一种磷化铟无尘装料装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种填料装置,尤其涉及一种磷化铟无尘装料装置。


背景技术：

2.磷化铟作为一种用于芯片制造的原料，需要从多晶磷化铟原料转化成单晶磷化铟，在这一过程中，需要通过一系列工艺操作达到转化目的。在这一过程中，磷化铟首先需要在生长炉中进行转化的第一步，而将磷化铟及其他填充物放入到生长炉中往往是人工进行装填，而磷化铟及其他填充物，人体直接接触会对人体造成损伤，如致癌；同时在人工填料中对于无尘环境的需要，往往也无法达到。为了解决上述技术问题，特提出一种新的技术方案。


技术实现要素：

3.本实用新型提供了一种磷化铟无尘装料装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种磷化铟无尘装料装置，包括机架，机架的前端设有前门且两者之间设有密封层，前门的下方设有操作门，操作门的内部设有密封手套，机架的两侧设有流出门，流出门的内部设有防尘布帘及吸尘风扇，流出门的一侧上设有传输装置，传输装置位于机架的内部，机架的底部设有底箱，机架的顶部设有除尘装置，除尘装置的下方设有机械手，机械手的一侧上设有储料区且储料区设在机架的内部，机架的后端设有后门，所述的机械手包括移载模组a、移载模组b及移载模组c，移载模组a设在机架的内部，移载模组a的顶部设有移载模组b，移载模组b上设有移载模组c。
5.所述的移载模组a包括基座a、电机a、支架轴、同步带轮组ae、同步带轮组af、丝杆组a、导轨a及滑块a，基座a设在机架的内部，基座a的一端上设有电机a，电机a的输出轴上设有同步带轮组ae，同步带轮组ae的一端上设有支架轴的轴段，支架轴的一端上设有同步带轮组af，同步带轮组af的一端上设有丝杆组a且丝杆组a位于基座a的顶部，基座a的顶部设有导轨a，导轨a上设有若干个滑块a且两者之间为滑动连接。
6.所述的移载模组b包括基座b、桁架、加强筋b、电机b、连接板be、连接板bf、安装板b、滑块b、导轨b、丝杆组b及联轴器，基座b上设有桁架且两者之间设有加强筋b，桁架的一端上设有电机b，电机b的输出轴上设有丝杆组 b且两者之间设有联轴器，丝杆组b位于桁架的一侧上，丝杆组b上设有丝杆滑块且丝杆滑块之间设有连接板be，连接板be的一侧上设有连接板bf，连接板 bf的底部设有安装板b，安装板b与桁架之间设有导轨b，导轨b上设有若干个滑块b且两者之间为滑动连接，滑块b的顶部与安装板b的底部连接。
7.所述的移载模组c包括基座c、加强筋c、导柱、上安装台、电机c、电机座、轴承、丝杆组c、下安装台及爪子座，基座c上设有若干个加强筋c且加强筋c的一端与移载模组b连接，基座c的内部设有若干个导柱且两者之间为滑动连接，导柱的一端上设有上安装台，安装台
的顶部设有电机座，电机座的顶部设有电机c，电机c的输出轴上设有丝杆组c，丝杆组c中的丝杆滑块固定在基座c的内部，导柱的另一端上设有下安装台，下安装台的底部设有爪子座。
8.本实用新型的有益效果为：设有隔离式人工操作台及自动化装料装置，使得该装置可以在人工装料的基础上连接自动化生产线，避免人工过多的接触磷化铟，避免磷化铟造成人体损伤；使用丝杆运动模组，有利于提升装填精度，同时提高取料爪行程，简化移载装置的结构空间，便于日常维护；设有除尘装置，减少灰尘的进入，避免造成原料污染。
附图说明
9.图1是本实用新型的结构示意图；
10.图2是本实用新型的俯视图；
11.图3是本实用新型的正视图；
12.图4是本实用新型的机械手的结构示意图；
13.图5是本实用新型的移载模组a的结构示意图；
14.图6是本实用新型的移载模组b的结构示意图；
15.图7是本实用新型的移载模组c的结构示意图。
具体实施方式
16.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
17.参照图1至图7，一种磷化铟无尘装料装置，包括机架1，机架1的前端设有前门2且两者之间设有密封层，前门2的下方设有操作门3，操作门3的内部设有密封手套，机架1的两侧设有流出门4，流出门4的内部设有防尘布帘及吸尘风扇，流出门4的一侧上设有传输装置8，传输装置8位于机架1的内部，机架1的底部设有底箱9，机架1的顶部设有除尘装置10，除尘装置10的下方设有机械手6，机械手6的一侧上设有储料区7且储料区7设在机架1的内部，机架1的后端设有后门5，所述的机械手6包括移载模组a601、移载模组b602及移载模组c603，移载模组a601设在机架1的内部，移载模组a601的顶部设有移载模组b602，移载模组b602上设有移载模组c603。
