一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶刮胶装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶体生长领域，尤其是涉及一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶刮胶装置。


背景技术：

2.碳化硅单晶的籽晶粘结工艺是物理气相传输法(pvt)中生长主流籽晶粘结工艺技术。目前，碳化硅生长籽籽晶与石墨底座之间的粘接是先将胶均匀刮涂在籽晶碳面上进行一次烧结；再将碳化硅籽晶放在模具上，并通过加压抽真空充气体然后真空炉加热烧结一次；接着，将碳化硅籽晶与手工刮胶的石墨底托粘接在一起后进行二次烧结。受限于现有碳化硅晶体的切磨抛技术和石墨托表面的机械加工精度，市售的碳化硅籽晶和石墨托都存在不同程度的翘曲，如果直接将籽晶与石墨托硬碰硬接触很容易出现粘接不牢固、胶水不均匀、有气泡和胶少虚粘等问题，影响碳化硅单晶的正常生长。而且，采用人工手握刀片进行刮胶，受限于胶水批次和操作水平，无法保证胶厚度均匀，易造成局部胶厚结块，胶薄空鼓气泡，影响后续粘接效果，也将影响碳化硅单晶的正常生长。
3.因此，设计一种碳化硅籽晶粘接涂胶装置，对提高碳化硅籽晶与石墨籽晶底座之间的粘接质量，促进高品质碳化硅单晶的生长至关重要。


技术实现要素：

4.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型在于提出一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶刮胶装置，可使真空吸盘连同其上方的籽晶处于合适的温度范围，以使籽晶表面的粘胶在恒定温度下更稳定，减缓了粘胶的凝固速度，方便刮涂，从而保证胶厚度均匀，减少局部胶厚结块的情况发生，提高了合格率和效率。刮刀组件角度可调，便于对不同厚度的籽晶进行粘胶刮涂处理，或可对同一籽晶上不同厚度的粘胶或多次粘胶的刮涂处理，适用范围更广泛。
5.根据本实用新型用于碳化硅籽晶粘接的涂胶刮胶装置，包括：
6.操作台，
7.真空吸盘，所述真空吸盘有多个，用于吸附待涂胶的籽晶，多个所述真空吸盘成排布置在所述操作台上；
8.加热机构，所述加热机构设置在所述真空吸盘的下方，以使真空吸盘处于恒温状态；
9.喷胶机构，所述喷胶机构安装在操作台上，并可在多个所述真空吸盘的上方往复移动，以将粘胶喷涂在所述籽晶上；
10.刮胶机构，所述刮胶机构包括：刮刀组件、安装杆和动力机构，所述刮刀组件有多个，多个所述刮刀组件安装在所述安装杆上，并与多个所述真空吸盘一一对应；所述安装杆移动地安装在所述操作台上所述真空吸盘的上方，所述安装杆的轴线与多个所述真空吸盘的连线平行；所述动力机构安装在所述操作台上，用于带动所述安装杆在靠近或远离所述
真空吸盘的方向往复移动；所述刮刀组件的角度可调整。
11.根据本实用新型用于碳化硅籽晶粘接的涂胶刮胶装置，加热机构的设置，可是真空吸盘连同其上方的籽晶处于合适的温度范围，以使籽晶表面的粘胶在恒定温度下更稳定，减缓了粘胶的凝固速度，方便刮涂，从而保证胶厚度均匀，减少局部胶厚结块的情况发生，进而减少由于涂胶不均匀导致晶体生长时温度梯度受热不均衡而引发胶水粘结贴合处产生间隙不牢固至鼓包脱落的情况发生，提高了合格率和效率。刮刀组件角度可调，便于对不同厚度的籽晶进行粘胶刮涂处理，或可对同一籽晶上不同厚度的粘胶或多次粘胶的刮涂处理，适用范围更广泛。
12.在本实用新型的一些实施例中，所述刮刀组件包括：
13.壳体，所述壳体限定出第一容纳腔；
14.刮刀，所述刮刀布置在所述第一容纳腔内；
15.弹性件，所述弹性件布置在所述第一容纳腔内，所述弹性件的两侧分别与所述刮刀、所述第一容纳腔的腔底壁连接。
