一种过滤系统的制作方法

1.本技术涉及过滤技术领域，尤其涉及一种过滤系统。


背景技术：

2.微电子行业对于生产半导体光刻胶和光阻剂产品的物料质量有着非常严格的要求，需要采用高精度的过滤器才能将物料中的异物滤除。
3.目前市面上主要通过设计整套过滤系统来对物料进行过滤，具体措施是向混合釜中输送恒定压力的气体以将混合釜中的物料输送至过滤器中进行过滤。
4.然而，混合釜中物料的重量也会造成压力变化，随着混合釜中的物料不断减少，物料的输送压力将不断减小，这种压力变化会导致过滤后的物料品质存在较大差异。


技术实现要素：

5.有鉴于此，本技术的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种过滤系统，以解决现有技术中过滤系统的控制精度差，导致过滤后的物料品质存在较大差异的技术问题。
6.为解决上述技术问题，本技术提供了：
7.一种过滤系统，包括：
8.过滤器组件，具有进料端和出料端；
9.混合釜，用于存放待过滤的物料，且设置有进气阀和排气阀，所述混合釜通过管路与所述进料端连接；
10.压力检测装置，设置于所述混合釜与所述进料端之间的所述管路上；
11.控制器，分别与所述进气阀、所述排气阀和所述压力检测装置电性连接。
12.另外，根据本技术的过滤系统，还可具有如下附加的技术特征：
13.在本技术的一些实施例中，还包括流量控制装置，所述流量控制装置设置于所述混合釜与所述压力检测装置之间的所述管路上，并与所述控制器电性连接。
14.在本技术的一些实施例中，所述流量控制装置为调节阀，所述调节阀用于调节所述管路的流量。
15.在本技术的一些实施例中，所述流量控制装置为料泵，所述料泵用于将所述物料从所述混合釜中吸出，并将所述物料输送至所述进料端。
16.在本技术的一些实施例中，所述过滤器组件包括分别与所述控制器电性连接的多个过滤器，每个所述过滤器之间通过所述管路连通，且每个所述过滤器的两侧分别设置有所述压力检测装置。
17.在本技术的一些实施例中，所述多个过滤器包括分别与所述控制器电性连接的第一过滤器和第二过滤器，所述第一过滤器的一端通过所述管路与所述混合釜连接，另一端通过所述管路与所述第二过滤器连通，且所述第一过滤器的两侧和所述第二过滤器的两侧分别设置有所述压力检测装置，所述第一过滤器靠近所述混合釜的一侧为所述进料端，所述第二过滤器远离所述第一过滤器的一侧为所述出料端。
18.在本技术的一些实施例中，所述进气阀和所述排气阀分别设置于所述混合釜远离所述管路的位置。
19.在本技术的一些实施例中，所述过滤系统还包括报警器，所述报警器与所述控制器电性连接。
20.在本技术的一些实施例中，所述控制器包括数据处理单元和控制单元，所述数据处理单元分别与所述控制单元和所述压力检测装置电性连接，所述控制单元分别与所述进气阀和所述排气阀电性连接。
21.在本技术的一些实施例中，所述出料端通过所述管路与所述混合釜连通，且所述出料端与所述混合釜之间的所述管路上设置有循环泵，所述循环泵用于将物料从出料端吸出，并将所述物料输送至所述混合釜内。
22.相对于现有技术，本技术的有益效果是：
23.本技术提出一种过滤系统，包括过滤器组件、混合釜、压力检测装置和控制器。混合釜通过管路与过滤器组件的进料端连接，并设置有进气阀和排气阀，混合釜与进料端之间的管路上设置有压力检测装置，且进气阀、排气阀和压力检测装置分别与控制器电性连接。
24.通过将压力检测装置设置于混合釜与过滤器组件之间，以获取物料的输送压力，控制器基于压力检测装置所获取的物料输送压力，控制进气阀和排气阀工作，从而调整混合釜内的压强大小，进而调整物料的输送压力，使物料的输送压力趋于稳定，这样物料经过过滤器组件过滤后的品质一致、良率也更高。
附图说明
25.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
26.图1示出了本技术一些实施例中过滤系统中流量控制装置采用调节阀时的结构示意图；
27.图2示出了本技术一些实施例中过滤系统中流量控制装置采用料泵时的结构示意图；
28.图3示出了本技术一些实施例中过滤系统中过滤器组件的出料端与混合釜相连接时的结构示意图；
29.图4示出了本技术一些实施例中过滤系统中控制器的结构示意图。
30.主要元件符号说明：
31.100-过滤系统；10-混合釜；11-进气阀；12-排气阀；20-过滤器组件；21-第一过滤器；211-进料端；22-第二过滤器；221-出料端；30-管路；40-压力检测装置；50-控制器；51-数据处理单元；52-控制单元；60-流量控制装置；60a-调节阀；60b-料泵；70-循环泵。
具体实施方式