18.所述的移载模组a601包括基座a6011、电机a6012、支架轴6013、同步带轮组ae6014、同步带轮组af6015、丝杆组a6016、导轨a6017及滑块a6018，基座a6011设在机架1的内部，基座a6011的一端上设有电机a6012，电机a6012 的输出轴上设有同步带轮组ae6014，同步带轮组ae6014的一端上设有支架轴 6013的轴段，支架轴6013的一端上设有同步带轮组af6015，同步带轮组af6015 的一端上设有丝杆组a6016且丝杆组a6016位于基座a6011的顶部，基座a6011 的顶部设有导轨a6017，导轨a6017上设有若干个滑块a6018且两者之间为滑动连接。
19.所述的移载模组b602包括基座b6021、桁架6022、加强筋b6023、电机b6024、连接板be6025、连接板bf6026、安装板b6027、滑块b6028、导轨b6029、丝杆组b6040及联轴器6041，
基座b6021上设有桁架6022且两者之间设有加强筋 b6023，桁架6022的一端上设有电机b6024，电机b6024的输出轴上设有丝杆组 b6040且两者之间设有联轴器6041，丝杆组b6040位于桁架6022的一侧上，丝杆组b6040上设有丝杆滑块且丝杆滑块之间设有连接板be6025，连接板be6025 的一侧上设有连接板bf6026，连接板bf6026的底部设有安装板b6027，安装板 b6027与桁架6022之间设有导轨b6029，导轨b6029上设有若干个滑块b6028 且两者之间为滑动连接，滑块b6028的顶部与安装板b6027的底部连接。
20.所述的移载模组c603包括基座c6031、加强筋c6032、导柱6033、上安装台6034、电机c6035、电机座6036、轴承6037、丝杆组c6038、下安装台6039 及爪子座6050，基座c6031上设有若干个加强筋c6032且加强筋c6032的一端与移载模组b602连接，基座c6031的内部设有若干个导柱6033且两者之间为滑动连接，导柱6033的一端上设有上安装台6034，安装台6034的顶部设有电机座6036，电机座6036的顶部设有电机c6035，电机c6035的输出轴上设有丝杆组c6038，丝杆组c6038中的丝杆滑块固定在基座c6031的内部，导柱6033 的另一端上设有下安装台6039，下安装台6039的底部设有爪子座6050。
21.在使用过程中，首先使用者将前门2打开，把原料放置在储料区7的内部，随后关上前门2，通过密封层使得前门2处于密封状态，接着启动该装置，使得传送装置8启动，机械手6复位零位处待机，同时除尘装置10启动，对机架1 的内部进行除尘除静电作业，为了进一步达到除尘效果，流出门4的内部设有吸尘风扇，对于流出过程中布帘翻动时进出的空气进行吸尘作业。除尘装置10 中设有检测器，当机架1的内部达到工作环境指标时，机械手6开始作业。而上述过程中可根据除尘的需要，设定除尘的周期，使得除尘装置10定时启动。
22.机械手6进入装料作业时，移载模组a601根据储料区7的物料位置，此过程可在移载模组c603上装备相机进行判定，移载模组a601将移载模组b602移动到取料位置，这一过程中，移载模组b603则带动移载模组c603，使得装在在爪子座6050上的取料爪置于原料的上方，然后电机c6035启动，带动丝杆组 c6038转动，由于丝杆组c6038中的丝杆滑块固定在基座c6031的内部，在导柱 6033的导向作用下，此时基座c6031固定不动，而丝杆组c6038通过螺纹连接的作用，丝杆组c6038中的丝杆相对于基座c6031作向下直线运动，同时带动上安装台6034和下安装台6039向下移动，使得取料爪靠近原料并抓取，最后通过电机c6035输出轴的反转，让取料爪完成提起动作。此方式有利于磷化铟在生长炉中的填装精度，不需要进一步的调整填料位置。
23.在上述的过程中，当机械手6出现故障时，维修人员可以通过设在机架1 后端的后门5，对机械手6进行维护修理，同时当机械手6不便使用时，滑块 a6018与基座b6021之间可以通过圆周转动装置连接，让移载模组b602以圆周转动装置为圆心向着后门5的方向进行90度转动，避免悬臂式的移载模组b602 与移载模组c603对机架1内部的装料区的阻碍，此时，使用者可以进行人工装料作业，将手套上操作门3中的密封手套，在机架1的内部进行人工装料。
24.通过该装置可以实现，设有隔离式人工操作台及自动化装料装置，使得该装置可以在人工装料的基础上连接自动化生产线，避免人工过多的接触磷化铟，避免磷化铟造成人体损伤；使用丝杆运动模组，有利于提升装填精度，同时提高取料爪行程，简化移载装置的结构空间，便于日常维护；设有除尘装置10，减少灰尘的进入，避免造成原料污染。
25.在本实用新型的描述中，需要理解的是，指示的方位或位置关系为基于附图所示
的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
26.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
27.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。