降低MEMS惯性器件封装应力的方法及MEMS器件与流程

文档序号:20490709发布日期:2020-04-21 22:01阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种降低mems惯性器件封装应力的方法,其特征在于,所述的mems惯性器件包含:封装管壳、位于封装管壳内的芯片;所述的方法包含以下步骤:

步骤1,将直径一致的硅珠的粉体与贴片胶混合并搅拌均匀,得到混合物;

步骤2,利用点胶器将所述的混合物喷涂于所述的封装管壳的底板上,以形成贴片胶层;

步骤3,将所述芯片的底面贴在所述的贴片胶层上;

步骤4,使所述的贴片胶层固化。

2.根据权利要求1所述的降低mems惯性器件封装应力的方法,其特征在于,所述的硅珠的直径小于0.2mm。

3.根据权利要求1所述的降低mems惯性器件封装应力的方法,其特征在于,步骤1中,所述的硅珠的直径通过实验分析来选定,实验分析包括:测试芯片的输出性能。

4.根据权利要求1所述的降低mems惯性器件封装应力的方法,其特征在于,步骤2中,通过点胶器控制混合物的喷涂量。

5.根据权利要求1所述的降低mems惯性器件封装应力的方法,其特征在于,步骤3中,所述的芯片贴在所述的贴片胶层上后,所述的贴片胶层中的硅珠为单层。

6.根据权利要求1所述的降低mems惯性器件封装应力的方法,其特征在于,所述的贴片胶为改性硅胶或银浆。

7.根据权利要求1所述的降低mems惯性器件封装应力的方法,其特征在于,所述的贴片胶层的图形为对称的结构。

8.根据权利要求1所述的降低mems惯性器件封装应力的方法,其特征在于,步骤4中,通过高温使所述的贴片胶层固化。

9.根据权利要求1所述的降低mems惯性器件封装应力的方法,其特征在于,所述的封装管壳为陶瓷管壳。

10.一种mems器件,其特征在于,该器件包含权利要求1-9任意一项所述的方法中所采用的贴片胶层。


技术总结
本发明公开了一种降低MEMS惯性器件封装应力的方法及MEMS器件,所述的MEMS惯性器件包含:封装管壳、位于封装管壳内的芯片;所述的方法包含以下步骤:步骤1,将直径一致的硅珠的粉体与贴片胶混合并搅拌均匀,得到混合物;步骤2,利用点胶器将所述的混合物喷涂于所述的封装管壳的底板上,以形成贴片胶层;步骤3,将所述芯片的底面贴在所述的贴片胶层上;步骤4,使所述的贴片胶层固化。本发明通过在贴片胶内添加直径一致的硅珠,并对贴片胶层各个参数量化控制,有效的降低封装应力,提高了工艺过程的稳定性。

技术研发人员:赵万良;段杰;成宇翔;李绍良;应俊;白沐炎
受保护的技术使用者:上海航天控制技术研究所
技术研发日:2019.12.06
技术公布日:2020.04.21
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