32.下面详细描述本技术的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同
或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
33.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
34.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
35.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
36.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
37.如图1所示，本技术的实施例提供了一种过滤系统100，属于过滤技术领域。该过滤系统100可包括过滤器组件20、混合釜10、压力检测装置40以及控制器50。
38.其中，过滤器组件20设置有进料端211和出料端221，混合釜10内存放有待过滤的物料，且设置有进气阀11和排气阀12，混合釜10通过管路30与进料端211连接，压力检测装置40设置于混合釜10与进料端211之间的管路30上，控制器50分别与进气阀11、排气阀12和压力检测装置40电性连接。
39.本技术提供的过滤系统100，具体地，混合釜10通过管路30与过滤器组件20的进料端211连接，并设置有进气阀11和排气阀12，进气阀11用于向混合釜10内输送具有一定压力的气体，通过气体推动混合釜10内的物料向过滤器组件20输送，排气阀12用于排出混合釜10内的气体，降低混合釜10内部的压强。
40.混合釜10与过滤器组件20的进料端211之间的管路30上设置有压力检测装置40，压力检测装置40用于获取在管路30内流动的物料的压力，也即物料的输送压力，进气阀11、排气阀12和压力检测装置40分别与控制器50电性连接。
41.可以理解的是，控制器50还可与过滤器组件20电性连接，从而控制过滤器组件20的工作，也即控制整个过滤系统100的工作。
42.如图4所示，关于控制器50，具体地，控制器50可包括数据处理单元51和控制单元52，数据处理单元51分别与控制单元52和压力检测装置40电性连接，控制单元52分别与进气阀11和排气阀12电性连接。
43.容易理解，数据处理单元51根据压力检测装置40所获取的物料的输送压力，计算出进气阀11和排气阀12的调节参数，进而通过控制单元52控制进气阀11和排气阀12工作，以达到控制混合釜10内部压强的目的。
44.在使用过滤系统100的过程中，控制器50控制进气阀11向混合釜10内输送气体，气体驱动混合釜10内的物料流出至管路30内，并通过管路30进一步输送至过滤器组件20的进料端211，过滤器组件20可对输送而来的物料进行过滤，以去除物料中的异物，最终过滤后的物料从出料端221输出。
45.在上述使用过程中，当压力检测装置40所获取到的物料的输送压力大于预设压力时，控制器50可以单独控制进气阀11关闭或者减小进气阀11的开度，也可以单独控制排气阀12打开，将混合釜10内的高压气体排出，当然也可以同时控制进气阀11和排气阀12，使进气阀11关闭(或者减小进气阀11的开度)，排气阀12打开，加速混合釜10内多余气体的排出。
46.以上所示例的三种控制方式，均可以降低混合釜10内的气体压强，从而降低物料输送的压力，使物料的输送压力逐渐减小至预设压力。
47.反之，当输送压力小于预设压力时，控制器50控制进气阀11开启(或控制进气阀11的开度增大)，而控制排气阀12关闭，以提高混合釜10内的气体压强，使物料的输出压力逐渐增大至预设压力。
48.容易理解的是，通过以上控制方式，即控制器50基于压力检测装置40所获取的物料输送压力，控制进气阀11和排气阀12工作，从而调整混合釜10内的压强大小，进而调整物料的输送压力，使物料的输送压力趋于稳定(基本保持在预设压力)，这样物料经过过滤器组件20过滤后的品质一致、过滤效果更好、良率也更高。
49.可选地，过滤系统100还可设置报警器，报警器与控制器50电性连接。通过设置报警器，当压力检测装置40检测到物料的输送压力异常时，控制器50可控制报警器发出警报，提醒工作人员及时处理，提高了过滤系统100的安全性。
50.如图1和图2所示，在本技术的一些实施例中，可选地，混合釜10与压力检测装置40之间设置有流量控制装置60，流量控制装置60设置于管路30上，并与控制器50电性连接。
51.本实施例中，控制器50可根据压力检测装置40所获取的物料输送压力，控制流量控制装置60、进气阀11以及排气阀12工作，使得物料的输送压力趋于稳定，从而提高了过滤系统100的控制精度，实现更好的过滤效果。
