一种精准控制型干式尾气处理装置的制作方法

1.本实用新型属于尾气处理技术领域，具体涉及一种精准控制型干式尾气处理装置。


背景技术：

2.干式吸附式尾气处理机是尾气处理的一种重要方式，具有如下特点：(1)以吸附桶完全处理设备尾气；(2)没有明火；(3)节省能源，没有高耗能需求；(4)不需要耗用水资源，没有废水处理问题；(5)确保尾气处理的安全性，过程无危害。
3.干式吸附式尾气处理机广泛应用于ic、led、lcd以及特种气体的生产过程，但是，目前的干式吸附式尾气处理装置仅是单一的吸附过滤功能，结构简单，不具有自主判断尾气是否超标排放的功能，另外在吸附桶饱和后需要停止作业，降低了吸附效率，另外在处理时存在应急状态下泄漏尾气的问题，为此，需要设计一种精准控制型干式尾气处理装置来解决上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种精准控制型干式尾气处理装置，该装置结构设计科学合理，实用性强，能精准控制干式尾气处理，吸附效率高，安全性强，可推广使用。
5.为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种精准控制型干式尾气处理装置，其特征在于，包括主吸附桶、混匀罐和应急吸附桶，所述主吸附桶的一端连接第二气源输送管，主吸附桶的另一端连接放出管线，所述第二气源输送管上连接第一气源输送管，所述放出管线上连接应急管线，所述第一气源输送管上连接稀释气管线，所述应急管线上设置所述应急吸附桶，所述混匀罐设置在第一气源输送管上，所述应急管线上安装有风机。
6.优选地，所述第二气源输送管上通过连接管连接有压力变送器，所述连接管上安装有阀门，所述连接管连接在第一气源输送管和主吸附桶之间的位置。
7.优选地，所述第一气源输送管上沿气体运动方向依次设置有第一自动阀、第一单向阀、第一流量计和第四自动阀，所述混匀罐设置在第一流量计和第四自动阀之间，所述稀释气管线连接在第一流量计和混匀罐之间。
8.优选地，所述稀释气管线上沿气体运动方向依次设置有第三自动阀、调节阀、第三单向阀和第二流量计。
9.优选地，所述第二气源输送管上沿气体运动方向设置有第二自动阀和第二单向阀。
10.优选地，所述主吸附桶的侧壁上设置有可视窗口，所述主吸附桶内填充有吸附层，所述吸附层上设置有显色条，所述显色条设置对应可视窗口的位置，通过可视窗口观察显色条的显色变化从而判断主吸附桶内的吸附层是否吸附饱满及时更换维护吸附层，所述主
吸附桶的外侧壁上安装有温度传感器。
11.优选地，所述放出管线上沿气体运动方向依次设置有气体探测器和第七自动阀，所述应急管线上沿气体运动方向设置有第五自动阀、应急吸附桶、第六自动阀和风机，所述放出管线的两端分别连接主吸附桶和应急管线，所述应急管线连接在放出管线上气体探测器和第七自动阀之间的位置。
12.本实用新型与现有技术相比具有以下优点：
13.1、本实用新型结构设计科学合理，操作简单，使用效果好，能同时处理来自两个气源的尾气，安全可靠，泄露风险低，吸附效果好，实用性强。
14.2、本实用新型在主吸附桶上连接有两路气源输送管，能处理两路气体，实用性强，在主吸附桶的放出管线上连接应急管线，当主吸附桶内排出的气体在气体探测器的检测下没有达标时通过应急管线上的应急吸附桶再次吸附过滤，保障最终排出的气体达到环保标准。
15.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。
附图说明
16.图1是本实用新型的整体结构示意图。
17.图2是本实用新型中主吸附桶的结构示意图。
18.附图标记说明：
19.1—第一单向阀；
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2—第一气源输送管；
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3—第一自动阀；
20.4—第二自动阀；
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5—第二单向阀；
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6—第二气源输送管；
21.7—第一流量计；
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8—第三自动阀；
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9—调节阀；
22.10—第三单向阀；
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11—稀释气管线；
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12—第二流量计；
23.13—混匀罐；
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14—吸附层；
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15—第四自动阀；
24.16—阀门；
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17—连接管；
