一种无定型氟树脂在光掩膜板用防尘膜中的制备方法与流程

本发明属于氟树脂薄膜覆框，具体涉及一种无定型氟树脂在光掩膜板用防尘膜中的制备方法。

背景技术：

1、目前针对光掩膜板用防尘膜多是采用主料为无定型氟树脂进行制备处理。

2、目前大多使用日本agc cytop的薄膜，厚度在0.8-5μm。但是该种薄膜依然存在机械性能较差的技术问题，且常常由于薄膜厚度太薄造成无法覆框成型或是覆框成型时薄膜破裂的问题。

技术实现思路

1、本发明的第一目的在于提供一种无定型氟树脂在光掩膜板用防尘膜中的制备方法，该方法通过利用旋涂的方式，将氟树脂溶液制备得到厚度仅为0.5-5μm的薄膜，且氟树脂薄膜的透光率可达95％以上。

2、本发明的第二目的在于提供一种无定型氟树脂在光掩膜板用防尘膜中的制备方法，该方法中利用分段旋涂的方式，有助于制备得到厚度均一性高，厚度比较薄的薄膜。

3、本发明的第三目的在于提供一种无定型氟树脂在光掩膜板用防尘膜中的制备方法，该方法利用液体的张力将薄膜舒展开，然后利用气流装置进行分离使张紧框与薄膜贴合，不仅无需人工或是机器接触到薄膜，而且还分离高效，避免了薄膜破损或撕裂。

4、本发明通过以下技术方案实现：

5、一种无定型氟树脂在光掩膜板用防尘膜中的制备方法，包括如下步骤：

6、s1、选取无定型氟树脂粉干燥后与氟溶剂混匀至无定型氟树脂粉完全溶解，获得备用树脂溶液；

7、所述无定型氟树脂粉与氟溶剂的质量比为0.5-10:100；

8、s2、将上述获得的备用树脂溶液精细过滤后置于旋涂料装置中匀速搅拌后，滴在加热后的旋涂盘上，待树脂溶液覆盖到旋涂盘面积的1/2时，分别进行第一段速度旋涂处理、第二段速度旋涂处理后，继续烘烤20-25min；

9、s3、将上述烘烤完成的含有树脂溶液的旋涂盘继续置于110-180℃下烘烤30-35min，冷却后，进行超声脱模，获得无定型氟树脂膜；

10、s4、将获得的无定型氟树脂膜完全舒张开浮于水平液面上，利用气流装置去除膜表面的水珠；

11、使用支撑板从液面下进入与液面上的无定型氟树脂膜贴合，然后在无定型氟树脂膜另一面覆盖涂有压敏胶的张紧框，张紧框与无定型氟树脂膜粘接；

12、再利用气流装置分离开支撑板，获得含有无定型氟树脂膜的张紧框，真空烘干；

13、s5、将烘干完成的含有无定型氟树脂膜的张紧框置于张紧台进行张紧处理，之后利用涂有uv压敏胶的成品框与含有无定型氟树脂膜的张紧框压合粘接、整边、利用uv灯进行辐照固化处理、之后附镀抗静电层，获得成品。

14、上述该方法中对无定型氟树脂粉进行干燥的目的是，烘干树脂粉中的溶剂。

15、上述该方法中将无定型氟树脂粉与氟溶剂混合的反应原理为氟材料本身耐化学腐蚀性就非常好，利用相似相溶原理，通过使用氟溶剂将无定型氟树脂粉完全溶解后，树脂粉由固态转变成液体，制备的溶液才可用于旋涂。

16、上述该方法中加热旋涂盘的目的是溶剂烘干挥发，制得无定型氟膜。

17、上述该方法中在旋涂盘上滴加氟树脂溶液到盘面积的1/2，目的是让旋涂的薄膜更均匀。如果料少了旋涂时会因为离型力导致旋涂面覆盖不好，导致膜的厚度和尺寸残缺不均一。

18、上述该方法中使用分段旋涂处理的目的是，第一段速度是让溶液在旋涂面上均匀的摊开，第二段速度是将多余的树脂通过离型力甩出去，使得旋涂面上留有一层薄薄的溶液层，溶剂烘干后得到无定型氟树脂薄膜。

19、上述该方法中对于旋涂完成后分两次进行烘烤的目的是第一次烘干是将溶液中的溶剂烘干，第二次烘干是将膜上的残留纯净水烘干。

20、上述该方法中利用uv灯，进行辐照固化使胶水完全反应。

21、上述该方法所有流程均在恒温恒湿的无尘实验室中操作，且所有操作均配橡胶手套并且不能直接触碰薄膜，因为薄膜厚度极薄容易破损划伤。

22、作为优选地，所述步骤s1中，无定型氟树脂粉的干燥温度为100-105℃；干燥时长为1-2h。

23、作为优选地，所述步骤s1中，无定型氟树脂粉干燥后与氟溶剂混匀时，温度为90-110℃；混匀速率为100-500r/min。

24、上述该无定型氟树脂粉为氟类高聚合物，可以通过合成改性等技术手段使该无定型氟树脂薄膜可以做高透光和高透气的品类，也可以做高透光和不透气的品类。因为具有很低的表面能和高疏水效果，所以能起到很好的离型效果和防尘作用。