52.如图1所示，流量控制装置60可以是调节阀60a，调节阀60a用于调节管路30内物料的流量大小，并在控制器50的控制下，配合进气阀11和排气阀12工作，提高了过滤系统100的控制精度，保证物料的输送压力稳定。
53.当然，流量控制装置60还可以是料泵60b，如图2所示，料泵60b用于将物料从混合釜10中吸出，并将物料通过管路30输送至过滤器组件20的进料端211。
54.容易理解的是，当料泵60b作为物料的主要驱动力时，混合釜10内将产生负压，而进气阀11起到补气作用，保证物料的正常输送，控制器50可根据压力检测装置40所获取的物料的输送压力，控制进气阀11和排气阀12工作，并控制料泵60b的功率大小满足要求，从而保证物料的输送压力趋于稳定，提高过滤系统100的控制精度，从而保证物料经过过滤器组件20过滤后的品质一致、良率更高。
55.如图1和图2所示，在本技术的一些实施例中，过滤器组件20包括分别与控制器50
电性连接的多个过滤器，每个过滤器之间通过管路30连通，且每个过滤器的两侧分别设置有压力检测装置40。
56.本实施例中，具体地，每个压力检测装置40分别与控制器50电性连接，过滤器两侧设置的压力检测装置40，可分别检测出过滤器的进料压力和出料压力，在设计阶段，可预先设定进料压力与出料压力的差值允许范围，即设定压力差的预设范围，也可以预先设定进料压力和出料压力的预设值。
57.控制器50根据每个压力检测装置40所获取的压力值，通过计算判断压力差是否在预设范围内，并发送电信号控制进气阀11和排气阀12工作，以控制物料的输送压力，保证物料的输送压力趋于稳定，从而提高过滤系统100的控制精度和过滤效果。
58.如图1所示，示例性的，多个过滤器包括分别与控制器50电性连接的第一过滤器21和第二过滤器22，第一过滤器21通过管路30与混合釜10连接，并通过管路30与第二过滤器22连通，且第一过滤器21的两侧分别设置有压力检测装置40，第二过滤器22的两侧也分别设置有压力检测装置40，第一过滤器21靠近混合釜的一侧为进料端211，第二过滤器22远离第一过滤器21的一侧为出料端221。
59.在使用过程中，控制器50根据每个压力检测装置40所获取的压力值，通过计算判断压力差是否在预设范围内，并发送电信号控制进气阀11和排气阀12，以控制物料的输送压力，保证物料的输送压力趋于稳定。
60.如图1和图2所示，在本技术的一些实施例中，可选地，进气阀11和排气阀12分别设置于混合釜10远离管路30的位置。
61.可以理解的是，物料的输送压力主要与自身重量以及进气阀11的进气压力有关，将进气阀11和排气阀12分别设置于混合釜10远离管路30的位置，使物料能够在进气阀11的进气压力和自身重力的共同驱动下向过滤器组件20输送，降低了过滤系统100的能量损耗、提高了物料的输送效率。
62.在本技术的一些实施例中，可选地，混合釜10上可设置透明观察窗，透明观察窗与混合釜10密封连接，保证混合釜10的密封性，透明观察窗的设置，使混合釜10具有可视性，便于工作人员观察混合釜10的内部情况，提高了过滤系统100的安全性。
63.如图3所示，在本技术的一些实施例中，可选地，过滤器组件20的出料端221通过管路30与混合釜10连通，出料端221与混合釜10之间的管路30上设置有循环泵70。
64.在使用过滤系统100时，混合釜10内的物料通过管路30向过滤器的进料端211输送，过滤器组件20对物料进行充分过滤后，从出料端221输出物料，循环泵70将出料端221输出的过滤后的物料重新输送到混合釜10内，继续进行过滤，重复以上动作，便实现了物料的循环过滤，循环过滤的次数可根据需要进行设置。
65.进一步地，循环泵70也可与控制器50电性连接，控制器50可根据压力检测装置40获取的物料的输送压力，控制循环泵70的功率，进而控制出料端221向混合釜10输送物料的流量，使过滤系统100控制精度更高，提高过滤系统100的过滤效果。
66.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任
一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
67.尽管上面已经示出和描述了本技术的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本技术的限制，本领域的普通技术人员在本技术的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。