烘烤装置的制作方法

本技术涉及半导体制造，特别涉及一种烘烤装置。

背景技术：

1、旋转涂胶后的晶圆通常要在热板上进行烘烤，以去除胶膜上的溶剂，并使之更好地粘附在晶圆上。常见的烘烤装置由内嵌加热丝的金属圆盘构成，该种烘烤装置的结构复杂，需要在热板本体上加工沟槽以嵌入加热丝，在加热丝嵌入之后还需要填平沟槽和焊接加热丝，烘烤装置的生产工艺复杂，导致烘烤装置的制造难度大。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种烘烤装置，能够降低烘烤装置的制造难度。

2、根据本实用新型的第一方面实施例的烘烤装置，包括热板本体、加热片、固定件及连接结构，所述热板本体具有烘烤面，所述烘烤面用于烘烤晶圆，所述固定件与所述热板本体连接，所述加热片夹设于所述热板本体与所述固定件之间，所述连接结构设于所述热板本体与所述固定件之间，所述连接结构用于使所述固定件固定所述加热片。

3、根据本实用新型的第一方面实施例的烘烤装置，至少具有如下有益效果：

4、制造烘烤装置时，将热板本体、加热片及固定件依次堆叠设置，通过连接结构将固定件固定在热板本体上，即可完成烘烤装置的生产制造，加热片加热时产生的热量能够传递至烘烤面，以烘烤晶圆，从而去除晶圆的胶膜上的溶剂，能够摒弃传统地在热板本体设置沟槽以嵌入加热丝的制造方式，无需填平沟槽和焊接加热丝，能够简化烘烤装置的生产工艺，从而降低烘烤装置的生产制造难度。

5、根据本实用新型的一些实施例,还包括隔热件，所述隔热件夹设于所述加热片与所述固定件之间。

6、根据本实用新型的一些实施例,还包括导热件，所述导热件的一侧与所述加热片贴合，所述导热件的相对的另一侧与所述热板本体背离所述烘烤面的表面贴合。

7、根据本实用新型的一些实施例,所述导热件和所述加热片均配置多个，多个所述导热件和多个所述加热片依次交错设置。

8、根据本实用新型的一些实施例,所述连接结构包括紧固件，所述紧固件穿设于所述固定件，并与所述热板本体螺纹连接。

9、根据本实用新型的一些实施例,还包括测温组件，所述测温组件与所述热板本体连接，以检测所述热板本体的温度。

10、根据本实用新型的一些实施例,还包括顶针组件，所述顶针组件具有顶推端，所述顶推端用于顶推所述晶圆，所述顶针组件可移动地穿设于所述热板本体，以使所述顶推端沿靠近或远离所述烘烤面的方向移动。

11、根据本实用新型的一些实施例,所述顶针组件包括顶针本体和与所述顶针本体连接的连接件，所述顶推端设于所述顶针本体，所述顶针本体穿设于所述热板本体，所述连接件用于与动力机构连接。

12、根据本实用新型的一些实施例,还包括调节件，所述调节件具有用于支撑所述晶圆的支撑面，所述调节件与所述热板本体之间设有调节结构，所述调节结构用于调节所述支撑面沿靠近或远离所述烘烤面的方向移动。

13、根据本实用新型的一些实施例,所述调节结构包括设于所述调节件的螺纹部和设于所述烘烤面的第一螺纹孔，所述螺纹部与所述第一螺纹孔螺纹配合。

14、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.一种烘烤装置,其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，还包括隔热件(400)，所述隔热件(400)夹设于所述加热片(300)与所述固定件(200)之间。

3.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，还包括导热件(500)，所述导热件(500)的一侧与所述加热片(300)贴合，所述导热件(500)的相对的另一侧与所述热板本体(100)背离所述烘烤面(110)的表面贴合。

4.根据权利要求3所述的烘烤装置，其特征在于，所述导热件(500)和所述加热片(300)均配置多个，多个所述导热件(500)和多个所述加热片(300)依次交错设置。

5.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，所述连接结构包括紧固件(600)，所述紧固件(600)穿设于所述固定件(200)，并与所述热板本体(100)螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，还包括测温组件(700)，所述测温组件(700)与所述热板本体(100)连接，以检测所述热板本体(100)的温度。

7.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，还包括顶针组件(810)，所述顶针组件(810)具有顶推端，所述顶推端用于顶推所述晶圆(900)，所述顶针组件(810)可移动地穿设于所述热板本体(100)，以使所述顶推端沿靠近或远离所述烘烤面(110)的方向移动。

8.根据权利要求7所述的烘烤装置，其特征在于，所述顶针组件(810)包括顶针本体(811)和与所述顶针本体(811)连接的连接件(812)，所述顶推端设于所述顶针本体(811)，所述顶针本体(811)穿设于所述热板本体(100)，所述连接件(812)用于与动力机构连接。

9.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，还包括调节件(820)，所述调节件(820)具有用于支撑所述晶圆(900)的支撑面(821)，所述调节件(820)与所述热板本体(100)之间设有调节结构，所述调节结构用于调节所述支撑面(821)沿靠近或远离所述烘烤面(110)的方向移动。

10.根据权利要求9所述的烘烤装置，其特征在于，所述调节结构包括设于所述调节件(820)的螺纹部和设于所述烘烤面(110)的第一螺纹孔(120)，所述螺纹部与所述第一螺纹孔(120)螺纹配合。

技术总结
本技术公开了一种烘烤装置，包括热板本体、加热片、固定件及连接结构，热板本体具有烘烤面，烘烤面用于烘烤晶圆，固定件与热板本体连接，加热片夹设于固定件与热板本体之间，连接结构设于热板本体与固定件之间，连接结构用于固定固定件，如此，通过设置加热片，能够摒弃传统地在热板本体设置沟槽以嵌入加热丝的制造方式，无需填平沟槽和焊接加热丝，能够简化烘烤装置的生产工艺，从而降低烘烤装置的生产制造难度。

技术研发人员：汪睿,陈万群,常健伟,成春荣,江民荣
受保护的技术使用者：迈为技术（珠海）有限公司
技术研发日：20230922
技术公布日：2024/5/20