一种电镀工艺槽的回流消泡系统的制作方法

本发明涉及电镀设备技术领域，具体涉及一种电镀工艺槽的回流消泡系统。

背景技术：

常见的垂直电镀设备是通过循环运行的传动装置带动线路板沿着装有电镀液的电镀槽内运行，线路板不断地从电镀槽的一端进入，并从另一端输出，电镀液中的电镀离子在此过程中电镀在线路板的表面上。

目前的电镀工艺槽包括位于上部供线路板在其中进行电镀的电镀槽、位于下部用于回收电镀液的储液槽、以及位于电镀槽和储液槽之间的回流槽，电镀槽沿线路板输送方向的两侧设有溢流口，电镀槽内的电镀液通过溢流口流出后经过回流槽内再进入储液槽内；同时，储液槽内的电镀液依次经过输送管道、位于电镀槽内的喷流管，并从喷流管上的喷射孔向电镀槽喷出，实现电镀液在电镀工艺槽内的循环流动。

但是，电镀槽内的大量电镀液直接通过溢流口俯冲入回流槽的方式，由于溢流口和回流槽之间的落差大，电镀液落入回流槽时发生撞击会产生大量气泡，这些气泡在短时间内来不及消散，被强大的水流带入储液槽内，含有大量气泡的电镀液再次输送到电镀槽内进行利用时，该部分电镀液带入的泡沫和空气会在电镀板上形成气泡点，气泡会跑到线路板的孔内，导致孔内洗不干净，电镀的时候形成漏镀、包心等现象。

公开号为cn109750345a的中国发明专利公开了一种挡水装置及电镀液回收系统，通过在回流槽内设置一挡在电镀槽溢流口位置处的挡水装置，挡水装置上相对的两个挡水辊与各自所在的弧形凹槽内壁面之间留有缝隙，板材通过挡水辊之间的过板间隙时，电镀槽中溢流口流出的电镀液分别通过两侧挡水辊的缝隙和过板间隙形成分流，可以减少电镀液在挡水辊出口处俯冲下去而形成的气泡。

但是，这种电镀液回收系统的电镀液全部采用从溢流口流出的方式实现回流，挡水装置虽能在一定程度上减缓电镀液回流过程中产生的气泡量，但由于电镀液的流量比较大，电镀液回流过程中依然会有一定量的气泡产生，而且这些气泡不能完全消除，在循环流动到电镀槽内后会影响产品的电镀质量。

技术实现要素：

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的电镀槽的镀液循环系统中的电镀液在回流时容易产生气泡、进而影响产品电镀质量的问题，从而提供一种电镀工艺槽的回流消泡系统。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案如下：

一种电镀工艺槽的回流消泡系统，包括：

上槽体，其相对两侧壁具有供待镀板通过的通口；

引流槽体，设置在所述上槽体一侧并通过所述通口与所述上槽体相通；

下槽体，位于所述上槽体下方，其底部安装有将所述下槽体的内部空间分隔为回流区和消泡区的隔板；所述回流区内的电镀液或清洗液上方的气泡层从所述隔板的顶部溢出后进入所述消泡区；

溢流盒，与所述引流槽体相对所述上槽体一侧的过板排液口相通，其下方连通有通向所述回流区的泄流管；

消泡装置，位于所述消泡区的上方，通过在所述消泡区上方形成负压区以吸走所述回流区内的气泡并对气泡进行剪切消除。

进一步地，所述隔板的顶部连接有斜向所述消泡区底部方向延伸的倒流斜板。

进一步地，所述溢流盒上设有消泡体。

进一步地，所述引流槽体内安装有挡在所述上槽体的通口位置处的挡水装置。

进一步地，所述挡水装置包括：

支撑底座；

两个安装座，相对设在所述支撑底座上且相互面对的一端上分别设有向内凹进并沿其高度方向延伸的至少一个弧形凹槽；两个所述安装座上的弧形凹槽一一相对；所述弧形凹槽上设有与外界连通的至少一个第一排液口；

