一种用于籽晶表面的刮胶装置的制作方法

1.本实用新型属于晶体生长技术领域，尤其涉及一种用于籽晶表面的刮胶装置。


背景技术：

2.晶体生长是物质在特定的物理和化学条件下由气相、液相或固相形成晶体的过程，碳化硅的制备过程中的广泛运用到了物理气相输运法，具体过程为将碳化硅籽晶片粘接在石墨籽晶晶座之上，并进行后续的制备过程，其中碳化硅籽晶与石墨籽晶晶座之间的粘接的均匀性、致密性、牢固程度等对最终制得的碳化硅晶片质量具有重大的影响。
3.为了很好地将碳化硅籽晶片粘接在石墨籽晶晶座之上，粘接之前首先将粘接胶涂抹在石墨籽晶晶座端面上，再使用刮板将粘接胶涂覆在整个石墨籽晶晶座上，例如公告号为cn215088531u，公开告为2021.12.10的中国实用新型专利公开了一种一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶装置，包括机架、转动的设于机架上的且内部设有第一腔体的转轴、连接在转轴顶端的且内部设有与第一腔体连通的第二腔体的吸盘、设于吸盘上方的石墨籽晶座、设于机架上的且用于驱动转轴转动的第一驱动机构、与第一腔体连通的抽气机构；吸盘中设有连通在第二腔体上方的真空吸孔，真空吸孔的上端穿出吸盘且位于石墨籽晶座下方；装置还包括设于石墨籽晶座上方的注胶机构和刮胶机构、设于机架上的且用于驱动注胶机构和刮胶机构同步沿竖直方向和/或水平方向运动的第二驱动机构；注胶机构用于定量供胶；刮胶机构包括相互连接的刮板和振动器。
4.虽然该实用新型具有均匀刮胶以及震动铺匀粘接胶的优点；但是该实用新型的刮板无法调整角度，使得单一角度的刮板无法根据操作者的使用习惯以及粘接胶粘性进行调整，难以进一步保证胶层的厚度，均匀度一致性和表面的平整性。
5.所以综上所述，目前急需一种用于碳化硅制备过程中可方便调整刮板对粘接胶角度的刮胶装置。


