一种便于清理的多线切片机用滤筒的制作方法

本技术涉及半导体加工，具体是一种便于清理的多线切片机用滤筒。

背景技术：

1、多线切片机是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式，为保证成片质量，切割时多用到切削液，使用过的切削液经过过滤后可重复使用，降低切割成本，目前市面上多线切片机用滤筒多存在过滤不完全、清理麻烦等问题。

2、因此，本领域技术人员提供了一种便于清理的多线切片机用滤筒，以解决上述背景技术中提出的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种便于清理的多线切片机用滤筒，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种便于清理的多线切片机用滤筒，所述箱体内部设有第一搭接板，所述第一搭接板上搭接有过滤筒，所述过滤筒内壁设有第二搭接板，所述第二搭接板上搭接有第一过滤装置，所述第二搭接板下方设有第三搭接板，所述第三搭接板上搭接有第二过滤装置，所述箱体一侧设有进液口，所述箱体底部设有出液口,所述过滤筒底部设有滤板,所述箱体顶部设有顶盖，所述顶盖由螺栓进行固定。

4、作为本实用新型进一步的方案：所述第一搭接板为环形且置于箱体内壁，所述第一搭接板均匀设有四个定位柱，所述第一搭接板两侧对称设有两个定位装置，所述定位装置包括固定框,固定框内部设有第一锥形齿轮，所述第一锥形齿轮一侧啮合有第二锥形齿轮，所述第二锥形齿轮一侧固接有螺纹杆，所述螺纹杆外部螺纹套设有螺纹筒，所述螺纹筒活动贯穿于固定框一侧，所述固定框顶部设有旋钮，所述旋钮底部贯穿固定框并与第一锥形齿轮相固接，所述螺纹筒外部固接有导向块，导向块滑动连接于固定框内。

5、作为本实用新型进一步的方案：所述滤筒顶部边缘位置处均匀竖向贯穿设有四个圆孔，所述过滤筒顶部两端对称设有两个定位孔。

6、作为本实用新型进一步的方案：所述第二搭接板固接于过滤筒内壁，所述第二搭接板上均匀设有四个第一固定块，所述第一固定块呈倒l形，所述第一过滤装置包括第一固定环，所述第一固定环上均匀开设有第一弧形槽，所述第一固定环底部环形固接有第一滤网。

7、作为本实用新型进一步的方案：所述第三搭接板上方均匀设有四个与第一固定块大小位置相同的第二固定块，所述第二过滤装置包括第二固定环，所述第二固定环上均匀开设有与第二固定块相对的第二弧形槽，所述第二固定环底部环形固接有第二滤网。

8、作为本实用新型进一步的方案：所述第三搭接板内径小于第二搭接板内径，所述第二固定环外径小于第二搭接板内径。

9、有益效果

10、本实用新型提供了一种便于清理的多线切片机用滤筒，与现有技术相比具备以下有益效果：

11、1.该便于清理的多线切片机用滤筒能够提高过滤效率，能够保证过滤后切削液的纯净度，切削液分别经过第一滤网、第二滤网和滤板的过滤能够对切削液中的残渣充分过滤。

12、2.该便于清理的多线切片机用滤筒便于清理，清理滤筒时仅需打开箱体上方的顶盖，旋转两个旋钮至最大位置处，向上移动即可取出过滤筒整体，再分别转动第一固定环和第二固定环并向上移动就可对滤筒内进行进一步清洗。

技术特征：

1.一种便于清理的多线切片机用滤筒，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内部设有第一搭接板(2)，所述第一搭接板(2)上搭接有过滤筒(3)，所述过滤筒(3)内壁设有第二搭接板(4)，所述第二搭接板(4)上搭接有第一过滤装置(5)，所述第二搭接板(4)下方设有第三搭接板(6)，所述第三搭接板(6)上搭接有第二过滤装置(7)，所述箱体(1)一侧设有进液口(11)，所述箱体(1)底部设有出液口(12),所述过滤筒(3)底部设有滤板(33),所述箱体(1)顶部设有顶盖(13)，所述顶盖(13)由螺栓进行固定。

2.根据权利要求1所述的一种便于清理的多线切片机用滤筒，其特征在于：所述第一搭接板(2)为环形且置于箱体(1)内壁，所述第一搭接板(2)均匀设有四个定位柱(21)，所述第一搭接板(2)两侧对称设有两个定位装置(22)，所述定位装置(22)包括固定框(23),所述固定框(23)内部设有第一锥形齿轮(24)，所述第一锥形齿轮(24)一侧啮合有第二锥形齿轮(25)，所述第二锥形齿轮(25)一侧固接有螺纹杆(26)，所述螺纹杆(26)外部螺纹套设有螺纹筒(27)，所述螺纹筒(27)活动贯穿于固定框(23)一侧，所述固定框(23)顶部设有旋钮(28)，所述旋钮(28)底部贯穿固定框(23)并与第一锥形齿轮(24)相固接。

3.根据权利要求1所述的一种便于清理的多线切片机用滤筒，其特征在于：所述滤筒顶部边缘位置处均匀竖向贯穿设有四个圆孔(31)，所述过滤筒(3)顶部两端对称设有两个定位孔(32)。

4.根据权利要求1所述的一种便于清理的多线切片机用滤筒，其特征在于：所述第二搭接板(4)固接于过滤筒(3)内壁，所述第二搭接板(4)上均匀设有四个第一固定块(41)，所述第一固定块(41)呈倒l形，所述第一过滤装置(5)包括第一固定环(51)，所述第一固定环(51)上均匀开设有第一弧形槽(52)，所述第一固定环(51)底部环形固接有第一滤网(53)。

5.根据权利要求1所述的一种便于清理的多线切片机用滤筒，其特征在于：所述第三搭接板(6)上方均匀设有四个与第一固定块(41)大小位置相同的第二固定块(61)，所述第二过滤装置(7)包括第二固定环(71)，所述第二固定环(71)上均匀开设有与第二固定块(61)相对的第二弧形槽(72)，所述第二固定环(71)底部环形固接有第二滤网(73)。

6.根据权利要求5所述的一种便于清理的多线切片机用滤筒，其特征在于：所述第三搭接板(6)内径小于第二搭接板(4)内径，所述第二固定环(71)外径小于第二搭接板(4)内径。

技术总结
本技术公开了一种便于清理的多线切片机用滤筒，涉及半导体加工技术领域，箱体内部设有第一搭接板，第一搭接板上搭接有过滤筒，过滤筒内壁设有第二搭接板，第二搭接板上搭接有第一过滤装置，第二搭接板下方设有第三搭接板，第三搭接板上搭接有第二过滤装置，箱体一侧设有进液口，箱体底部设有出液口,过滤筒底部设有滤板,箱体顶部设有顶盖，顶盖由螺栓进行固定，该便于清理的多线切片机用滤筒能够提高过滤效率，能够保证过滤后切削液的纯净度，同时过滤筒整体可取出从而便于清理。

技术研发人员：程国平,杨朝晖,韩佳,王坡
受保护的技术使用者：西安普晶半导体设备有限公司
技术研发日：20220713
技术公布日：2024/1/13