16.在本实用新型的一些实施例中，还包括弹性垫，所述弹性垫对称设置在所述第一容纳腔内位于所述刮刀的两侧。
17.在本实用新型的一些实施例中，所述安装杆包括：
18.外连杆，所述外连杆与所述动力机构连接，所述外连杆远离所述动力机构的一侧设有凹槽；
19.内连杆，所述内连杆能够转动地安装在所述凹槽内，所述内连杆上设有多个沿所述内连杆轴向分布的安装槽，所述安装槽用于安装刮刀组件；
20.传动机构，所述传动机构布置在所述内连杆和所述外连杆之间，用于驱动内连杆相对于所述外连杆转动，以调节所述刮刀组件的角度。
21.在本实用新型的一些实施例中，所述传动机构包括：
22.伺服电机，所述伺服电机安装在所述外连杆上；
23.主动齿轮，所述主动齿轮安装在所述伺服电机的输出端；
24.从动齿轮，所述从动齿轮安装在所述内连杆上，并与所述主动齿轮啮合。
25.在本实用新型的一些实施例中，所述刮胶机构通过第二支撑架安装在所述操作台上，所述第二支撑架包括支撑柱和安装在支撑柱顶端的支撑板，所述支撑柱安装在所述操作台上，所述动力机构安装在所述支撑板上。
26.在本实用新型的一些实施例中，所述加热机构包括：
27.外壳，所述外壳限定出第二容纳腔，所述外壳上靠近所述真空吸盘的一侧与所述真空吸盘紧贴布置；
28.加热器，所述加热器布置在所述第二容纳腔内；
29.保温层，所述保温层环布在所述外壳的外部。
30.在本实用新型的一些实施例中，还包括，所述加热器为电阻加热器。
31.在本实用新型的一些实施例中，还包括激光自动测厚仪，所述激光自动测厚仪安装在操作台的末端，正对所述真空吸盘布置。
32.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
33.图1是根据本实用新型一个实施例的用于碳化硅籽晶粘接的涂胶刮胶装置的示意图；
34.图2是本实用新型中第一支撑架的结构示意图；
35.图3是本实用新型中刮刀组件的结构示意图；
36.图4是本实用新型中刮刀组件的另一视角示意图；
37.图5是本实用新型中安装杆的结构示意图；
38.图6是图5中传动机构处的径向剖视图；
39.图7是图5中传动机构前方的径向剖视图；
40.图8是本实用新型中第二支撑架的结构示意图；
41.图9是本实用新型中加热机构的结构示意图；
42.图10是图9中加热器的结构示意图；
43.图11是本实用新型中另一种实施例加热机构的示意图。
44.附图标记：
45.涂胶刮胶装置100；
46.操作台10；
47.真空吸盘20；
48.加热机构30；外壳31；加热器32；保温层33；第二容纳腔311；
49.喷胶机构40；微型空压泵41；胶瓶42；
50.刮胶机构50；刮刀组件51；壳体511；第一容纳腔5111；刮刀512；弹性件513；弹性垫514；安装杆52；外连杆521；内连杆522；传动机构523；伺服电机5231；主动齿轮5232；从动齿轮5233；动力机构53；导轨支座524；
51.第一支撑架60；支架导轨61；倒u型安装架62；第一滑块63；第一螺纹杆64；第一螺杆伺服电机65；
52.激光自动测厚仪70；
53.第二支撑架80；支撑柱81；支撑板82；安装座821；滑槽822。
具体实施方式
54.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
55.下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的可应用于性和/或其他材料的使用。
56.下面参考图1-图11描述根据本实用新型实施例的用于碳化硅籽晶粘接的涂胶刮
胶装置100，包括：操作台10、真空吸盘20、加热机构30、喷胶机构40和刮胶机构50。