挡水辊，一一嵌入所述弧形凹槽内且可转动地设在所述支撑底座上；相对的两个所述挡水辊中，相互靠近的一端密封抵接且受挤压时形成供待镀板穿过的过板间隙；

所述挡水辊的周向外壁面与各自所在的弧形凹槽的内壁面之间预留所需缝隙。

进一步地，所述消泡装置包括：

消泡泵，安装于所述下槽体的顶部且位于所述消泡区上方，下端具有供气泡进入的吸入口；

延长管，连接在所述消泡泵的吸入口，且向所述下槽体的方向延伸；所述延长管的下开口位于所述消泡区内的液位的上方。

进一步地，所述消泡泵包括：

消泡电机，安装于所述下槽体，其输出轴上装配有位于所述消泡区上方的叶轮组件；

消泡管，罩设在所述叶轮组件的外周且具有下端开口，所述延长管连接在所述消泡管的下端开口处。

进一步地，所述消泡管包括：

上管体，包括与所述消泡电机连接且挡在所述叶轮组件上方的顶板、连接于所述顶板的外周边缘且罩在所述叶轮组件外周的上套管、以及连接在所述上套管下方且挡在所述叶轮组件下方的底板，所述底板具有与所述叶轮组件的下端面对应的第一通口；

下管体，包括连接板和下套管；所述连接板连接在所述底板的底部且与所述底板之间具有连接间隙，所述连接板具有与所述第一通口对应设置的第二通口，所述下套管连接在所述连接板底部对应所述第二通口的边缘位置处，所述延长管连接在所述下套管的下端；所述下套管的管径小于所述上套管的管径。

进一步地，所述上槽体和所述下槽体之间还连通有回流管道，所述上槽体内溢出的电镀液或清洗液经过所述回流管道流向所述下槽体。

进一步地，所述回流管道上设有用于控制流向所述下槽体内的电镀液或清洗液流量大小的流量控制阀。

进一步地，所述上槽体和所述下槽体之间还连通有用于将所述下槽体内的电镀液或清洗液输送到所述上槽体内的输送装置。

进一步地，所述输送装置包括从所述下槽体内抽取电镀液或清洗液的循环泵、连通在所述循环泵的进液口和所述消泡区之间的吸液管道、以及连通在所述循环泵的出液口和所述上槽体内之间的出液管道；所述出液管道包括连通在所述循环泵的出液口和位于所述上槽体内的喷流管之间的第一管道、以及连接在所述循环泵的出液口和伸入所述上槽体内的循环管之间的第二管道，所述第一管道上设有用于控制所述第一管道流量的电动控制阀，所述第二管道上设有用于控制所述第二管道流量的手动控制阀。

进一步地，所述吸液管道伸入所述消泡区内的一端还设有吸入口网罩。

本发明技术方案，具有如下优点：

1.本发明提供的电镀工艺槽的回流消泡系统，上槽体内的电镀液或清洗液通过两侧的通口流出后进入引流槽体；引流槽体内的电镀液或清洗液通过一侧的过板排液口溢出后进入溢流盒，并通过溢流盒的溢流管流向下槽体的回流区，回流区内电镀液或清洗液上方的气泡层从下槽体内部的隔板顶部溢出后进入下槽体的消泡区，消泡区上方的消泡装置通过形成负压区以吸走回流区内的气泡并对气泡进行剪切消除，从而实现电镀液或清洗液的消泡；这种回流消泡系统和现有技术中电镀液或清洗液直接从上槽体上的溢流口俯冲流出的方式相比，溢流管可以将上槽体流出的电镀液或清洗液导向下槽体回流区的底部，可以减少电镀液或清洗液落入下槽体时撞击产生的气泡量，下槽体的回流区内的电镀液或清洗液静置后液面上层的气泡层从隔板顶部溢出再进入消泡区通过消泡装置进行消泡的方式，可以消除回流得到的电镀液或清洗液中的气泡，避免气泡对产品电镀质量的影响；同时泄流管是一个相对密封的结构，电镀液或清洗液从上槽体通过泄流管流入下槽体时，与空气的接触较少，从而可以减少电镀液与空气接触造成的镀液中有效成分的氧化，进而可以更好地保证镀液中化学成分的稳定性。

2.本发明提供的电镀工艺槽的回流消泡系统，在下槽体内设置隔板，可以将下槽体的内部空间分隔为回流区和消泡区，消泡装置可以更好地对气泡进行集中剪切消除。

3.本发明提供的电镀工艺槽的回流消泡系统，倒流斜板的设置一方面方便气泡顺着倒流斜板流向消泡装置的作用中心位置；另一方面方便气泡被剪切消除后形成的液滴在倒流斜板汇聚成液流后流向消泡区进行循环利用，减少电镀液或清洗液成分的流失。

