涂布设备的制作方法

本技术涉及光电设备，特别涉及一种涂布设备。

背景技术：

1、现有技术中，制备钙钛矿薄膜的方法中的狭缝涂布工艺是现有惯用的制膜技术。对于狭缝涂布两步法来说，第一步是使用真空蒸发法来制备金属卤化物薄膜，有单一的薄膜，或几种混合物的薄膜，也可以是使用狭缝涂布以及刮涂这样的湿膜成膜法制备的金属卤化物薄膜。而第二步一般即为使用狭缝涂布以及线棒刮涂或刮刀这样的湿膜成膜法来制备大面积薄膜。

2、现阶段，两步法制备钙钛矿薄膜时，对于第一步的前驱体溶液，不管是旋涂还是刮涂对基底的浸润性要求都很高，制备的膜层很容易形成针孔，继而影响第二步的制膜，最终就会影响器件效率。而对于第二步涂布有机溶液也有其弊端，大面积制备钙钛矿薄膜时，有机溶液的粘度不高，使用的溶液挥发性较强，在涂布过程中，溶液的不均匀挥发会导致其中固溶质的漂移，导致第一步的金属卤化物预置层与第二步的有机材料不能形成均匀的反应，从而影响大面积成膜的均匀性。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型旨在提出一种涂布设备，以通过加热方式使得溶液挥发均匀，增加成膜的均匀性。

2、为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

3、一种涂布设备包括驱动部，设于所述驱动部动力输出端的支架，以及设于所述支架上的涂布单元和加热单元，且沿涂布方向，所述加热单元设于所述涂布单元的后侧；

4、所述加热单元包括设于所述支架上的玻璃管，设于所述玻璃管中的红外线灯管，以及设于在所述红外线灯管上方的反射单元。

5、进一步的，所述玻璃管的底部设有挡板，所述挡板设于所述玻璃管靠近所述涂布单元的一侧，并沿所述玻璃管的长度方向延伸设置。

6、进一步的，所述挡板为向所述涂布单元一侧拱出的拱形。

7、进一步的，所述反射单元包括连接在所述玻璃管上的反射板，所述反射板为向远离所述红外线灯管的方向拱出的拱形。

8、进一步的，所述反射板面向所述红外线灯管的一侧涂覆有金膜。

9、进一步的，所述反射板连接在所述玻璃管上。

10、进一步的，所述红外线灯管的波长在2um-4um之间，辐射强度在0.1w/cm2-5w/cm2之间。

11、进一步的，所述涂布单元具有狭缝涂布刀头。

12、进一步的，所述支架上设有升降单元，所述涂布单元和加热单元设于所述升降单元的升降端。

13、进一步的，所述支架具有相对布置的两个立柱，以及位于两个所述立柱之间的安装杆，所述安装杆的两端分别滑动插设所述立柱中，所述立柱设于所述驱动部的动力输出端；

14、所述升降单元包括设于所述立柱上的直线动力输出装置，所述安装杆设于所述直线动力输出装置的动力输出端。

15、相对于现有技术，本实用新型具有以下优势：

16、本实用新型所述的涂布设备，通过设置驱动部以驱使支架上的涂布单元沿基片的涂布方向进行狭缝涂布，并且通过在涂布单元后侧设置红外线灯管，以使涂布单元对配制好的溶液在刮涂过程中辐射加热。从而使得溶液挥发均匀，增加成膜的均匀性。且通过反射单元使红外线灯管的辐射方向一定，进一步保证刮涂效果。

17、通过设置升降单元，能够调节涂布单元与基板的距离，便于实施涂布工艺。通过在玻璃管的底部设有挡板，使该涂布设备具有更好的辐射效果。通过将挡板设置为拱形，以达到对玻璃管发射出的光源进行弧形反射效果。

18、通过反射板的设置能够形成对红外线光的聚集，使光线从反射板的缺口处外露而保证红外线的光能够实现定向辐射，提高辐射效果。此外，反射板设于靠近玻璃管内壁的一侧，并通过螺栓固定在玻璃管上，以便于更换。

技术特征：

1.一种涂布设备，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于：

3.根据权利要求2所述的涂布设备，其特征在于：

4.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的涂布设备，其特征在于：

6.根据权利要求4所述的涂布设备，其特征在于：

7.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于：

8.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于：

9.根据权利要求1至8中任一项所述的涂布设备，其特征在于：

10.根据权利要求9所述的涂布设备，其特征在于：

技术总结
本技术提供了一种涂布设备，本技术的涂布设备包括能够输出直线动力的驱动部，设于驱动部动力输出端的支架，以及设于支架上的涂布单元和加热单元，且沿涂布方向，加热单元设于涂布单元的后侧。加热单元包括设于支架上的玻璃管，设于玻璃管中的红外线灯管，以及设于在红外线灯管上方的反射单元。本技术的涂布设备，通过在涂布单元后侧设置加热单元，以使涂布单元对配制好的溶液在刮涂过程中辐射加热，从而使得溶液挥发均匀，增加成膜的均匀性。且通过反射单元使红外线灯管的辐射方向一定，进一步保证刮涂效果。

技术研发人员：王良乐,邵君,于振瑞
受保护的技术使用者：无锡极电光能科技有限公司
技术研发日：20221227
技术公布日：2024/1/12