技术实现要素：

6.本实用新型目的是提供一种用于籽晶表面的刮胶装置，本实用新型通过悬挂臂连接的固定板，设置在所述固定板侧面上的支架单元，设置在所述支架单元上的刮板单元，以及设置在所述支架单元上并用于旋转调节刮板单元与籽晶表面的粘接胶接触角度以及调节后固定的旋转块单元起到了在碳化硅制备过程中调整刮板对粘接胶角度的技术效果。
7.本实用新型解决上述问题采用的技术方案是：一种用于籽晶表面的刮胶装置，包括悬挂臂连接的固定板，设置在所述固定板侧面上的支架单元，设置在所述支架单元上并用于刮涂籽晶表面的粘接胶的刮板单元，以及设置在所述支架单元上并用于旋转调节刮板单元倾斜角度的旋转块单元。
8.进一步优选的技术方案在于：所述支架单元包括设置在所述固定板侧面上的第一支架，以及设置在所述第一支架上并用于安装所述刮板单元的滑动圆槽；所述刮板单元包括刮板，以及设置在所述刮板侧面上并用于插入所述滑动圆槽的滑动圆柱。
9.进一步优选的技术方案在于：所述支架单元还包括设置在所述固定板异于所述第一支架一侧侧面上的第二支架，以及设置在所述第二支架上并用于安装所述旋转块单元的旋转柱孔；所述旋转块单元包括旋转块，以及设置在所述旋转块且插入所述旋转柱孔并用于连接所述刮板侧面的旋转柱。
10.进一步优选的技术方案在于：所述支架单元包括设置在所述旋转柱孔内侧面上的限位槽；所述旋转块单元还包括设置在所述旋转柱并用于卡合所述限位槽的限位块。
11.进一步优选的技术方案在于：所述旋转块单元还包括设置在所述旋转柱上并用于安装所述限位块的限位块孔。
12.进一步优选的技术方案在于：所述旋转块单元还包括设置在所述旋转柱上且与所述限位块孔连通的方柱槽，设置在所述旋转块上且插入所述方柱槽中的方柱，设置在所述方柱上的下斜面槽，以及设置在所述限位块底面上并用于插入所述下斜面槽的下斜面块。
13.进一步优选的技术方案在于：所述旋转块单元还包括设置在所述限位块孔内侧面上的阻挡块，以及设置在所述限位块上的阻挡环。
14.进一步优选的技术方案在于：所述旋转块单元还包括套接设置在所述限位块上并用于顶起所述阻挡块和所述阻挡环的限位块弹簧。
15.进一步优选的技术方案在于：所述旋转块单元还包括设置在所述方柱槽内侧底面上并用于顶起所述方柱的方柱弹簧。
16.进一步优选的技术方案在于：所述旋转块单元还包括设置在所述旋转块上并用于连接所述方柱的连接柱。
17.本实用新型具有以下优点：
18.第一，可在刮胶过程进行之前对刮板角度进行调节，以适应粘接胶的粘性以及操作者的使用习惯，保证最终制得的碳化硅晶片的质量。
19.第二，通过旋转块的调节作用来改变刮板的角度，无需直接接触刮板。
20.第三，设置了限位块机构使得刮板的角度一旦调节完成后即实现固定。
21.第四，设置了与旋转块连接的方柱推动装置，当调整刮板角度时朝方柱方向推动旋转块即可实现对限位块的解锁效果，调整好刮板角度后松开旋转块即可使得刮板重新恢复锁定效果。
附图说明
22.图1为本实用新型中刮板与粘接胶呈最大角度时刮胶装置整体的结构示意图。
23.图2为本实用新型中刮板与粘接胶呈较小角度时刮胶装置整体的结构示意图。
24.图3为本实用新型中支架单元与刮板单元以及旋转块单元与刮板单元连接方式的结构示意图。
25.图4为本实用新型中限位块与限位槽连接方式的结构示意图。
26.图5为本实用新型中自然状态下方柱槽内部零部件位置的结构示意图。
27.图6为本实用新型中推动方柱状态下方柱槽内部零部件位置的结构示意图。
28.附图中，各标号所代表的部件如下：籽晶a，粘接胶b，悬挂臂c，固定板1，支架单元2，刮板单元3，旋转块单元4，第一支架201，滑动圆槽202，第二支架203，旋转柱孔204，限位槽205，刮板301，滑动圆柱302，旋转块401，旋转柱402，限位块403，限位块孔404，方柱槽
405，方柱406，下斜面槽407，下斜面块408，阻挡块409，阻挡环410，限位块弹簧411，方柱弹簧412，连接柱413。
具体实施方式
29.以下所述仅为本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型的范围进行限定。
30.实施例：如附图1-6所示，一种用于籽晶表面的刮胶装置，包括悬挂臂c连接的固定板1，设置在所述固定板1侧面上的支架单元2，设置在所述支架单元2上并用于刮涂籽晶a表面的粘接胶b的刮板单元3，以及设置在所述支架单元2上并用于旋转调节刮板单元3倾斜角度的旋转块单元4。
31.在本实施例中，悬挂臂c为连接刮胶装置与用于控制刮胶装置进行刮胶作业的装置的连接部分，所述固定板1作为悬挂臂c的延伸部分使得与粘接胶b直接接触的所述刮板单元3得以贴合在一起，所述支架单元2设置在所述固定板1的左右两个侧面上，目的是使得所述刮板单元3固定在所述固定板1上并可以在所述支架单元2上旋转调节角度，刮板单元3与粘接胶b的接触角度不同，刮胶效率也不同，角度越大，对粘接胶b的刮除效率越高，但是刮完之后粘接胶b的平整度越低，所以需要根据粘接胶b的实际情况来调整所述刮板单元3的角度。
32.此外，所述旋转块单元4设置在所述支架单元2上并用于连接所述刮板单元3，旋转所述旋转块单元4即可带动所述刮板单元3进行旋转从而实现角度调节功能。
33.所述支架单元2包括设置在所述固定板1侧面上的第一支架201，以及设置在所述第一支架201上并用于安装所述刮板单元3的滑动圆槽202；所述刮板单元3包括刮板301，以及设置在所述刮板301侧面上并用于插入所述滑动圆槽202的滑动圆柱302。
34.在本实施例中，所述刮板301随着角度变小，对所述粘接胶b的接触面积逐渐上升旋转所述刮板301时，所述滑动圆柱302在所述滑动圆槽202中转动，使得所述第一支架201对所述刮板301实现了可旋转式固定的效果。