57.参照图1至图4所示，操作台10用于提供各个部件的安装台面；真空吸盘20有多个，均用于吸附待涂胶的籽晶，多个真空吸盘20排成一排布置在操作台10上，例如，所有真空吸盘20等间隔的排布在操作台10上。加热机构30设置在真空吸盘20的下方，以使真空吸盘20处于恒温状态；喷胶机构40安装在操作台10上，并可在多个真空吸盘20的上方往复移动，以将粘胶喷涂在各个籽晶上，喷胶机构40的喷胶部件可在真空吸盘20上方移动的过程中将粘胶依次喷涂在各个籽晶上，从一端移至另一端，实现对所有真空吸盘20上吸附的籽晶进行喷胶。刮胶机构50包括：刮刀组件51、安装杆52和动力机构53，刮刀组件51有多个，多个刮刀组件51安装在安装杆52上，并与多个真空吸盘20一一对应；安装杆52移动地安装在操作台10上真空吸盘20的上方，安装杆52的轴线与多个真空吸盘20的连线平行；动力机构53安装在操作台10上，用于带动安装杆52在靠近或远离真空吸盘20的方向往复移动，换言之，安装杆52以垂直于其轴线的方向平行移动，以带动多个刮刀组件51同步移动，实现对多个籽晶上粘胶刮涂的同步动作；刮刀组件51的角度可调整。
58.可以理解的是，具体操作时，可对加热机构30预设温度，使加热机构30保持预设温度，温度导热到真空吸盘20后可传递至其吸附的籽晶，以使籽晶表面的粘胶在恒定温度下更稳定，减缓了粘胶的凝固速度，方便刮涂，从而保证胶厚度均匀，减少局部胶厚结块的情况发生，进而减少由于涂胶不均匀导致晶体生长时温度梯度受热不均衡而引发胶水粘结贴合处产生间隙不牢固至鼓包脱落的情况发生，提高了合格率和效率。其中，真空吸盘20可以为陶瓷件，从而使其具有较好的导热性能。待喷胶机构40将粘胶喷至各个籽晶上后，由于刮刀组件51的角度可调整，故当安装杆52相对于操作台的10高度不变时，安装杆52与真空吸盘20间的高度差也不会发生变化，刮刀组件51角度可调，便于对不同厚度的籽晶进行粘胶刮涂处理，或可对同一籽晶上不同厚度的粘胶或多次粘胶的刮涂处理，适用范围更广泛。
59.在本实用新型的一些实施例中，上述真空吸盘20的上表面中心处开设有吸附口，吸附口的尺寸小于待吸附籽晶的尺寸。考虑到吸附效果，吸附口的截面为截顶漏斗状，真空吸盘20的底部或侧壁四周设有吸气口。
60.使用前，可在吸气口处安装气管，以将真空吸盘20通过气管与真空设备接通。待籽晶防止在吸附口后，则启动真空设备抽吸，使真空吸盘20内产生负气压，从而将籽晶吸牢，即可开始后续喷胶、刮涂操作。
61.在本实用新型的一些实施例中，参照图1和图2所示，喷胶机构40可包括微型空压泵41和胶瓶42，胶瓶42的进气端通过压力软管与微型空压泵41连接；胶瓶42通过第一支撑架60安装在操作台上，第一支撑架60包括两个位于所有真空吸盘20两侧对称布置的支架导轨61、安装在两个支架导轨61上的倒u型安装架62和带动倒u型安装架62沿支架导轨61移动的驱动机构，胶瓶42能够移动地安装在倒u型安装架62上。例如，驱动机构可带动安装在其上方的倒u型安装架62往复移动，实现在多个真空机构20的上方依次通过，进而实现对其吸附的各个籽晶进行粘胶的喷涂。胶瓶42通过第一滑块63安装在倒u型安装架62的水平杆上，具体的，倒u型安装架62上设有与其水平杆平行布置的第一螺纹杆64，第一滑块63同时安装在第一螺纹杆64上，并可随着第一螺纹杆64的转动沿着第一螺纹杆64的轴向方向移动，倒u型安装架62上安装有用于驱动第一螺纹杆64转动的第一螺杆伺服电机65。第一螺杆伺服电机65为双向伺服电机，通过控制第一螺杆伺服电机65的工作，可实现胶瓶42在第一螺纹杆
64上的往复移动。
62.待真空吸盘20抽真空后籽晶被牢牢吸住后，微型空压泵41输入固定压力的流速气体先喷挤出籽晶所需的胶量后停止喷胶，实现定量喷胶的目的。同时，在此过程中，通过对驱动机构和第一螺杆伺服电机65的控制，可实现在各个籽晶上将定量粘胶均匀喷出的目的，如可实现连续的s形喷胶路线，更利于后续刮涂的均匀。
