一种水平电镀设备的制作方法

文档序号:30752874发布日期:2022-07-13 09:37阅读:209来源:国知局
一种水平电镀设备的制作方法

1.本实用新型涉及电镀设备技术领域,具体的说,是涉及一种水平电镀设备。


背景技术:

2.电镀就是利用电解原理在金属表面上镀上一薄层金属或合金的过程,是利用电解作用使金属或其它材料制件的表面附着一层金属膜的工艺从而起到防止金属氧化(如锈蚀),提高耐磨性、导电性、反光性及增进美观等作用。随着现代工业技术的发展,薄膜基材表面镀膜需求越来越大,广泛应用于高性能汽车贴膜、等离子电视平板显示、触摸屏、太阳能电池、柔性印刷线路板(fpc)、覆晶薄膜(cof)等领域。
3.在现有电镀设备中,多采用阴极导电辊加镀液槽的方式进行电镀。这种方式存在的缺点是,由于薄膜基材较薄,阴极导电辊在电镀过程中辊面极易镀上点装颗粒物,颗粒物在电流作用下不断长大,容易刺穿膜膜面,使得产品孔洞多及孔洞直径偏大,影响产品品质。
4.以上缺陷,有待改善。


技术实现要素:

5.为了克服现有的技术的不足, 本实用新型提供一种水平电镀设备。
6.本实用新型技术方案如下所述:
7.一种水平电镀设备,包括放卷机构和镀液槽,所述镀液槽内设置有上排正极导电钛篮和下排正极导电钛篮,所述上排正极导电钛篮和所述下排正极导电钛篮的左右两侧均设置有阴极边缘导电机构,所述阴极边缘导电机构通过上下两个导电皮带夹紧所述放卷机构所输送的薄膜的边缘形成边缘导电并带动所述薄膜移动,使所述薄膜沿着水平直线方向经过所述上排正极导电钛篮和所述下排正极导电钛篮之间。
8.根据上述方案的本实用新型,所述放卷机构与所述镀液槽之间设置有负极导电辊组,所述镀液槽的内部前端设置有两个相互平行的左正极导电钛板和右正极导电钛板,所述薄膜经过所述负极导电辊组后进入所述镀液槽,并依次经过所述左正极导电钛板和所述右正极导电钛板之间、所述上排正极导电钛篮和所述下排正极导电钛篮之间。
9.进一步的,所述负极导电辊组包括多个上下间隔设置的负极导电辊,所述薄膜依次经过多个所述负极导电辊后进入所述镀液槽内。
10.根据上述方案的本实用新型,所述放卷机构与所述负极导电辊组之间依次设置有第一过棍和展平辊,所述薄膜依次经过所述第一过棍、所述展平辊及所述负极导电辊组,进入所述镀液槽内。
11.根据上述方案的本实用新型,所述镀液槽的后端设置有出料挤液辊组,所述薄膜从所述上排正极导电钛篮和所述下排正极导电钛篮之间经过后,经过所述出料挤液辊组。
12.进一步的,所述出料挤液辊组包括固定辊、活动压辊及出料挤液气缸,所述活动压辊与所述固定辊相互平行,所述出料挤液气缸的活动端与所述活动压辊连接并带动所述活
动压辊压向所述固定辊。
13.进一步的,所述镀液槽的内部前端设置第二过棍,所述镀液槽的内部后端设置第三过棍,所述薄膜沿着水平直线方向依次经过所述第二过棍、所述上排正极导电钛篮和所述下排正极导电钛篮之间及所述第三过棍。
14.根据上述方案的本实用新型,所述镀液槽的内部前端设置有进液管,所述镀液槽的内部后端设置有出液管。
15.根据上述方案的本实用新型,所述镀液槽的下方设置有接液槽,所述接液槽与所述镀液槽的排液口连通。
16.进一步的,所述镀液槽的内部四角设置有满液预留口,所述满液预留口与所述接液槽连通。
17.根据上述方案的本实用新型,所述阴极边缘导电机构包括上导电皮带、下导电皮带、上导电皮带驱动组件、下导电皮带驱动组件、上导电皮带压紧组件及下导电皮带压紧组件,所述上导电皮带与所述下导电皮带上下相对设置,所述上导电皮带驱动组件与所述上导电皮带连接并带动所述上导电皮带转动,所述上导电皮带压紧组件带动所述上导电皮带的下端下移,压向所述下导电皮带并张紧所述上导电皮带,所述下导电皮带驱动组件与所述下导电皮带连接并带动所述下导电皮带转动,所述下导电皮带压紧组件带动所述下导电皮带的下端下移,张紧所述下导电皮带。