4.本发明提供的电镀工艺槽的回流消泡系统，在溢流盒上设置消泡体，电镀液或清洗液经过消泡体时，电镀液或清洗液内夹带的气泡与消泡体碰撞破裂或被吸附在消泡体上，从而减少由于落差造成溅射回弹产生的泡沫。

5.本发明提供的电镀工艺槽的回流消泡系统，挡水装置的设置可以减少电镀液或清洗液随待镀板移动过程中从过板间隙流出时受到的压力差，进而减少这部分电镀液或清洗液俯冲回流过程中形成的气泡量。

6.本发明提供的电镀工艺槽的回流消泡系统，在消泡泵的下方连接伸向消泡区内的液位上方的延长管，可以有效防止空气串流现象，保证消泡泵可以吸入更多的气泡。

7.本发明提供的电镀工艺槽的回流消泡系统，消泡电机通过驱动叶轮组件在消泡管内转动，一方面可以在消泡区内形成负压区以吸入气泡，另一方面叶轮组件中高速旋转的叶片可以对吸入的气泡进行剪切破碎，气泡破碎后在离心力作用下摔向消泡管内壁形成液流回到下槽体内，可以有效减少电镀液或清洗液的损耗。

8.本发明提供的电镀工艺槽的回流消泡系统，消泡管包括上管体和下管体，上管体的顶板挡在叶轮组件上方、且上套管可以将叶轮组件的外周壁完全罩在其内部，气泡被剪切破碎后在离心力作用下可以全部摔向上管体的内壁形成液流回到下槽体内，从而可以更好地减少消泡过程中电镀液或清洗液的损耗；另外，在上管体的下方连接开口直径小于上管体的下管体，可以使气泡在上管体内被叶轮组件剪切破碎地更加彻底，提升消泡效果。

9.本发明提供的电镀工艺槽的回流消泡系统，上槽体内的部分电镀液或清洗液通过回流管道流向下槽体的方式，可以对从上槽体的通口流出的部分电镀液或清洗液进行分流，控制上槽体内的液位高度，进而减少上槽体内电镀液或清洗液俯冲回流过程中形成的气泡量。

10.本发明提供的电镀工艺槽的回流消泡系统，回流管道上流量控制阀的设置一方面可以控制流向下槽体内的电镀液或清洗液的流量大小，减缓电镀液或清洗液从上槽体通口处流出时的流速，进而减少气泡的生成；另一方面通过控制回流管道内的流量，可以达到控制上槽体液位高度的目的。

11.本发明提供的电镀工艺槽的回流消泡系统，循环泵启动后，先开启手动控制阀，下槽体内的电镀液或清洗液通过第二管道和循环管进入上槽体内；当上槽体内液位达到一定高度后，电动控制阀开启，下槽体内的电镀液或清洗液通过第一管道和喷流管进入上槽体内；这种采用两条路径将下槽体内的电镀液或清洗液抽向上槽体内的方式，可以减少电镀液或清洗直接液通过喷流管喷出时气泡的产生。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的电镀工艺槽的主视图；

