一种有机溶剂回收处理装置的制作方法

本申请涉及半导体化学品设备，尤其涉及一种有机溶剂回收处理装置。

背景技术：

1、有机溶剂是一大类在生活和生产中广泛应用的有机化合物，分子量不大，它存在于涂料、粘合剂、漆和清洁剂中，经常使用有机溶剂如，苯乙烯、全氯乙烯、三氯乙烯、乙烯乙二醇醚和三乙醇胺等。

2、现有技术存在如下技术问题：在电子和半导体行业，有机溶剂的处理一直都比较困难，易燃易爆，储存运输都比较困难。

3、因此，提出一种有机溶剂回收处理装置。

技术实现思路

1、本申请实施例所要解决的技术问题在于，提供了一种有机溶剂回收处理装置，解决了在电子和半导体行业，有机溶剂的处理一直都比较困难，易燃易爆，储存运输都比较困难的问题，本申请为使用离子交换树脂来处理metal量及确认离子树脂的寿命。

2、为了解决上述技术问题，本申请实施例提出了一种有机溶剂回收处理装置，包括：

3、不锈钢管道、连接在不锈钢管道底端的ibc吨桶以及通过不锈钢连通管道连接的取样箱，所述不锈钢管道底端表面安装有球阀，所述不锈钢管道顶端与树脂填充柱底端固定连通，所述树脂填充柱内腔填充有离子交换树脂，所述树脂填充柱采用特氟龙材质制备而成，所述树脂填充柱顶端固定连通有不锈钢进液管道；

4、所述取样箱内放置有取样盒，所述取样箱顶端安装ffu，所述取样箱正侧顶部表面铰接有盖门，所述盖门表面固定连接有观察窗。

5、进一步地，所述不锈钢进液管道进液端侧表面安装有进液管道球阀，所述进液管道球阀左侧设置有安装在不锈钢进液管道表面的压力传感器，所述压力传感器左侧设置有安装在不锈钢进液管道侧表面的流量计。

6、进一步地，所述取样箱为sus316l材质，观察窗为防爆玻璃，所述取样盒采用特氟龙材质，所述观察窗采用防爆玻璃制成。

7、进一步地，所述取样箱底端左侧固定连通有排废管，所述排废管表面安装有排废管球阀。

8、进一步地，所述不锈钢管道、排废管、不锈钢进液管道以及不锈钢连通管道四者均采用sus316lep材质。

9、进一步地，所述不锈钢管道底端与ibc吨桶连接处侧表面安装有球阀，所述球阀位于不锈钢连通管道与不锈钢管道连通处底侧，所述不锈钢连通管道与不锈钢管道连通处顶侧设置有安装在不锈钢管道表面的电导率计。

10、本申请实施例通过离子交换树脂来处理溶剂，然后通过取样的方式进行分析，为保证取样箱的洁净度，取样箱上方有ffu，在此取样箱进行取样，并设置电导率计在线实时监测，用于确认离子交换树脂的使用寿命。

技术特征：

1.一种有机溶剂回收处理装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的一种有机溶剂回收处理装置，其特征在于，所述不锈钢进液管道进液端侧表面安装有进液管道球阀，所述进液管道球阀左侧设置有安装在不锈钢进液管道表面的压力传感器，所述压力传感器左侧设置有安装在不锈钢进液管道侧表面的流量计。

3.如权利要求1所述的一种有机溶剂回收处理装置，其特征在于，所述取样箱为sus316l材质，观察窗为防爆玻璃，所述取样盒采用特氟龙材质，所述观察窗采用防爆玻璃制成。

4.如权利要求1所述的一种有机溶剂回收处理装置，其特征在于，所述取样箱底端左侧固定连通有排废管，所述排废管表面安装有排废管球阀。

5.如权利要求1所述的一种有机溶剂回收处理装置，其特征在于，所述不锈钢管道、排废管、不锈钢进液管道以及不锈钢连通管道四者均采用sus316lep材质。

6.如权利要求1所述的一种有机溶剂回收处理装置，其特征在于，所述不锈钢管道底端与ibc吨桶连接处侧表面安装有球阀，所述球阀位于不锈钢连通管道与不锈钢管道连通处底侧，所述不锈钢连通管道与不锈钢管道连通处顶侧设置有安装在不锈钢管道表面的电导率计。

技术总结
本申请实施例提出一种有机溶剂回收处理装置，包括不锈钢管道、连接在不锈钢管道底端的IBC吨桶以及通过不锈钢连通管道连接的取样箱，所述不锈钢管道底端表面安装有球阀，所述不锈钢管道顶端与树脂填充柱底端固定连通，所述树脂填充柱内腔填充有离子交换树脂，所述树脂填充柱采用特氟龙材质制备而成，所述树脂填充柱顶端固定连通有不锈钢进液管道；所述取样箱内放置有取样盒，所述取样箱顶端安装FFU，所述取样箱正侧顶部表面铰接有盖门。通过离子交换树脂来处理溶剂，然后通过取样的方式进行分析，为保证取样箱的洁净度，取样箱上方有FFU，在此取样箱进行取样，并设置电导率计在线实时监测，用于确认离子交换树脂的使用寿命。

技术研发人员：程一刚,李亚飞
受保护的技术使用者：骏一（苏州）半导体科技有限公司
技术研发日：20230221
技术公布日：2024/1/12