除泡腔体感温模块的制作方法

本技术具体涉及一种除泡腔体感温模块。

背景技术：

1、在半导体行业的制程中，有一项工艺需要把胶水涂覆或喷射到电路板上，但胶水的胶水层中易出现气泡，影响产品质量，为了保证产品的质量胶水中出现的气泡必须要清除，因此需要用到除泡工艺和除泡设备，除泡设备的原理基本主要集中在对压力和温度的控制，腔体在进行除泡的过程中，需要调节腔内温度，且材料固化阶段往往要在较高温度下进行，为了保证其制程的高效实施，必须保证腔体内部良好的均温性；因此需要对腔体内的温度有精准的把控，腔体内的温度进行探测时，需要在腔内不同位置同时测量，才能保证温度的可靠性。

2、为了保证腔体的空间密闭性，通常是在腔门或腔壁某个位置进行打孔，安置一条感温线，但是一条感温线测量出的局域温度不足以用来表征腔体内均温，若又在腔壁不同位置打孔植入多条感温线，工作量大的同时也会影响腔体的密闭性，腔体存在漏气的可能，因此需要一种能减少开孔数量保证腔体密封性的同时又能布置多条感温线的装置。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题是，技术背景中提及的现有生产过程中腔体内少量的感温线无法准确均匀的测量腔体内温度及设置多条感温线增加工作量的同时也有导致腔体漏气情况的问题。

2、针对上述技术问题，提出一种除泡腔体感温模块；通过以下技术方案实现的：一种除泡腔体感温模块，包括安装杆和设置在安装杆上的感温线安装部，所述安装杆设置在腔体壁上，感温线安装部可拆卸设置在安装杆上，感温线设置在感温线安装部内，所述感温线安装部相对于安装杆的角度、数量和长度可调。

3、本实用新型中，利用设置在同一个安装杆内的多条感温线起到减少开孔数量的作用，减少工作量降低了腔体漏气风险的同时也实现了多条感温线的布置，设置在安装杆上角度、数量和长度可调的感温线安装部便于感温线安装的同时也可以通过感温线安装部调整安装杆内感温线的角度和长度，达到了只开设一个孔，感温线多处分布，均匀测温的效果，保证密封性的同时也保证了温度测量的准确性。

4、对本实用新型技术方案的优选，感温线安装部包括设置在安装杆上与安装杆连通的安装台和对安装台密封的密封塞，所述密封塞上设置有变形卡，所述感温线设置在变形卡内，变形卡的设置便于对设置在变形卡内的感温线进行角度的调整，便于感温线测量不同区域的温度，测量更准确。

5、对本实用新型技术方案的优选，变形卡由多个变形子卡组成，每两个相邻的变形子卡之间可拆卸铰接在一起，且两个变形子卡能沿铰接处可控旋转，可控旋转的设置便于对变形卡角度进行控制进而控制感温线的角度使用方便的同时也便于感温线测量腔体内不同区域的温度。

6、对本实用新型技术方案的优选，在变形子卡的铰接处的铰接面上设置有对变形子卡旋转限位的限位块，限位块的设置便于对变形卡的旋转进行限位，使用方便。

7、对本实用新型技术方案的优选，变形卡端部与密封塞接触的变形子卡固定在密封塞上，且与密封塞之间不会发生相对运动，这样的设置有效防止感温线在于密封塞接触处折断，保证了感温线的稳定运行。

8、对本实用新型技术方案的优选，感温线安装部在安装杆上设置有多个，这样的设置有效减少开孔量的同时还能尽可能多的设置感温线，使用方便，减小腔体漏气的可能。

9、对本实用新型技术方案的优选，在安装杆上设置有固定部，所述安装杆通过固定部设置在腔体壁上，固定部的设置便于安装杆的安装，使用方便。

10、对本实用新型技术方案的优选，固定部包括固定片、密封垫和锁紧螺母所述密封垫设置在固定片内，固定片分别设置在腔体的外壁和内壁处，并通过锁紧螺母对固定片进行锁紧，这样的设置有效防止腔体从固定片处漏气保证了腔体的密封性。