图2为本发明实施例提供的电镀工艺槽的俯视图；

图3为本发明实施例提供的隔板、溢流盒和消泡体在电镀工艺槽内的安装结构示意图；

图4为本发明实施例提供的电镀工艺槽中循环管和出液管道的连接结构示意图；

图5为本发明实施例提供的电镀工艺槽的右视图；

图6为本发明实施例提供的电镀工艺槽的右视图，其中部分结构以影藏以展示消泡装置与下槽体的安装结构示意图；

图7为本发明实施例提供的电镀工艺槽中的消泡泵的整体结构示意图；

图8为本发明实施例提供的电镀工艺槽中输送装置的出液管道的整体结构示意图；

图9为本发明实施例提供的电镀工艺槽中挡水装置的俯视图；

图10为本发明实施例提供的电镀工艺槽中挡水装置的正视图。

附图标记说明：1、上槽体；2、下槽体；21、回流区；22、消泡区；3、回流管道；31、流量控制阀；4、消泡装置；41、消泡电机；42、叶轮组件；43、消泡管；431、上管体；4311、顶板；4312、上套管；4313、底板；432、下管体；4321、连接板；4322、下套管；44、延长管；5、输送装置；51、循环泵；52、吸液管道；53、出液管道；531、第一管道；532、第二管道；54、电动控制阀；55、手动控制阀；56、吸入口网罩；6、隔板；7、倒流斜板；8、引流槽体；9、挡水装置；91、支撑底座；92、安装座；93、弧形凹槽；94、第一排液口；95、挡水辊；10、溢流盒；11、泄流管；12、消泡体；13、喷流管；14、输送管。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

如图1－4所示的一种电镀工艺槽的回流消泡系统，包括上槽体1、下槽体2、回流管道3、消泡装置4、输送装置5、引流槽体8和溢流盒10。

其中，上槽体1供待镀板在其中电镀或清洗，下槽体2位于上槽体1下方且与上槽体1通过上槽体1底部的隔板隔开。上槽体1的侧壁具有供待镀板通过的通口，引流槽体8设置在上槽体1一侧并通过通口与上槽体1相通。下槽体2的底部安装有隔板6，隔板6将下槽体2的内部空间分隔为回流区21和消泡区22，回流管道3的出口位于回流区21内。溢流盒10与引流槽体8相对上槽体1一侧的过板排液口相通，其下方连通有通向回流区的泄流管11。消泡装置4位于消泡区22的上方，回流区21内电镀液或清洗液上方的气泡从隔板6的顶部溢出后进入消泡区22。

上槽体1内的电镀液或清洗液通过两侧的通口流出后进入引流槽体8；引流槽体8内的电镀液或清洗液通过一侧的过板排液口溢出后进入溢流盒10，并通过溢流盒10的溢流管11流向下槽体2的回流区21，回流区21内电镀液或清洗液上方的气泡层从下槽体2内部的隔板6顶部溢出后进入下槽体2的消泡区22，消泡区22上方的消泡装置4通过形成负压区以吸走消泡区22内的气泡并对气泡进行剪切消除，从而实现电镀液或清洗液的消泡；这种回流消泡系统和现有技术中电镀液或清洗液直接从上槽体1上的溢流口俯冲流出的方式相比，溢流管11可以将上槽体1流出的电镀液或清洗液导向下槽体2的回流区21的底部，可以减少电镀液或清洗液落入下槽体2时撞击产生的气泡量，下槽体2的回流区21内的电镀液或清洗液静置后液面上层的气泡层从隔板6顶部溢出再进入消泡区21通过消泡装置4进行消泡的方式，可以消除回流得到的电镀液或清洗液中的气泡，避免气泡对产品电镀质量的影响；同时泄流管11是一个相对密封的结构，电镀液或清洗液从上槽体1通过泄流管11流入下槽体2时，与空气的接触较少，从而可以减少电镀液与空气接触造成的镀液中有效成分的氧化，进而可以更好地保证镀液中化学成分的稳定性。

如图2所示，在本实施例中，上槽体1和下槽体2之间连通有回流管道3，回流管道3具有与上槽体1连通的进口及位于进口下方并通向下槽体2的出口，回流管道3的进口连通在上槽体1侧壁的上方，回流管道3的出口位于下槽体2内；上槽体1上方内溢出的电镀液或清洗液经过回流管道3流向下槽体2，以控制上槽体1内的液位高度。

如图2所示，在本实施例中，回流管道3上设有用于控制流向下槽体2内的电镀液或清洗液流量大小的流量控制阀31。通过在回流管道3上设置流量控制阀31，一方面可以控制流向下槽体2内的电镀液或清洗液的流量大小，减缓电镀液或清洗液流出时的流速，进而减少气泡的生成；另一方面通过控制回流管道3内的流量，可以达到控制上槽体1液位高度的目的。

在本实施例的一种优选实施方式中，泄流管11下方的出口位于下槽体2槽体上方一个泄流管11口径高度的位置处，且当电镀工艺槽的电镀液或清洗液循环流动时，泄流管11的出口淹没在下槽体2内液面以下的部分。