63.上述驱动机构可采用同第一螺纹杆64和第一滑块63间相互配合的方式，也可采用链条传动的方式进行，只要其能实现往复传送，对其具体结构不做限定。
64.在本实用新型的一些实施例中，参照图3和图4所示，刮刀组件51包括：壳体511、刮刀512和弹性件513，壳体511限定出第一容纳腔5111，刮刀512布置在第一容纳腔5111内；弹性件513布置在第一容纳腔5111内，弹性件513的两侧分别与刮刀512、第一容纳腔5111的腔底壁连接。弹性件513可以是弹簧、弹片等具有弹性能够伸缩并复位的结构。弹性件513与刮刀512伸入第一容纳腔5111内的端部连接，当刮刀组件51对籽晶上的粘胶进行刮涂时，弹性件513适于在刮刀512受力时发生形变，即受力压缩，以使刮刀512在刮胶时具有略微柔性，在弹性件513回弹力和张力的作用下，可避免刮刀512与要刮的籽晶贴合后产生应力，从而避免刮裂籽晶的情况发生。当然，弹性件513也可以是柔性硅胶材质，具有柔性的同时，其回弹力和张力也可以满足使用时的需求。
65.考虑到刮涂时，刮刀组件51大都是倾斜布置的，刮刀512的侧壁与壳体511的侧壁之间可能会产生一定的压力，在本实用新型的一些实施例中，还可增设弹性垫514，弹性垫514对称设置在第一容纳腔5111内位于刮刀512的两侧。其中，弹性件513和弹性垫514可一体成型，此时，效果更佳。
66.可以理解的是，控制刮刀组件51进行刮涂时，弹性件513和弹性垫514的设置，可使刮刀512与壳体511之间的接触面有全方位的柔性形变存在，可避免刮刀512与要刮的籽晶贴合后产生应力，从而避免刮裂籽晶的情况发生。
67.待籽晶上以喷涂好粘胶后，可调整好刮刀组件51与籽晶的贴合高度间隙吻合后，然后控制动力机构53输出动力，来回移动带动安装杆52上刮刀组件51的刮刀512进行规定时间的刮胶，多次往复的刮胶，以使获得更均匀的刮涂效果。
68.在本实用新型的一些实施例中，参照图1和图5、图6所示，安装杆52包括：外连杆521、内连杆522和传动机构523。外连杆521与动力机构53连接，外连杆521远离动力机构53的一侧设有凹槽5211，例如，凹槽5211的径向截面可以为u型槽，相应地，内连杆522的径向外截面为圆，以使内连杆522能够转动地安装在凹槽5211内，内连杆522上设有多个沿内连杆522轴向分布的安装槽5221，安装槽5221用于安装刮刀组件51；传动机构523布置在内连杆522和外连杆521之间，用于驱动内连杆522相对于外连杆521转动，以调节刮刀组件51的角度。
69.可以理解的是，由于刮刀组件51安装在内连杆522上，故当内连杆522发生自转时，刮刀组件51将随其转动的同时，与真空吸盘20上籽晶间的夹角也将发生变化，可实现对刮刀组件51角度的调整，以使其与籽晶之间有合适的距离，方便对粘胶进行刮涂。具体的，初始状态，整个刮胶机构50位于操作台10上所有真空吸盘20的一侧，并于真空吸盘20之间保持有一定的距离。为了方便描述，将初始状态时，刮胶机构50位于真空吸盘20的一侧为第一侧，与第一侧相对、真空吸盘20的另一侧为第二侧。待真空吸盘20上吸附好籽晶，且喷胶机
构40在各个籽晶上喷好粘胶时，在动力机构53的作用下，安装杆52整体向靠近真空吸盘20的方向移动，直至移至所有真空吸盘20的第二侧。然后，根据粘胶情况(如包括粘胶次数或粘胶量)启动传动机构523，在传动机构523的作用下，内连杆522将带动刮刀组件51正向转动，直至刮刀组件51的角度满足刮刀可接触到粘胶，并可对粘胶进行刮涂。再控制动力机构53带动整个安装杆52和刮刀组件51向反方向移动(即由第二侧至第一侧的方向移动)，以使刮刀组件51中的刮刀512将粘胶刮平。
