1.一种降低mems惯性器件封装应力的方法,其特征在于,所述的mems惯性器件包含:封装管壳、位于封装管壳内的芯片;所述的方法包含以下步骤:
步骤1,将直径一致的硅珠的粉体与贴片胶混合并搅拌均匀,得到混合物;
步骤2,利用点胶器将所述的混合物喷涂于所述的封装管壳的底板上,以形成贴片胶层;
步骤3,将所述芯片的底面贴在所述的贴片胶层上;
步骤4,使所述的贴片胶层固化。
2.根据权利要求1所述的降低mems惯性器件封装应力的方法,其特征在于,所述的硅珠的直径小于0.2mm。
3.根据权利要求1所述的降低mems惯性器件封装应力的方法,其特征在于,步骤1中,所述的硅珠的直径通过实验分析来选定,实验分析包括:测试芯片的输出性能。
4.根据权利要求1所述的降低mems惯性器件封装应力的方法,其特征在于,步骤2中,通过点胶器控制混合物的喷涂量。
5.根据权利要求1所述的降低mems惯性器件封装应力的方法,其特征在于,步骤3中,所述的芯片贴在所述的贴片胶层上后,所述的贴片胶层中的硅珠为单层。
6.根据权利要求1所述的降低mems惯性器件封装应力的方法,其特征在于,所述的贴片胶为改性硅胶或银浆。
7.根据权利要求1所述的降低mems惯性器件封装应力的方法,其特征在于,所述的贴片胶层的图形为对称的结构。
8.根据权利要求1所述的降低mems惯性器件封装应力的方法,其特征在于,步骤4中,通过高温使所述的贴片胶层固化。
9.根据权利要求1所述的降低mems惯性器件封装应力的方法,其特征在于,所述的封装管壳为陶瓷管壳。
10.一种mems器件,其特征在于,该器件包含权利要求1-9任意一项所述的方法中所采用的贴片胶层。