1.一种微机电泵的制造方法,其特征在于,包含以下步骤:
(a)提供一第一基板,将该第一基板薄化至一第一厚度;
(b)于该第一基板形成一第一氧化层,且该第一基板蚀刻出至少一进气孔;
(c)提供一第二基板,将该第二基板薄化至一第二厚度;
(d)于该第二基板形成一第二氧化层,并于该第二基板上蚀刻出一穿孔;
(e)将该第二基板结合至该第一基板,且该第一氧化层位于该第一基板与该第二基板之间,该进气孔与该穿孔错位;
(f)提供一第三基板,将该第三基板薄化至一第三厚度,以及于该第三基板蚀刻出多个气体通道;
(g)于该第三基板设置一压电组件;
(h)将该第三基板结合至该第二基板,且该第二氧化层位于该第二基板与该第三基板之间,该气体通道与该穿孔错位。
2.如权利要求1所述的微机电泵的制造方法,其特征在于,步骤(b)更包含于该第一氧化层蚀刻出至少一进气流道及一汇流腔室,该进气流道的一端与该汇流腔室相通,该进气流道的另一端与该进气孔相通。
3.如权利要求1所述的微机电泵的制造方法,其特征在于,步骤(d)更包含于该第二氧化层蚀刻出一气体腔室。
4.如权利要求1所述的微机电泵的制造方法,其特征在于,步骤(g)包含有以下步骤:
(g1)沉积一下电极层;
(g2)于该下电极层上沉积一压电层;
(g3)于该压电层的部分与该下电极层的部分沉积一绝缘层;及
(g4)于该压电层未沉积该绝缘层的区域上沉积一上电极层,该上电极层与该压电层电性连接。
5.权利要求4所述的微机电泵的制造方法,其特征在于,步骤(g)系以一物理气相沉积制程进行沉积。
6.权利要求4所述的微机电泵的制造方法,其特征在于,步骤(g)系以一化学气相沉积制程进行沉积。
7.权利要求4所述的微机电泵的制造方法,其特征在于,步骤(g2)系以一溶胶凝胶法制程进行沉积。
8.如权利要求1项所述的微机电泵的制造方法,其特征在于,该第一基板的该进气孔由蚀刻形成锥形。
9.如权利要求1项所述的微机电泵的制造方法,其特征在于,该第一基板、该第二基板及该第三基板皆通过研磨制程分别薄化至该第一厚度、该第二厚度及该第三厚度。
10.如权利要求1所述的微机电泵的制造方法,其特征在于,该第一厚度大于该第三厚度,该第三厚度大于该第二厚度。
11.如权利要求1所述的微机电泵的制造方法,其特征在于,该第一氧化层的厚度大于该第二氧化层的厚度。
12.如权利要求1所述的微机电泵的制造方法,其特征在于,该第一基板、该第二基板及该第三基板为通过一长晶制程所形成的一硅芯片。
13.如权利要求12所述的微机电泵的制造方法,其特征在于,该长晶制程为多晶硅生长控制技术。