一种化学气相沉积炉用尾气过滤装置的制作方法

本技术涉及气相沉积，尤其涉及一种化学气相沉积炉用尾气过滤装置。

背景技术：

1、化学气相沉积法是采用气体物质，在真空、高温下发生化学反应，沉积到固体衬体上生成产品的方法，其在过程中会产生尾气，为由于部分化学成分的气体未被完全沉积，部分化学气体会混合在尾气内，因此需要对尾气进行过滤处理。

2、现有技术利用水环泵作为真空装置前级泵，采用水吸收掉生产尾气中的酸性气体，但是需要消耗大量水资源，同时尾气中酸性气体溶于水会产生酸腐蚀，对设备造成损伤。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种化学气相沉积炉用尾气过滤装置，以解决上述背景技术中的问题。

2、本实用新型的目的采用以下技术方案实现：

3、一种化学气相沉积炉用尾气过滤装置，包括液环泵、储油箱和喷淋塔，所述液环泵的出油口通过管道与所述储油箱相连接，所述储油箱的出油口与所述液环泵的进油口相连接，所述液环泵与所述储油箱构成一个循环系统，所述储油箱的排气口通过管道与所述喷淋塔相连接。

4、优选地，所述储油箱内设置有油气分离装置。

5、优选地，所述喷淋塔的出气口连接设有引风机。

6、优选地，所述喷淋塔中加入碱性物质。

7、相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：

8、1、本实用新型简单合理，通过液环泵与储油箱形成一个循环系统，将液环泵的循环介质由水改为了油，节约了大量水资源，由于装置中没有水分，尾气中的酸性气体会直接在储油箱中分离，通过排气口进入喷淋塔中吸收中和，避免了使用水做循环介质产生的酸腐蚀，减少对化学气相沉积设备的损伤。

9、2、由于油的饱和蒸气压远低于水的饱和蒸气压，使用油作为循环介质时，可以有效提升液环泵的抽真空效果。

技术特征：

1.一种化学气相沉积炉用尾气过滤装置，包括液环泵、储油箱和喷淋塔，其特征在于，所述液环泵的出油口通过管道与所述储油箱相连接，所述储油箱的出油口与所述液环泵的进油口相连接，所述液环泵与所述储油箱构成一个循环系统，所述储油箱的排气口通过管道与所述喷淋塔相连接。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉用尾气过滤装置，其特征在于，所述储油箱内设置有油气分离装置。

3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉用尾气过滤装置，其特征在于，所述喷淋塔的出气口连接设有引风机。

4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉用尾气过滤装置，其特征在于，所述喷淋塔中加入碱性物质。

技术总结
本技术公开了一种化学气相沉积炉用尾气过滤装置，包括液环泵、储油箱和喷淋塔，所述液环泵的出油口通过管道与所述储油箱相连接，所述储油箱的出油口与所述液环泵的进油口相连接，所述液环泵与所述储油箱构成一个循环系统，所述储油箱的排气口通过管道与所述喷淋塔相连接。本技术简单合理，通过液环泵与储油箱形成一个循环系统，将液环泵的循环戒指由水改为了油，节约了大量水资源，由于装置中没有水分，尾气中的酸性气体会直接在储油箱中分离，通过排气口进入喷淋塔中吸收中和，避免了使用水做循环介质产生的酸腐蚀，减少对化学气相沉积设备的损伤。

技术研发人员：李应新,袁治军,李畅,陈克剑
受保护的技术使用者：株洲瑞德尔智能装备有限公司
技术研发日：20230804
技术公布日：2024/2/29