一种适用于MEMS惯性传感器封装的陶瓷管壳的制作方法

文档序号:19304894发布日期:2019-12-03 18:45阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种适用于mems惯性传感器封装的陶瓷管壳,其特征在于:包括可伐金属盖板(1),和带引脚的陶瓷管座,陶瓷管座顶部设有金属封口环(2),所述可伐金属盖板通过所述金属封口环(2)将所述陶瓷管壳上端的开口封闭,金属封口环烧结在陶瓷管座侧壁(3)上,陶瓷管座侧壁(3)固定在下方的带有金属埋线的台阶(4)上,带有金属埋线的台阶(4)与下方陶瓷台阶(5)固定,陶瓷台阶(5)固定在陶瓷管座底部的陶瓷基底上(6),在陶瓷管座四周布有金属引脚(7),金属引脚(7)通过内部走线与带有金属埋线的台阶(4)表面上的金属焊盘(8)相连。

2.如权利要求1所述的一种适用于mems惯性传感器封装的陶瓷管壳,其特征在于:所述的陶瓷管座腔体采用左右不等高设计,陶瓷台阶(5)只布置在腔体左侧。

3.如权利要求1所述的一种适用于mems惯性传感器封装的陶瓷管壳,其特征在于:所述的带有金属埋线的台阶(4)采用三面围绕设计,带有金属埋线的台阶(4)上布有数量不定的金属焊盘(8)。

4.如权利要求1所述的一种适用于mems惯性传感器封装的陶瓷管壳,其特征在于:所述陶瓷管壳材料为氧化铝陶瓷、氮化铝陶瓷或ltcc。

5.如权利要求1所述的一种适用于mems惯性传感器封装的陶瓷管壳,其特征在于:金属封口环(2)与可伐金属盖板(1)之间通过平行封焊工艺进行焊接。

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