一种带有一体化成型机构的靶材生产设备的制作方法

1.本技术涉及芯片技术生产设备技术领域，更具体地，涉及一种带有一体化成型机构的靶材生产设备。


背景技术：

2.高品质刀具用镀膜靶材组织大角度晶界、小角度晶界含量控制，使其应用性大大提高。涂层刀具是在强度和韧性较好的硬质合金或高速钢(hss)基体表面上，利用气相沉积方法涂覆一薄层耐磨性好的难熔金属或非金属化合物， (也可涂覆在陶瓷、金刚石和立方氮化硼等超硬材料刀片上)而获得的。涂层作为一个化学屏障和热屏障，减少了刀具与工件间的扩散和化学反应，从而减少了月牙槽磨损。涂层刀具具有表面硬度高、耐磨性好、化学性能稳定、耐热耐氧化、摩擦因数小和热导率低等特性，在靶材的制作中需要使得原料粉末粒度匹配合理，靶材组织均匀，无明显偏析现象，所以在上料时需要在靶材制造设备上增设原料筛选结构，且现有的制造设备需要人工进行上料，上料效率非常慢，故而这里提出一种带有一体化成型机构的靶材生产设备来解决上述问题。


技术实现要素：

3.鉴于上述问题，本技术提出了一种带有一体化成型机构的靶材生产设备，以改善上述问题。
4.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种带有一体化成型机构的靶材生产设备，包括安装柱，所述安装柱的顶部固定安装有安装板，所述安装板底部的右侧固定安装有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出轴上固定套接有驱动轮，所述驱动轮的外表面传动连接有履带，所述履带内腔的左侧传动连接有联动轮，所述联动轮的中部开设有固定孔，所述联动轮中部开设的固定孔中固定套接有丝杠，所述丝杠的外表面螺纹连接有第一驱动块，所述第一驱动块的右表面固定安装有限位滑轮，所述第一驱动块左端的前后两侧均固定安装有滑块，所述滑块的外表面活动套接有上料箱，所述第一驱动块的左端固定安装有上料板，所述上料箱左表面的上侧开设有安装槽，所述上料箱左表面上侧开设的安装槽中固定套接有上料过仓。
5.可选的，所述驱动轮与联动轮的外表面开设有限位槽，所述履带传动连接在驱动轮与联动轮外表面开设的限位槽中。
6.可选的，所述安装柱的正面与背面均开设有滑槽，所述限位滑轮处于安装柱正面与背面开设的滑槽中。
7.可选的，所述滑块的形状为t形，所述上料箱内腔开设有与滑块相适配的滑槽，所述滑块活动套接在上料箱内部开设的滑槽，所述。左表面的下侧安装有上料门。
8.可选的，所述上料过仓左端的正下方设置有筛选箱，所述筛选箱的左表面固定安装有第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出轴上固定套接有转杆，所述转杆外表面的右端固定套接有偏心轮，所述转杆外表面的中部固定套接有第二驱动块，所述第二驱动块的
左右两侧和下侧均固定安装有震动弹簧，所述震动弹簧的另一端固定连接有震动架，所述震动架的下侧设置有筛选床，所述筛选箱的下侧设置有制造设备。
9.可选的，所述震动架上表面的右侧开设有驱动槽，所述震动架上表面开设的驱动槽为弧形。
10.本技术提供的一种带有一体化成型机构的靶材生产设备，具备以下有益效果：
11.1、本技术通过启动第一伺服电机，能够使得驱动轮进行转动，从而带动联动轮对丝杠进行转动，使得进行上下运动，进而通过滑块、上料箱、上料板、上料过仓之间相互配合，能够将制造原料送到预定上料位置，可以大大的提高上料效率。
12.2、本技术通过启动第二伺服电机，能够使得转杆带动偏心轮转动，从而对第二驱动块进行驱动，使得震动架发生震动，进而实现筛选床产生震动，对筛选床上侧的原料进行筛选，使得合格的原料才能够进入制造设备的中，大大的提高了该装置制造的靶材质量。
附图说明
13.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
14.图1示出了本技术侧视结构示意图；
15.图2示出了本技术筛选箱内部立体结构示意图；
16.图3示出了本技术上料箱内部立体结构示意图；
17.图4示出了本技术驱动轮处立体爆炸结构示意图；
18.图5示出了本技术偏心轮处立体爆炸结构示意图。
