一种线切砂浆配制时用的除尘净化装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于半导体晶片或太阳能方片制造技术领域，主要涉及一种线切砂浆配制时用的除尘净化装置。
【背景技术】
[0002]半导体晶片以及太阳能方片在有晶棒切割成一片一片的晶片时，常用线切割设备切割。线切割的切割原理主要是刚线高速往复运动、并通过附着在刚线上的碳化硅砂浆来对晶棒进行切割，该工艺中所用到的碳化硅砂浆主要是有碳化硅和悬浮剂(或叫切割液)按比例配置而成。在配置砂浆过程中，将袋子中的碳化硅往砂浆配置罐倾倒时极易起尘。目前很多厂家在配置砂浆时，没有采取有效的措施，导致配置房间内粉尘飞扬；即使有些厂家采取了措施，但没有经过有效处理，导致大量碳化硅颗粒(平均粒径8-10 μ m)随着排风系统排到大气中。这样，不仅导致车间脏，还对员工的健康极为不利，同时大量碳化硅颗粒排到大气中对环境如PM2.5污染严重。
【实用新型内容】
[0003]为解决上述技术问题，本实用新型提供一种线切砂浆配制时用的除尘净化装置，该装置能够有效地解决砂浆配置过程的粉尘飞扬，大大改善车间的卫生状况，降低对人员健康的伤害，同时排入到大气中的气体对环境无污染。
[0004]本实用新型所采用的技术方案是:一种线切砂浆配制时用的除尘净化装置，包括风橱、进风管、过滤腔室和出风管，所述风橱为喇叭状筒体，风橱的大径端设置在砂浆配制房内的砂浆配制桶正上方，风橱的小径端通过进风管连通至过滤腔室的进风口，过滤腔室内设置有多个滤芯，过滤腔室顶部的出气口处连接出风管，出风管上设有变频离心风机，出风管的末端设有风帽，所述过滤腔室的底部连接有锥形导流筒，锥形导流筒的底部通过快脱卡箍连接收尘筒，收尘筒内设有收尘垃圾袋。
[0005]进一步优化，所述的过滤腔室通过支架支撑设置。
[0006]进一步优化，所述的出风管具有两个支管，支管上分别设有变频离心风机。
[0007]进一步优化，所述的过滤腔室、出风管、锥形导流筒和收尘筒设置在砂浆配制房的房顶上。
[0008]与现有技术相比，本实用新型至少具有下述优点及有益效果:
[0009]本实用新型提供的线切砂浆配制过程用除尘净化装置，有效地解决了砂浆配置过程中粉尘飞扬的问题，从而大大改善了车间的卫生状况，也大大降低对人员健康的伤害，同时经过净化后的气体排入到大气中对环境无污染，基本上解决了环境污染的问题，该实用新型装置的处理效率达99.5%以上。本实用新型结构简单、安全、稳定、可靠、环保。
【附图说明】
[0010]图1为为本实用新型的结构示意图；
[0011]附图标记:1、风橱，2、进风管，3、进风口，4、过滤腔室，5、出气口，6、出风管，7、滤芯，8、变频离心风机，9、风帽，10、锥形导流筒，11、快脱卡箍，12、收尘筒，13、支架。
【具体实施方式】
[0012]为使本实用新型的内容更明显易懂，以下结合具体实施例，对本实用新型进行详细描述。
[0013]如图所示，一种线切砂浆配制时用的除尘净化装置，包括风橱1、进风管2、过滤腔室4和出风管6，所述风橱I为喇叭状筒体，风橱I的大径端设置在砂浆配制房内的砂浆配制桶正上方，风橱I的小径端通过进风管2连通至过滤腔室4的进风口 3，过滤腔室4内设置有多个滤芯7，过滤腔室4顶部的出气口 5处连接出风管6，出风管6上设有变频离心风机8，出风管6的末端设有风帽9，所述过滤腔室4的底部连接有锥形导流筒10，锥形导流筒10的底部通过快脱卡箍11连接收尘筒12，收尘筒12内设有收尘垃圾袋。
[0014]为了使本实用新型具有更好的使用效果，所述的过滤腔室4通过支架13支撑设置。所述的出风管6具有两个支管，支管上分别设有变频离心风机8。所述的过滤腔室4、出风管6、锥形导流筒10和收尘筒12设置在砂浆配制房的房顶上。