70.考虑到刮涂效果，可对粘胶进行多次刮涂操作。当需要进行再次刮涂操作时，可等安装杆52和刮刀组件51完全移至第一侧后，控制传动机构523工作，以使内连杆522连同刮刀组件51反方向转动，缩小刮刀组件51与水平面间的夹角，保证刮刀组件51再次在籽晶上方移动时不会触碰到籽晶上已刮涂的粘胶。接着，控制动力机构53，以使安装杆52再次由第一侧移至第二侧，移动过程中，刮刀组件51不会触碰到籽晶上的粘胶。待移动至第二侧后，再启动传动机构523带动内连杆522和刮刀组件51正方向转动(即由第一侧至第二侧的方向转动)，直至刮刀组件51的角度满足刮刀可接触到粘胶，并可对粘胶进行刮涂。上述操作可根据具体情况多次重复进行。
71.在本实用新型的一些实施例中，参照图5至图7所示，传动机构523包括：伺服电机5231、主动齿轮5232和从动齿轮5233，伺服电机5231安装在外连杆521上；主动齿轮5232安装在伺服电机5231的输出端；从动齿轮5233安装在内连杆522上，并与主动齿轮5232啮合。例如，伺服电机5231可安装在外连杆521的凹槽5211内，具体的，凹槽5211内设有伺服电机5231的安装槽5212，从动齿轮5233也布置在凹槽5211内，主动齿轮5232套装在内连杆522上。伺服电机5231为双向伺服电机，可在主动齿轮5232和从动齿轮5233的作用下，带动内连杆522和刮刀组件51正向或反向转动，此种结构简单，成本低。
72.当然，上述传动机构523也可采用其它结构，只要其能够带动内连杆522转动，实现对刮刀组件51的角度调整即可。如传动机构523可包括伸缩杆和安装在内连杆522上的限位板，伸缩杆的两端分别与外连杆521、限位板铰接，通过控制伸缩杆的伸缩，可使内连杆522相对于外连杆521产生转动，从而实现对内连杆522上刮刀组件51角度的调整。其中，伸缩杆可以是电动伸缩杆、电动气缸或液压缸，只要其能够实现伸缩，伸缩范围可控即可，在此不做限定。
73.在本实用新型的一些实施例中，参照图1和图8所示，刮胶机构50通过第二支撑架80安装在操作台10上，第二支撑架80包括支撑柱81和安装在支撑柱81顶端的支撑板82，支撑柱81安装在操作台10上，动力机构53安装在支撑板82上。其中，支撑柱81可采用高度可调节的结构，更利于拓宽其使用范围，如可保证刮刀组件51在同一倾斜角度下，不同厚度粘胶的刮涂需求。
74.具体的，第二支撑架80有两组，对称安装在操作台10上位于所有真空吸盘20的两侧，每组第二支撑架80中支撑柱81的数量至少有两个，支撑板82上远离真空吸盘20的一端设有用于安装动力机构53的安装座821，支撑板82上设有沿支撑板轴向布置的滑槽822，安装杆52的底部设有于滑槽822相配合的导轨支座524。动力机构53的固定端与安装座821固定连接，动力机构53的伸缩端与安装杆52连接，在动力机构53的作用下，可带动整个安装杆52朝向或远离真空吸盘20的方向移动，从而实现对刮刀组件51的带动，实现对刮刀组件51位置的调整以及籽晶上粘胶的刮涂操作。其中，动力机构53也可以是液压伸缩杆、电动伸缩
杆或气缸等部件。
75.在本实用新型的一些实施例中，参照图9和图11所示，加热机构30包括：外壳31、加热器32和保温层33，外壳31限定出第二容纳腔311，外壳31上靠近真空吸盘20的一侧与真空吸盘20紧贴布置；加热器32布置在第二容纳腔311内；保温层33环布在外壳31的外部。保温层33的设置可避免热量经外壳31向四周传递，减少热量损失，提高向真空吸盘20的导热效果。
76.可以理解的是，当加热器32工作时，产生的热量将会经过外壳31传至真空吸盘20，再经真空吸盘20传至籽晶，以使籽晶有一定的温度，保证籽晶上的粘胶在恒定温度下更稳定，减缓了粘胶的凝固速度，更方便刮涂，从而保证刮涂后胶的厚度均匀，减少局部胶厚结块的情况发生，进而减少由于涂胶不均匀导致晶体生长时温度梯度受热不均衡而引发胶水粘结贴合处产生间隙不牢固至鼓包脱落的情况发生，提高了合格率和效率。