结合图3和图5，在本实施例中，回流管道3的出口位于回流区21内，消泡装置4位于消泡区22的上方，回流区21内电镀液或清洗液上方的气泡从隔板6的顶部溢出后进入消泡区22。进一步的，下槽体2底部的隔板6有两块且相对设置，两块隔板6将下槽体2内部空间依次分隔为回流区21、消泡区22和回流区21，消泡区22位于两个回流区21的中间，两个回流区21内电镀液或清洗液上方的气泡越过隔板6顶部后集中汇聚在消泡区22内。在下槽体2内设置两块隔板6，可以使位于消泡区22的消泡装置4更加集中地对消泡区22内的气泡进行剪切消除。

进一步的，隔板6的顶部连接有斜向消泡区22底部方向延伸的倒流斜板7。倒流斜板7的设置一方面方便气泡顺着倒流斜板7流向消泡装置4的作用中心位置；另一方面方便气泡被剪切消除后形成的液滴在倒流斜板7汇聚成液流后流向消泡区22进行循环利用，减少电镀液或清洗液成分的流失。

如图6和图7所示，在本实施例中，消泡装置4包括消泡泵和延长管44，消泡泵安装在下槽体2的顶部且位于消泡区22上方，消泡泵的下端具有供气泡进入的吸入口；延长管44连接在消泡泵的吸入口，且向下槽体2的方向延伸；延长管44的下开口位于消泡区22内的液位的上方。在消泡泵的下方连接伸向消泡区22内的液位上方的延长管44，可以有效防止空气串流现象，保证消泡泵可以吸入更多的气泡。

在本实施例中，消泡泵包括消泡电机41和消泡管43。消泡电机41安装于下槽体2，其输出轴上装配有位于消泡区22上方的叶轮组件42；消泡管43罩设在叶轮组件42的外周且具有下端开口，延长管44连接在消泡管43的下端开口处。叶轮组件42在消泡电机41的驱动下在消泡管43内旋转以形成负压区；消泡区22内的气泡被吸入负压区后，气泡在叶轮组件42的剪切力作用下被剪切破碎并在离心力作用下摔向消泡管43内壁形成液流回到所述下槽体2内。消泡电机41通过驱动叶轮组件42在消泡管43内转动，一方面可以在消泡区22内形成负压区以吸入气泡，另一方面叶轮组件42中高速旋转的叶片可以对吸入的气泡进行剪切破碎，气泡破碎后在离心力作用下摔向消泡管43内壁形成液流回到下槽体2内，可以有效减少电镀液或清洗液的损耗。

具体的，消泡管43包括上管体431和下管体432。上管体431包括与消泡电机41连接且挡在叶轮组件42上方的顶板4311、连接于顶板4311的外周边缘且罩在叶轮组件42外周的上套管4312、以及连接在上套管4312下方且挡在叶轮组件42下方的底板4313，底板4313具有与叶轮组件42的下端面对应的第一通口。下管体432包括连接板4321和下套管4322；连接板4321连接在底板4313的底部且与底板4313之间具有连接间隙，连接板4321具有与第一通口对应设置的第二通口，下套管4322连接在连接板4321底部对应第二通口的边缘位置处，延长管44连接在下套管4322的下端；第二通口的口径小于第一通口的口径。

上管体431的顶板4311挡在叶轮组件42上方、且上套管4312可以将叶轮组件42的外周壁完全罩在其内部，气泡被剪切破碎后在离心力作用下可以全部摔向上管体431的内壁形成液流回到下槽体2内，从而可以更好地减少消泡过程中电镀液或清洗液的损耗；另外，在上管体431的下方连接开口直径小于上管体431的下管体432，可以使气泡在上管体431内被叶轮组件42剪切破碎地更加彻底，提升消泡效果。

如图1、图5和图8所示，在本实施例中，上槽体1和下槽体2之间连通有输送装置5，输送装置5用于将下槽体2内的电镀液或清洗液向上槽体1内输送并通过位于上槽体1的喷流管13喷出以实现电镀液或清洗液的循环流动。

