本发明属于电真空元件制造技术领域，特别涉及一种电真空用绝缘热丝的制备方法。
背景技术：
内加热型吸气剂是吸气剂的一种重要应用形式，随着真空器件的小型化，行业内对内加热吸气剂在加热电流一致性等方面提出了更高的要求，相应的对吸气剂中加热丝即绝缘热丝的一致性要求也越来越高。
目前，绝缘热丝的传统制备工艺有两种。一种为气相沉积，即利用气相中发生物理或者化学过程在热丝表面形成绝缘涂层，对于复杂形状绝缘热丝的制备，气相沉积法很难保证其表面的绝缘性。第二种为人工涂覆，将绝缘层制备成浆料后，人工涂抹在热丝表面然后烧结，这种方法制备的绝缘热丝外型一致性很差，厚度难以控制，加热的一致性也难以满足现在行业的需求。
技术实现要素：
本发明的目的在于提供一种电真空用绝缘热丝的制备方法，具体技术方案如下：
一种电真空用绝缘热丝的制备方法为，利用电泳沉积在热丝表面沉积绝缘层，烧结后制得电真空用绝缘热丝；
所述电泳沉积中电泳液由混合氧化物和混合溶液混合得到，所述混合氧化物包括氧化铝、二氧化硅、氧化镁、氧化钙、氧化钇；所述混合溶液包括硝棉溶液、硝酸铈铵溶液、乙醇。
以质量百分比计，所述混合氧化物包括80％～95％氧化铝、2％～10％氧化镁、2％～8％二氧化硅、0.5％～0.8％氧化钙、0.1％～0.5％氧化钇。
以体积百分比计，所述混合溶液包括1％～3％硝棉溶液、0.1％～2％硝酸铈铵溶液、90％～98％乙醇。
所述硝棉溶液由硝化纤维、乙酸丁酯混合得到，硝化纤维在硝棉溶液中的含量为(5～10g)/l；
所述硝酸铈铵溶液由硝酸铈铵粉末、乙醇混合得到，硝酸铈铵在硝酸铈铵溶液中的含量为60g/l。
所述电泳液中混合溶液每含有100ml乙醇，需10～20g混合氧化物。
所述电泳沉积所用的电压为10～50v。
所述烧结温度为1200～1600℃。
所述的电真空用绝缘热丝的制备方法包括以下步骤：
(1)电泳液配置：将氧化铝粉末、二氧化硅粉末、氧化镁粉末、氧化钙粉末、氧化钇粉末与硝棉溶液、硝酸铈铵溶液、乙醇均匀混合、球磨得到电泳液；
(2)电泳沉积：将步骤(1)配置的电泳液倒入电泳槽中，将绕制的热丝置于电泳液中，通电进行电泳沉积；
(3)热丝烧结：将步骤(2)所得热丝置于烧氢炉中烧结，制得绝缘热丝。
所述步骤(1)中的球磨时间≥10小时。
本发明中热丝材料为本领域常用热丝材料，如mo、mola、w、wre、其它以mo、w为基的合金。
本发明的有益效果为：
(1)利用本发明方法制备的绝缘热丝表面平整、厚度均匀、绝缘性较高，表面绝缘层可控制在30～150μm，尺寸精度高且易于调控，适用于各种复杂形状热丝的制备，且能保证外型和加热电流的一致性，有效克服了传统制备工艺中厚度不均等方面的不足；能满足内加热型吸气元件及阴极灯丝等真空器件的较高要求；
(2)本发明中的制备工艺仅包括配电泳液、电泳、烧结三个工序，工艺简单、生产效率较高、成本低。
具体实施方式
本发明提供了一种电真空用绝缘热丝的制备方法，下面结合实施例对本发明做进一步的说明。
实施例1
按照下述步骤在热丝表面沉积绝缘层：
(1)电泳液配置
将80g氧化铝粉末、2g二氧化硅粉末、2.5g氧化镁粉末、0.5g氧化钙粉末、0.3g氧化钇粉末与10ml硝棉溶液、2.5ml硝酸铈铵溶液、500ml乙醇均匀混合，其中，硝棉溶液中硝化纤维含量6g/l，硝酸铈铵溶液中硝酸铈铵含量为60g/l；将得到的混合液装入球磨罐后球磨20h，得到电泳液；
(2)电泳沉积
取50ml步骤(1)配置的电泳液倒入电泳槽中，将预先绕制的直径0.3mmwre热丝置于电泳液中，在10v的电压下电泳1min；
(3)热丝烧结
将步骤(2)所得热丝置于钼盒中，然后放入烧氢炉中烧结，温度为1550℃，烧结完成后即制得绝缘热丝。
将制备的热丝在显微镜下观察无开裂和孔洞缺陷，表面平整，绝缘层厚度为70～76μm。
实施例2
按照下述步骤在热丝表面沉积绝缘层：
(1)电泳液配置
将80g氧化铝粉末、4g二氧化硅粉末、5g氧化镁粉末、0.6g氧化钙粉末、0.4g氧化钇粉末与16ml硝棉溶液、4ml硝酸铈铵溶液、800ml乙醇均匀混合，其中，硝棉溶液中硝化纤维含量8g/l，硝酸铈铵溶液中硝酸铈铵含量为60g/l；将得到的混合液装入球磨罐后球磨18h，得到电泳液；
(2)电泳沉积
取50ml步骤(1)配置的电泳液倒入电泳槽中，将预先绕制的直径0.3mm的mo丝置于电泳液中，在20v的电压下电泳2min；
(3)热丝烧结
将步骤(2)所得热丝置于钼盒中，然后放入烧氢炉中烧结，温度为1480℃，烧结完成后即制得绝缘热丝。
将制备的热丝在显微镜下观察无开裂和孔洞缺陷，表面平整，绝缘层厚度为65～68μm。
实施例3
按照下述步骤在热丝表面沉积绝缘层：
(1)电泳液配置
将85g氧化铝粉末、5.7g二氧化硅粉末、8g氧化镁粉末、0.8g氧化钙粉末、0.5g氧化钇粉末与12ml硝棉溶液、5ml硝酸铈铵溶液、800ml乙醇均匀混合，其中，硝棉溶液中硝化纤维含量9g/l，硝酸铈铵溶液中硝酸铈铵含量为60g/l；将得到的混合液装入球磨罐后球磨24h，得到电泳液；
(2)电泳沉积
取50ml步骤(1)配置的电泳液倒入电泳槽中，将预先绕制的直径0.3mm的w丝置于电泳液中，在30v的电压下电泳2min；
(3)热丝烧结
将步骤(2)所得热丝置于钼盒中，然后放入烧氢炉中烧结，温度为1450℃，烧结完成后即制得绝缘热丝。
将制备的热丝在显微镜下观察无开裂和孔洞缺陷，表面平整，绝缘层厚度为85～90μm。