35.所述支架单元2还包括设置在所述固定板1异于所述第一支架201一侧侧面上的第二支架203，以及设置在所述第二支架203上并用于安装所述旋转块单元4的旋转柱孔204；所述旋转块单元4包括旋转块401，以及设置在所述旋转块401且插入所述旋转柱孔204并用于连接所述刮板301侧面的旋转柱402。
36.在本实施例中，为了在不接触所述刮板301的情况下调整所述刮板301的倾斜角度，于是设置了所述旋转块401并通过所述旋转柱402与所述刮板301侧面连接，旋转所述旋转块401时即可带动所述刮板301的角度调节。
37.此外，所述旋转柱402与所述滑动圆柱302分别固定在所述旋转柱孔204和所述滑动圆槽202中，在两侧同时固定所述刮板301，使得所述刮板301的刮胶过程更加平稳。
38.所述支架单元2包括设置在所述旋转柱孔204内侧面上的限位槽205；所述旋转块单元4还包括设置在所述旋转柱402并用于卡合所述限位槽205的限位块403。
39.在本实施例中，为了在调整所述刮板301后使其保持固定，方便后续的刮胶过程，于是在所述旋转柱孔204内侧面上以环形阵列的方式设置了若干个所述限位槽205，并用于卡合设置在所述旋转柱402上的所述限位块403，使得刮板301旋转到某一角度后可以保持固定。
40.所述旋转块单元4还包括设置在所述旋转柱402上并用于安装所述限位块403的限位块孔404。
41.在本实施例中，为了使得调整所述刮板301角度时使得所述限位块403与所述限位槽205脱离卡合作用，于是在所述旋转柱402上设置了宽度略大于所述限位块403的所述限位块孔404，当所述限位块403与所述限位槽205脱离卡合作用是，可以通过回缩进入所述限位块孔404实现。
42.所述旋转块单元4还包括设置在所述旋转柱402上且与所述限位块孔404连通的方柱槽405，设置在所述旋转块401上且插入所述方柱槽405中的方柱406，设置在所述方柱406上的下斜面槽407，以及设置在所述限位块403底面上并用于插入所述下斜面槽407的下斜面块408。
43.在本实施例中，为了方便切换所述限位块403与所述限位槽205的卡合状态，于是在所述旋转柱402和所述旋转块401之间设置了所述方柱406，通过插入所述方柱槽405中使得所述旋转块401在旋转时依然可以带动所述旋转柱402旋转，并且所述下斜面槽407以及下斜面块408的下底面均朝向所述旋转块401方向向下倾斜，如附图5、6所示，当向内推动所述方柱406时，所述下斜面槽407解除了对所述下斜面块408的顶起作用，使得所述限位块403可以沿所述限位槽205滑出。
44.此外，若使得所述限位块403重新与所述限位槽205卡合，只要向外拉动所述旋转块401即可，所述下斜面槽407的下底面向上顶起所述下斜面块408，使得所述限位块403可以沿所述限位块孔404滑入所述限位槽205，回归卡合状态。
45.所述旋转块单元4还包括设置在所述限位块孔404内侧面上的阻挡块409，以及设置在所述限位块403上的阻挡环410。
46.在本实施例中，为了使得所述限位块403在运动过程中不会滑出所述限位块孔404，于是在所述限位块孔404靠近孔口的内侧面上设置了所述阻挡块409，用于阻挡设置在所述限位块403上的所述阻挡环410，使得所述限位块403在运动过程中不会滑出所述限位块孔404。
47.所述旋转块单元4还包括套接设置在所述限位块403上并用于顶起所述阻挡块409和所述阻挡环410的限位块弹簧411。
48.在本实施例中，为了使得所述下斜面块408的下底面可以始终与所述下斜面槽407的底面贴合，于是在所述阻挡块409以及阻挡环410之间设置了所述限位块弹簧411，这样通过顶起所述阻挡环410使得所述限位块403上的所述下斜面块408始终与所述下斜面槽407的底面贴合。
49.此外，通过设置所述限位块弹簧411可以使得所述方柱406在运动过程中不会与所述方柱槽405脱离，由于所述限位块弹簧411的压缩程度有极限，这样使得所述下斜面块408不会无止境的上升从而与所述下斜面槽407脱离，从而使得所述下斜面块408在上升到一定程度时会与所述下斜面槽407完全卡死，使得所述方柱406在运动过程中不会与所述方柱槽405脱离。
50.所述旋转块单元4还包括设置在所述方柱槽405内侧底面上并用于顶起所述方柱406的方柱弹簧412。
51.在本实施例中，为了使得自然状态，即不推动所述旋转块401的状态下所述限位块
403与所述限位槽205处于卡合状态，于是在所述方柱槽405内侧底面上设置了用于顶起所述方柱406的所述方柱弹簧412，自然状态下所述方柱弹簧412将所述方柱406向外顶起，从而使得所述限位块403与所述限位槽205处于卡合状态。
52.所述旋转块单元4还包括设置在所述旋转块401上并用于连接所述方柱406的连接柱413。
53.在本实施例中，所述连接柱413设置在所述旋转块401侧面上，宽度规格与所述旋转柱402一致，这样使得推动所述旋转块401时，所述旋转柱402与所述连接柱413贴合形成一个整体，完全阻挡了所述方柱406，使得整个装置在运行过程中更加美观，同时减轻了部分所述方柱406承受来自所述旋转块401的压力，提高了装置运行可靠性。
54.上面结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施方式，在所述技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下做出各种修改。这些都是不具有创造性的修改，只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。