19.图中：1、安装柱；2、安装板；3、第一伺服电机；4、驱动轮；5、履带； 6、联动轮；7、丝杠；8、第一驱动块；9、限位滑轮；10、滑块；11、上料箱；12、上料板；13、上料过仓；14、筛选箱；15、第二伺服电机；16、转杆；17、偏心轮；18、第二驱动块；19、震动弹簧；20、震动架；21、筛选床；22、制造设备；23、上料门。
具体实施方式
20.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
21.请参阅图1、图2和图3，本实用新型提供一种技术方案：一种带有一体化成型机构的靶材生产设备，包括安装柱1，安装柱1的正面与背面均开设有滑槽，限位滑轮9处于安装柱1正面与背面开设的滑槽中，利用限位滑轮9能够对8进行限位，使得8可以在进行上下移动过程中更加的稳定，安装柱1的顶部固定安装有安装板2，安装板2底部的右侧固定安装有第一伺服电机3，第一伺服电机3的输出轴上固定套接有驱动轮4，驱动轮4与联动轮6的外表面开设有限位槽，履带5传动连接在驱动轮4与联动轮6外表面开设的限位槽中，利用驱动轮4与联动轮6表面开设的限位槽，能够对履带5进行限位，使得联动轮6能够更加稳固的进行
驱动，驱动轮4的外表面传动连接有履带5，履带5内腔的左侧传动连接有联动轮6，联动轮6的中部开设有固定孔，联动轮6中部开设的固定孔中固定套接有丝杠7，丝杠7的外表面螺纹连接有第一驱动块8，第一驱动块8的右表面固定安装有限位滑轮9，第一驱动块8左端的前后两侧均固定安装有滑块 10，滑块10的外表面活动套接有上料箱11，第一驱动块8的左端固定安装有上料板12，通过启动第一伺服电机3，能够使得驱动轮4进行转动，从而带动联动轮6对丝杠7进行转动，使得第一驱动块8进行上下运动，上料板12向上移动，由于上料板12向左下侧倾斜安装，能够将制造原料送到预定上料位置，可以大大的提高上料效率，上料箱11左表面的上侧开设有安装槽，上料箱11左表面上侧开设的安装槽中固定套接有上料过仓 13。
22.请参阅图4，滑块10的形状为t形，上料箱11内腔开设有与滑块10 相适配的滑槽，滑块10活动套接在上料箱11内部开设的滑槽，料箱11 左表面的下侧安装有上料门23，可以提高滑块10与上料箱11之间的接触面积，从而使得第一驱动块8与上料箱11之间连接的更加紧密，大大的提高了该装置的整体性。
23.请参阅图2和图5，上料过仓13左端的正下方设置有筛选箱14，筛选箱14的左表面固定安装有第二伺服电机15，第二伺服电机15的输出轴上固定套接有转杆16，转杆16外表面的右端固定套接有偏心轮17，转杆16 外表面的中部固定套接有第二驱动块18，第二驱动块18的左右两侧和下侧均固定安装有震动弹簧19，震动弹簧19的另一端固定连接有震动架20，震动架20上表面的右侧开设有驱动槽，震动架20上表面开设的驱动槽为弧形，能够降低震动架20与偏心轮17之间的摩擦力，减小偏心轮17与震动架20之间的磨损，提高偏心轮17与震动架20的使用寿命，震动架20 的下侧设置有筛选床21，筛选箱14的下侧设置有制造设备22，通过第二伺服电机15，能够使得转杆16带动偏心轮17转动，可以使得震动架20 对筛选床21产生震动，进而可以对筛选床21上侧的原料进行筛选，使得合格的原料才能够进入制造设备22的中，能够有效的避免不合格的原料进入制造设备22中。
24.综上所述，本技术提供的一种带有一体化成型机构的靶材生产设备，在使用时，首先工作人员需要将原料放置在上料板12上侧，然后关闭上料门23，接着启动第一伺服电机3，能够使得驱动轮4进行转动，从而带动联动轮6对丝杠7进行转动，使得第一驱动块8进行上下运动，利用第一驱动块8能够带动上料板12向上移动，当上料板12移动至上料过仓13处时，上料板12上表面的原料会进入上料过仓13的内腔中，接着原料到筛选床21的上表面，然后启动第二伺服电机15，能够使得转杆16带动偏心轮17转动，从而对第二驱动块18进行驱动，使得震动架20发生震动，进而实现筛选床21产生震动，对筛选床21上侧的原料进行筛选，使得合格的原料才能够进入制造设备22的中，如此即可。
25.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不驱使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的精神和范围。