一种钢包铜飞靶的制作方法

文档序号:5285380阅读:348来源:国知局
一种钢包铜飞靶的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种钢包铜飞靶,包括内层钢体、中层铜和外层钢,中层铜包裹在内层钢体外壁上,外层钢为呈镜像分布的两片L形状的钢片组成,两片钢片卡接在中层铜的外壁上,将中层铜密封在其的内部,钢片、中层铜、内层钢体三者通过固定螺栓紧固在一起。本实用新型的钢包铜飞靶,为三层结构复合式飞靶,在外层纯铜的再次包裹一层耐腐蚀材料SUS316钢制成的外层钢,有效防止被酸性药水腐蚀变形,降低因腐蚀铜排更换带来的成本支出,而且,不影响飞靶导电性,产品镀铜厚度得到有效保证,结构简单,容易实现,具有良好的应用前景。
【专利说明】一种钢包铜飞靶

【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种钢包铜飞靶,属于PCB生产制造【技术领域】。

【背景技术】
[0002]电镀二次铜制程,目前广泛使用在垂直龙门型电镀设备进行图形电镀上,由整流机、阳极、阴极等设备构成电镀回路。飞靶作为阴极的最重要组成部分,如图1所示,一般采用外层纯铜、内层钢双层结构设计构成,在实际使用中存在缺陷,外层纯铜一次挂架会直接暴露在空气之中,因槽液蒸发、鼓风等问题使电镀PH = I?2的酸性药水飞溅至飞靶上,长时间接触导致外层纯铜被腐蚀变形,使设备完整性及结合紧密型受到影响,导致电镀过程中电流分布不均匀,产品有镀铜偏厚或偏薄风险,影响产品质量。
实用新型内容
[0003]本实用新型所解决的技术问题是传统的电镀二次铜制程中飞靶,外层的纯铜容易被腐蚀变形,导致电镀过程中电流分布不均匀,产品有镀铜偏厚或偏薄风险,影响产品质量的问题。本实用新型的钢包铜飞靶,有效防止被酸性药水腐蚀变形,降低因腐蚀铜排更换带来的成本支出,而且,不影响飞靶导电性,产品镀铜厚度得到有效保证,结构简单,容易实现,具有良好的应用前景。
[0004]为了达到上述目的,本实用新型所采用的技术方案是:
[0005]一种钢包铜飞靶,其特征在于:包括内层钢体、中层铜和外层钢,所述中层铜包裹在内层钢体外壁上,所述外层钢为呈镜像分布的两片L形状的钢片组成,两片钢片卡接在中层铜的外壁上,将中层铜密封在其的内部,所述钢片、中层铜、内层钢体三者通过固定螺栓紧固在一起。
[0006]前述的一种钢包铜飞靶,其特征在于:所述内层钢体厚度为中层铜厚度的两倍,所述中层铜厚度为钢片厚度的两倍。
[0007]前述的一种钢包铜飞靶,其特征在于:所述两片钢片的接触处通过焊接胶进行密封。
[0008]前述的一种钢包铜飞靶,其特征在于:所述外层钢采用SUS316钢材料制成。
[0009]本实用新型的有益效果是:本实用新型的钢包铜飞靶,为三层结构复合式飞靶,在外层纯铜的再次包裹一层耐腐蚀材料SUS316钢制成的外层钢,有效防止被酸性药水腐蚀变形,降低因腐蚀铜排更换带来的成本支出,而且,不影响飞靶导电性,产品镀铜厚度得到有效保证,结构简单,容易实现,具有良好的应用前景。

【专利附图】

【附图说明】
[0010]图1是传统的飞靶的结构示意图。
[0011]图2是本实用新型的钢包铜飞靶的结构示意图。

【具体实施方式】
[0012]下面将结合说明书附图,对本实用新型作进一步的说明。
[0013]如图2所示,一种钢包铜飞靶,包括内层钢体1、中层铜2和外层钢3,构成三层结构复合式的飞靶,中层铜2包裹在内层钢体I外壁上,外层钢3为呈镜像分布的两片L形状的钢片组成,两片钢片卡接在中层铜2的外壁上,将中层铜2密封在其的内部,两片钢片的接触处通过焊接胶进行密封,密封效果好,将中层铜2密封住,防止因酸性药水腐蚀飞靶的中层铜2,钢片、中层铜2、内层钢体I三者通过固定螺栓紧固在一起,固定牢固,导电性佳、镀铜均匀。
[0014]本实用新型的所述内层钢体I厚度为中层铜2厚度的两倍,中层铜2厚度为钢片厚度的两倍,经生产测试,此三层结构复合式的飞靶,导电性佳,电镀效率90%以上,符合电镀生产设备需求,产品镀铜厚度得到有效保证。
[0015]所述外层钢3采用SUS316钢材料制成,耐腐蚀性强,尤其对酸性药水,有效避免了电镀酸性药水的腐蚀,降低了成本,也改善了产品质量。
[0016]以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【权利要求】
1.一种钢包铜飞靶,其特征在于:包括内层钢体(1)、中层铜(2)和外层钢(3),所述中层铜(2)包裹在内层钢体(I)外壁上,所述外层钢(3)为呈镜像分布的两片L形状的钢片组成,两片钢片卡接在中层铜(2)的外壁上,将中层铜(2)密封在其的内部,所述钢片、中层铜(2)、内层钢体(I)三者通过固定螺栓紧固在一起。
2.根据权利要求1所述的一种钢包铜飞靶,其特征在于:所述内层钢体(I)厚度为中层铜(2)厚度的两倍,所述中层铜(2)厚度为钢片厚度的两倍。
3.根据权利要求1所述的一种钢包铜飞靶,其特征在于:所述两片钢片的接触处通过焊接胶进行密封。
4.根据权利要求1所述的一种钢包铜飞靶,其特征在于:所述外层钢(3)采用SUS316钢材料制成。
【文档编号】C25D17/06GK204251744SQ201420731264
【公开日】2015年4月8日 申请日期:2014年11月26日 优先权日:2014年11月26日
【发明者】杨长基 申请人:常熟金像电子有限公司
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