77.可选地，为了提高真空吸盘20的导热效果，真空吸盘20的外部也可设有保温层，进一步提高了其自身的导热性。
78.在本实用新型的一些实施例中，上述加热器32为电阻加热器，相较于其他类型的加热器，电阻加热器结构简单，成本低，使用更方便。
79.考虑到上述加热机构30主要用于向真空吸盘20传递热量，以减缓其吸附的籽晶上的粘胶的凝固速度，也可以采用其他的结构形式，如加热机构30可套装在真空吸盘20的外部，从真空吸盘20的四周对其进行热传递，也能实现上述目的。
80.为了更好地对刮胶厚度进行检测，在本实用新型的一些实施例中，还可增设激光自动测厚仪70，激光自动测厚仪70安装在操作台10的末端，正对真空吸盘20布置。由于各个刮刀组件51是同步操作的，刮刀组件51的角度、刮胶次数是一致的，故当喷胶机构40在各个真空吸盘20吸附的籽晶上喷涂相同的粘胶使，各籽晶上刮涂后的粘胶厚度基本是一样的。将激光自动测厚仪70设置在所有真空吸盘20的末端，可实现对所有粘胶厚度的同步检测。可在每次刮涂完成后，启动激光自动测厚仪70进行检测，当籽晶上的胶膜达到规定厚度后，激光打到籽晶上感应高度后断电停止运行，不再使刮刀在籽晶上继续刮动，保持达到工艺要求。
81.工作过程：以液压伸缩杆作为动力机构53，并采用液压马达驱动其伸缩。
82.加热机构设置25℃，在真空吸盘20的作用下，温度导热到真空吸盘20吸附的籽晶后使胶在适合的温度下更稳定，减缓了胶的凝固速度，利于后续刮涂。
83.待真空吸盘20吸附籽晶后，微型空压泵41设1mpa的出气压力通过胶瓶42的喷嘴喷出914ab比例调配胶(914环氧树脂胶)，按工艺要求挤压出所需要14-15克的胶在籽晶上，然后调压4兆帕液压伸缩杆带动调整倾斜度30
°
的刮刀512，以每分钟伸缩120下的速度刮胶8分钟，刮胶完毕后，取一张厚度在0.05mm厚度石墨纸涂胶后，刮好的籽晶贴和石墨纸贴合一起后进行一次烧结，一次烧结好后备用。
84.石墨底托的三次涂胶：将石墨底托放在真空吸盘20上，液压马达压力调至2mpa使其液压伸缩杆达到设定的每分钟60下伸缩速度，使其速度均匀变缓，然后调整支撑柱81的高度，使刮刀和石墨底托接近贴合状态。然后调换胶瓶上的喷嘴更换成大的孔眼喷嘴，按调整后的压力流速将胶定量喷涂在石墨底托表面上，刮匀后在规定温湿度无尘室晾晒6-8分钟，然后在以同样过程的胶量刮第二遍胶，晾晒9-12分钟，然后再刮第三遍，晾晒15-18分
钟。晾晒的目的是使其胶体微量水分蒸发和树脂在空气接触后的氧化后粘稠度的均匀舒展。
85.接着，把烧结好的一次籽籽晶(包括石墨纸)贴合在晾晒好的石墨底托的涂胶面上，并将其一同放入真空炉经过第一阶段9分钟烧结至100
°
然后在烧半小时烧至220
°
，经过温度慢慢升温碳化化学反应后使气孔均匀散布开来，给提供可靠的籽晶母片。
86.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“正向”、“反向”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
87.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
88.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
89.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
90.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
91.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。