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18—压力变送器；
25.19—主吸附桶；
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20—温度传感器；
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21—可视窗口；
26.22—气体探测器；
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23—风机；
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24—第六自动阀；
27.25—应急吸附桶；
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26—应急管线；
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27—第七自动阀；
28.28—第五自动阀；
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29—放出管线；
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30—显色条。
具体实施方式
29.如图1和图2所示，本实用新型包括主吸附桶19、混匀罐13和应急吸附桶25，所述主吸附桶19的一端连接第二气源输送管6，主吸附桶19的另一端连接放出管线29，所述第二气源输送管6上连接第一气源输送管2，所述放出管线29上连接应急管线26，所述第一气源输送管2上连接稀释气管线11，所述应急管线26上设置所述应急吸附桶25，所述混匀罐13设置在第一气源输送管2上，所述应急管线26上安装有风机23。
30.本实施例中，所述第二气源输送管6上通过连接管17连接有压力变送器18，所述连接管17上安装有阀门16，所述连接管17连接在第一气源输送管2和主吸附桶19之间的位置。
31.本实施例中，所述第一气源输送管2上沿气体运动方向依次设置有第一自动阀3、第一单向阀1、第一流量计7和第四自动阀15，所述混匀罐13设置在第一流量计7和第四自动
阀15之间，所述稀释气管线11连接在第一流量计7和混匀罐13之间。
32.本实施例中，所述稀释气管线11上沿气体运动方向依次设置有第三自动阀8、调节阀9、第三单向阀10和第二流量计12。
33.本实施例中，所述第二气源输送管6上沿气体运动方向设置有第二自动阀4和第二单向阀5。
34.本实施例中，所述主吸附桶19的侧壁上设置有可视窗口21，所述主吸附桶19内填充有吸附层14，所述吸附层14上设置有显色条30，所述显色条30设置对应可视窗口21的位置，通过可视窗口21观察显色条30的显色变化从而判断主吸附桶19内的吸附层14是否吸附饱满及时更换维护吸附层14，所述主吸附桶19的外侧壁上安装有温度传感器20。当温度传感器20超过设定参数时，显示剂视窗显示吸附剂饱和，气体气体探测器22浓度超过tlv值时，气路切换到应急吸附桶25。
35.本实施例中，所述放出管线29上沿气体运动方向依次设置有气体探测器22和第七自动阀27，所述应急管线26上沿气体运动方向设置有第五自动阀28、应急吸附桶25、第六自动阀24和风机23，所述放出管线29的两端分别连接主吸附桶19和应急管线26，所述应急管线26连接在放出管线26上气体探测器22和第七自动阀27之间的位置。
36.本实施例中，应急吸附桶25内填充设置吸附层。吸附层材质为铝金属氧化物；显色条为球状金属氧化物，采用适用于酸性气体的hydride系列；气体探测器是霍尼韦尔厂家生产的电化学原理的气体探测器。
37.本实施例中，多个流量计、气体探测器22、温度传感器20与plc控制器的信号输入端口连接，plc控制器的信号输出端与多个阀门连接，当流量计检测到气源流量过大时控制相应的阀门调整流量，当气体探测器22探测到主吸附桶19排出的气体不达标时，切换阀门使用应急管线26进行二次吸附。
38.本实用新型使用时，待处理的两路气体分别通入第一气源输送管2和第二气源输送管6，处理难度大的气体送入第一气源输送管2，处理难度小的气体送入第二气源输送管6，通过第一流量计7和第一自动阀3实时监控并控制第一气源输送管2气体的流量，通过第二自动阀4控制第二气源输送管6中的气体流量，从稀释气管线11通入稀释气体用于稀释第一气源输送管2中的气体，通过第二流量计12和第三自动阀8控制稀释气体的输送流量。
39.经过稀释调控的气体在压力变送器18的作用下调整气体压力，进入主吸附桶19，在主吸附桶19内经过吸附层14的吸附后通过放出管线29排出。当显色条30变色后，气体探测器22检测到气体不达标时证明主吸附桶19内吸附层14达到饱和状态，此时关闭第七自动阀27打开第五自动阀28和第六自动阀24，启用应急管线26，通过应急吸附桶25完成吸附。
40.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型作任何限制。凡是根据实用新型技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效变化，均仍属于本实用新型技术方案的保护范围内。