和固体腔，三者串联形成循环过滤通路。当激光器固体腔较大时，需要较大的过滤性能时，可使用多组单模空气净化系统并联形成一个多模空气净化系统为单一固体腔净化空气，提高净化性能。
72.可选地，当激光器空间不受限时，多模空气净化系统的多个小隔膜泵组件，可换成一个大功率隔膜泵，为多个并联的空气过滤器组件注入空气。在减少零件降低故障率的同时，降低成本。
73.可选地，空气过滤组件采用纯机械结构安装，增加了系统的可靠性以及可拆卸替换性，同时避免了粘接剂内挥发物质带来的空气污染。
74.可选地，通过隔膜泵、空气过滤组件以及固体腔的组合连接，使空气在内部循环，减少了外部空气变化带来的污染。
75.可选地，空气过滤组件的滤芯采用高分子材料烧结成型，有固定形态且整个滤芯几乎无残留碎屑。配合可拆卸的螺管，能快速简单的更换整个滤芯。
76.可选地，空气过滤组件结构优化设计，减少机械结构件个数的同时，使得零件间需要密封的位置仅为1处，且密封处用耐高温的氟橡胶密封圈来密封。较少了成本的同时增加了密封可靠性。
77.可选地，各个组件及固体腔间采用气管连接，使得隔膜泵、空气过滤组件可以根据需求灵活安装位置。
78.可选地，本实施例中的具体示例可以参考上述实施例及可选实施方式中所描述的示例，本实施例在此不再赘述。
79.显然，本领域的技术人员应该明白，上述的本技术的各模块或各步骤可以用通用的计算装置来实现，它们可以集中在单个的计算装置上，或者分布在多个计算装置所组成的网络上，可选地，它们可以用计算装置可执行的程序代码来实现，从而，可以将它们存储在存储装置中由计算装置来执行，并且在某些情况下，可以以不同于此处的顺序执行所示出或描述的步骤，或者将它们分别制作成各个集成电路模块，或者将它们中的多个模块或步骤制作成单个集成电路模块来实现。这样，本技术不限制于任何特定的硬件和软件结合。
80.以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。