11、对本实用新型技术方案的优选，在固定片和锁紧螺母接触面上设置有对锁紧螺母进行密封的密封环，这样的设置有效防止腔体从锁紧螺母处漏气进一步加强了腔体的密封性。

12、本实用新型与现有技术相比具有的有益效果是：

13、本实用新型的技术方案，利用设置在同一个安装杆内的多条感温线起到减少开孔数量的作用，减少工作量降低了腔体漏气风险的同时也实现了多条感温线的布置，设置在安装杆上角度、数量和长度可调的感温线安装部便于感温线安装的同时也可以通过感温线安装部调整安装杆内感温线的角度和长度，达到了只开设一个孔，感温线多处分布，均匀测温的效果，保证密封性的同时也保证了温度测量的准确性。

技术特征：

1.一种除泡腔体感温模块，其特征在于：包括安装杆（1）和设置在安装杆（1）上的感温线安装部（2），所述安装杆（1）设置在腔体壁上，感温线安装部（2）可拆卸设置在安装杆（1）上，感温线设置在感温线安装部（2）内，所述感温线安装部（2）相对于安装杆（1）的角度、数量和长度可调。

2.根据权利要求1所述的一种除泡腔体感温模块，其特征在于：感温线安装部（2）包括设置在安装杆（1）上与安装杆（1）连通的安装台（21）和对安装台（21）密封的密封塞（22），所述密封塞（22）上设置有变形卡（23），所述感温线设置在变形卡（23）内。

3.根据权利要求2所述的一种除泡腔体感温模块，其特征在于：变形卡（23）由多个变形子卡（26）组成，每两个相邻的变形子卡（26）之间可拆卸铰接在一起，且两个变形子卡（26）能沿铰接处可控旋转。

4.根据权利要求3所述的一种除泡腔体感温模块，其特征在于：在变形子卡（26）的铰接处的铰接面上设置有对变形子卡（26）旋转限位的限位块（27）。

5.根据权利要求3所述的一种除泡腔体感温模块，其特征在于：变形卡（23）端部与密封塞（22）接触的变形子卡（26）固定在密封塞（22）上，且与密封塞（22）之间不会发生相对运动。

6.根据权利要求1所述的一种除泡腔体感温模块，其特征在于：感温线安装部（2）在安装杆（1）上设置有多个。

7.根据权利要求1所述的一种除泡腔体感温模块，其特征在于：在安装杆（1）上设置有固定部（3），所述安装杆（1）通过固定部（3）设置在腔体壁上。

8.根据权利要求7所述的一种除泡腔体感温模块，其特征在于：固定部（3）包括固定片（31）、密封垫（32）和锁紧螺母（34）所述密封垫（32）设置在固定片（31）内，固定片（31）分别设置在腔体的外壁和内壁处，并通过锁紧螺母（34）对固定片（31）进行锁紧。

9.根据权利要求8所述的一种除泡腔体感温模块，其特征在于：在固定片（31）和锁紧螺母（34）接触面上设置有对锁紧螺母（34）进行密封的密封环（33）。

技术总结
本技术公开了一种除泡腔体感温模块，包括安装杆和设置在安装杆上的感温线安装部，所述安装杆设置在腔体壁上，感温线安装部可拆卸设置在安装杆上，感温线设置在感温线安装部内，所述感温线安装部相对于安装杆的角度、数量和长度可调。优点，利用设置在同一个安装杆内的多条感温线起到减少开孔数量的作用，减少工作量降低了腔体漏气风险的同时也实现了多条感温线的布置，设置在安装杆上角度、数量和长度可调的感温线安装部便于感温线安装的同时也可以通过感温线安装部调整安装杆内感温线的角度和长度，达到了只开设一个孔，感温线多处分布，均匀测温的效果，保证密封性的同时也保证了温度测量的准确性。

技术研发人员：张景南,巫碧勤,陈明展
受保护的技术使用者：南京屹立芯创半导体科技有限公司
技术研发日：20230616
技术公布日：2024/1/15