[0015]本技术方案中，风厨I的结构可以采用截面呈矩形的喇叭状，其大小根据砂浆配置桶个数而定；若并排放置4至6个砂浆配置桶，其风厨I大小可以做成长6m、宽1.5m左右，材质选用不锈钢304或镀锌板均可。滤芯7的选择与碳化硅颗粒粒径有关。变频离心风机8、进风管2等的选择与风厨I下的砂浆配置桶个数、风管走向布局、滤芯目数等有关，若风厨I下有4个砂浆桶，变频离心风机8风量可按3800m3/h左右选用、进风管2和出风管6可选直径为300mm的PP管，同时变频离心风机8有2个，一用一备。收尘筒12的接口处有快脱卡箍11，收尘筒12内套有垃圾袋，当垃圾袋中的碳化硅粉尘收满时，通过快脱卡箍11很方便更换，收尘筒12大小可根据垃圾袋更换周期而定，如想一个月左右更换一次，可做成直径和高均为600_左右即可。风帽9的作用是防止下雨天雨水进入到排风管中，锥形导流筒10的作用是便于过滤掉的碳化硅颗粒流入到收尘筒内。
[0016]本实用新型装置的控制单元安装在砂浆配置房间内。当要配置砂浆时，通过房间内的控制单元启动变频离心风机8，带有大量碳化娃颗粒的粉尘会通过风厨I被抽入到屋顶的除尘净化单元内，碳化硅颗粒经过滤芯7过滤，沿着锥形导流筒10进入到收尘筒12内，过滤后的气体经过变频离心风机8随着出风管6道排入到大气中。砂浆配置结束后，为了省电可关闭该装置。使用过程中，可根据实际情况调整变频离心风机8的频率从而调整风量。该实用新型装置只需定期更换滤芯7、收尘筒12内的垃圾袋即可。实践证明，该实用新型装置的处理效率达99.5%以上。
[0017]本实用新型所列举的技术方案和实施方式并非是限制，与本实用新型所列举的技术方案和实施方式等同或者效果相同方案都在本实用新型所保护的范围内。
【主权项】
1.一种线切砂浆配制时用的除尘净化装置，其特征在于:包括风橱(I)、进风管(2)、过滤腔室(4)和出风管(6)，所述风橱(I)为喇叭状筒体，风橱(I)的大径端设置在砂浆配制房内的砂浆配制桶正上方，风橱(I)的小径端通过进风管(2)连通至过滤腔室(4)的进风口( 3 )，过滤腔室(4 )内设置有多个滤芯(7 )，过滤腔室(4 )顶部的出气口( 5 )处连接出风管(6)，出风管(6)上设有变频离心风机(8)，出风管(6)的末端设有风帽(9)，所述过滤腔室(4)的底部连接有锥形导流筒(10)，锥形导流筒(10)的底部通过快脱卡箍(11)连接收尘筒(12)，收尘筒(12)内设有收尘垃圾袋。2.如权利要求1所述的一种线切砂浆配制时用的除尘净化装置，其特征在于:所述的过滤腔室(4 )通过支架(13 )支撑设置。3.如权利要求1所述的一种线切砂浆配制时用的除尘净化装置，其特征在于:所述的出风管(6 )具有两个支管，支管上分别设有变频离心风机(8 )。4.如权利要求1所述的一种线切砂浆配制时用的除尘净化装置，其特征在于:所述的过滤腔室(4)、出风管(6)、锥形导流筒(10)和收尘筒(12)设置在砂浆配制房的房顶上。
【专利摘要】本实用新型公开一种线切砂浆配制时用的除尘净化装置，包括风橱、进风管、过滤腔室和出风管，所述风橱为喇叭状筒体，风橱的大径端设置在砂浆配制房内的砂浆配制桶正上方，风橱的小径端通过进风管连通至过滤腔室的进风口，过滤腔室内设置有多个滤芯，过滤腔室顶部的出气口处连接出风管，出风管上设有变频离心风机，出风管的末端设有风帽，所述过滤腔室的底部连接有锥形导流筒，锥形导流筒的底部通过快脱卡箍连接收尘筒，收尘筒内设有收尘垃圾袋。本实用新型提能够有效地解决砂浆配置过程的粉尘飞扬，大大改善车间的卫生状况，降低对人员健康的伤害，同时排入到大气中的气体对环境无污染。
【IPC分类】B01D46/00
【公开号】CN204816003
【申请号】CN201520610679
【发明人】史舸, 李战国, 田志峰, 杨波, 陈卫群
【申请人】麦斯克电子材料有限公司
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年8月14日