25、作为优选地，所述步骤s2中，精细过滤为4000-18000目。

26、上述进行精滤，防止溶液中存有还未完全溶解的树脂，未完全溶解开的树脂影响薄膜旋涂质量。

27、作为优选地，所述步骤s2中，匀速搅拌时温度为95-115℃。

28、作为优选地，所述步骤s2中，旋涂盘直径不低于50mm；

29、所述加热后的旋涂盘的温度为40-95℃。

30、作为优选地，所述步骤s2中，第一段速度旋涂处理为：在速率1000-1800r/min；旋涂时长为4-8s；

31、所述第二段速度旋涂处理为：在速率2800-6500r/min；旋涂时长为20-30s。

32、作为优选地，所述步骤s3中，支撑板为ptfe支撑板；

33、所述支撑板上设有多个直径小于0.1mm小孔。

34、作为优选地，所述步骤s4中，真空烘干的温度为45-50℃。

35、作为优选地，所述步骤s5中，张紧压力为0.01-0.3n。

36、与现有技术相比，本发明至少具有如下技术效果：

37、(一)本发明提供了一种无定型氟树脂在光掩膜板用防尘膜中的制备方法，该方法通过利用旋涂的方式，将氟树脂溶液制备得到厚度仅为0.5-5μm的薄膜，且氟树脂薄膜的透光率可达95％以上。

38、(二)该方法中使用分段旋涂处理的目的是，第一段速度是让溶液在旋涂面上均匀的摊开，第二段速度是将多余的树脂通过离型力甩出去，使得旋涂面上留有一层薄薄的溶液层，溶剂烘干后得到无定型氟树脂薄膜。

39、(三)该方法利用液体的张力将薄膜舒展开，然后利用气流装置进行分离使张紧框与薄膜贴合，不仅无需人工或是机器接触到薄膜，而且还分离高效，避免了薄膜破损或撕裂。同时镀了抗静电层，避免了由于薄膜静电吸附造成不易成型的问题。

40、(四)经过该方法制备得到的无定型氟树脂薄膜可以作为光掩膜板防尘罩使用。

技术特征：

1.一种无定型氟树脂在光掩膜板用防尘膜中的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种无定型氟树脂在光掩膜板用防尘膜中的制备方法，其特征在于，所述步骤s1中，无定型氟树脂粉的干燥温度为100-105℃；干燥时长为1-2h。

3.根据权利要求1所述的一种无定型氟树脂在光掩膜板用防尘膜中的制备方法，其特征在于，所述步骤s1中，无定型氟树脂粉干燥后与氟溶剂混匀时，温度为90-110℃；混匀速率为100-500r/min。

4.根据权利要求1所述的一种无定型氟树脂在光掩膜板用防尘膜中的制备方法，其特征在于，所述步骤s2中，精细过滤为4000-18000目。

5.根据权利要求1所述的一种无定型氟树脂在光掩膜板用防尘膜中的制备方法，其特征在于，所述步骤s2中，匀速搅拌时温度为95-115℃。

6.根据权利要求1所述的一种无定型氟树脂在光掩膜板用防尘膜中的制备方法，其特征在于，所述步骤s2中，旋涂盘直径不低于50mm；

7.根据权利要求1所述的一种无定型氟树脂在光掩膜板用防尘膜中的制备方法，其特征在于，所述步骤s2中，第一段速度旋涂处理为：在速率1000-1800r/min；旋涂时长为4-8s；

8.根据权利要求1所述的一种无定型氟树脂在光掩膜板用防尘膜中的制备方法，其特征在于，所述步骤s3中，支撑板为ptfe支撑板；

9.根据权利要求1所述的一种无定型氟树脂在光掩膜板用防尘膜中的制备方法，其特征在于，所述步骤s4中，真空烘干的温度为45-50℃。

10.根据权利要求1所述的一种无定型氟树脂在光掩膜板用防尘膜中的制备方法，其特征在于，所述步骤s5中，张紧压力为0.01-0.3n。

技术总结
本发明公开了一种无定型氟树脂在光掩膜板用防尘膜中的制备方法，属于氟树脂薄膜覆框技术领域。该方法通过利用旋涂的方式，将氟树脂溶液制备得到厚度仅为0.5‑5μm的薄膜，且氟树脂薄膜的透光率可达95％以上。利用液体的张力将薄膜舒展开，然后利用气流装置进行分离使张紧框与薄膜贴合，不仅无需人工或是机器接触到薄膜，而且还分离高效，避免了薄膜破损或撕裂。同时镀了抗静电层，避免了由于薄膜静电吸附造成不易成型的问题。制备得到的无定型氟树脂薄膜可以作为光掩膜板防尘膜使用。

技术研发人员：龙钟江
受保护的技术使用者：龙钟江
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15