具体的，输送装置5包括从下槽体2内抽取电镀液或清洗液的循环泵51、连通在循环泵51的进液口和消泡区22之间的吸液管道52、以及连通在循环泵51的出液口和上槽体1之间的出液管道53；出液管道53包括连通在循环泵51的出液口和位于上槽体1内的喷流管13之间的第一管道531、以及连接在循环泵51的出液口和伸入上槽体1内的循环管14之间的第二管道532，第一管道531上设有用于控制第一管道531流量的电动控制阀54，第二管道532上设有用于控制第二管道532流量的手动控制阀55。具体的，吸液管道52伸入消泡区22内的一端还设有吸入口网罩56。循环泵51启动后，先开启手动控制阀55，下槽体2内的电镀液或清洗液通过第二管道532和循环管14进入上槽体1内；当上槽体1内液位达到一定高度后，电动控制阀54开启，下槽体2内的电镀液或清洗液通过第一管道531和喷流管13进入上槽体1内；这种采用两条路径将下槽体2内的电镀液或清洗液抽向上槽体1内的方式，与仅仅通过第一管道531和喷流管13向上槽体1内注入电镀液或清洗液的方式，可以减少电镀液或清洗液通过喷流管13喷出时气泡的产生。

如图1和图9－10所示，在本实施例中，引流槽体8内安装有挡水装置9，挡水装置9的支撑底座91上设有过板排液口，溢流盒10和引流槽体8的内还过板排液口相通，溢流盒10的下方连接的泄流管11直接通向下槽体2内回流区21的底部。溢流盒10上设有消泡体12，消泡体12具体可以为消泡棉或其他内部具有空洞间隙的材料。在溢流盒10上设置消泡体12，电镀液或清洗液经过消泡体12时，电镀液或清洗液内夹带的气泡与消泡体12碰撞破裂或被吸附在消泡体12上，从而减少由于落差造成溅射回弹产生的泡沫。

如图1和图9－10所示，在本实施例中，挡水装置9包括支撑底座91、两个安装座92和两对挡水辊95。支撑底座91安装在引流槽体8内，两个安装座92相对设在支撑底座91上且相互面对的一端上分别设有向内凹进并沿其高度方向延伸的两个并排布置的弧形凹槽93；两个安装座92上的弧形凹槽93一一相对；弧形凹槽93上设有与外界连通的至少一个第一排液口94；两对挡水辊95一一嵌入弧形凹槽93内且可转动地设在支撑底座91上；相对的两个挡水辊95中，相互靠近的一端密封抵接且受挤压时形成供待镀板穿过的过板间隙；挡水辊95的周向外壁面与各自所在的弧形凹槽93的内壁面之间预留所需缝隙。挡水装置9的设置可以对从上槽体1的通口流出的部分电镀液或清洗液进行分流，减少电镀液或清洗液随待镀板移动过程中从过板间隙流出时受到的压力差，进而减少这部分电镀液或清洗液俯冲回流过程中形成的气泡量。关于挡水装置9的具体结构有目前有多种方式，此处仅仅列举一种常见的实施方式。

综上所述，本发明实施例提供的电镀工艺槽的回流消泡系统，上槽体1内的电镀液或清洗液通过两侧的通口流出后进入引流槽体8；引流槽体8内的电镀液或清洗液通过一侧的过板排液口溢出后进入溢流盒10，并通过溢流盒10的溢流管11流向下槽体2的回流区21，回流区21内电镀液或清洗液上方的气泡层从下槽体2内部的隔板6顶部溢出后进入下槽体2的消泡区22，消泡区22上方的消泡装置4通过形成负压区以吸走消泡区22内的气泡并对气泡进行剪切消除，从而实现电镀液或清洗液的消泡；这种回流消泡系统和现有技术中电镀液或清洗液直接从上槽体1上的溢流口俯冲流出的方式相比，溢流管11可以将上槽体1流出的电镀液或清洗液导向下槽体2的回流区21的底部，可以减少电镀液或清洗液落入下槽体2时撞击产生的气泡量，下槽体2的回流区21内的电镀液或清洗液静置后液面上层的气泡层从隔板6顶部溢出再进入消泡区21通过消泡装置4进行消泡的方式，可以消除回流得到的电镀液或清洗液中的气泡，避免气泡对产品电镀质量的影响；同时泄流管11是一个相对密封的结构，电镀液或清洗液从上槽体1通过泄流管11流入下槽体2时，与空气的接触较少，从而可以减少电镀液与空气接触造成的镀液中有效成分的氧化，进而可以更好地保证镀液中化学成分的稳定性。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。