18.进一步的,所述上导电皮带驱动组件包括上下两排上导电皮带轮和上导电皮带驱动电机,上排的所述上导电皮带轮和所述上导电皮带驱动电机安装在第一固定板上,下排的所述上导电皮带轮安装在第二固定板上,所述上导电皮带套设在上下两排所述上导电皮带轮上,所述上导电皮带驱动电机与上排任意一个所述上导电皮带轮连接。
19.更进一步的,所述下导电皮带驱动组件包括上下两排下导电皮带轮和下导电皮带驱动电机,上排的所述下导电皮带轮安装在第三固定板上,下排的所述下导电皮带轮和所述下导电皮带驱动电机安装在第四固定板上,所述下导电皮带套设在上下两排所述下导电皮带轮上,所述下导电皮带驱动电机与下排任意一个所述下导电皮带轮连接。
20.更进一步的,所述上导电皮带压紧组件包括上压紧气缸和多个并排设置在下排的所述上导电皮带轮之间的上包胶压轮,上压紧气缸安装在所述第一固定板上,多个所述上包胶压轮安装在所述第二固定板上,所述上压紧气缸的活动端与所述第二固定板连接并带动所述第二固定板上下移动。
21.更进一步的,所述下导电皮带压紧组件包括下压紧气缸和多个并排设置在上排的所述下导电皮带轮之间的下包胶压轮,下压紧气缸安装在第五固定板上,多个所述下包胶压轮安装在所述第三固定板上,所述下压紧气缸的活动端与所述第四固定板连接并带动所述第四固定板上下移动。
22.更进一步的,所述第五固定板的底部设置有第一直线导杆,所述第四固定板上设置有第一直线轴承,所述第一直线轴承套设在所述第一直线导杆外。
23.更进一步的,所述阴极边缘导电机构还包括穿膜提升组件,所述穿膜提升组件的提升端与所述上导电皮带、所述上导电皮带驱动组件及所述上导电皮带压紧组件连接,并带动所述上导电皮带、所述上导电皮带驱动组件及所述上导电皮带压紧组件上下移动。
24.所述穿膜提升组件包括穿膜提升气缸,所述穿膜提升气缸安装在第六固定板上,
所述穿膜提升气缸的活动端与所述第一固定板连接并带动所述第一固定板上下移动。
25.更进一步的,所述第六固定板与所述第三固定板之间设置有第二直线导杆,所述第一固定板上设置有第二直线轴承,所述第二固定板上设置有第三直线轴承,所述第二直线轴承和所述第三直线轴承均套设在所述第二直线导杆外。
26.更进一步的,所述阴极边缘导电机构还包括若干个上导电滑环和若干个下导电滑环,若干个所述上导电滑环安装在所述第一固定板上,所述上导电滑环通过上导电转轴连接上导电轮,所述上导电轮与所述上导电皮带的导电层接触;若干个所述下导电滑环安装在所述第四固定板下,所述下导电滑环通过下导电转轴连接下导电轮,所述下导电轮与所述下导电皮带的导电层接触。
27.更进一步的,所述上导电皮带的导电层位于所述上导电皮带的外表面内侧边缘,所述上导电皮带的导电层位于所述下导电皮带的外表面内侧边缘。
28.更进一步的,所述阴极边缘导电机构还包括上辅助阴极槽和下辅助阴极槽,所述上辅助阴极槽安装在所述第一固定板上,所述上辅助阴极槽的两侧设置有供所述上导电皮带穿过的开口,所述上辅助阴极槽内设置有用于消除所述上导电皮带的导电层表面的镀铜颗粒的上蚀铜机构;所述下辅助阴极槽安装在所述第四固定板上,所述上辅助阴极槽的两侧设置有供所述下导电皮带穿过的开口,所述上辅助阴极槽内设置有用于消除将所述下导电皮带的导电层表面的镀铜颗粒的下蚀铜机构。
29.所述阴极边缘导电机构还包括用于夹持薄膜的夹持机构,所述夹持机构设置在所述上导电皮带与所述下导电皮带的入膜口。
30.与现有技术相比,本实用新型的有益效果在于:
31.1、本实用新型通过阴极边缘导电机构的上下两个导电皮带将阴极电流传递到镀液中与上排正极导电钛篮和下排正极导电钛篮形成导电闭环体,通过电流把镀液中铜离子均匀的覆盖在薄膜上,且通过边缘压紧导电的方式可有效的解决产品孔洞多及孔洞直径偏大的问题;
32.2、通过设置负极导电辊组、左正极导电钛板及右正极导电钛板,让薄膜在镀液中进行水平镀铜前先进行预镀,让部分的铜离子先覆盖在薄膜上,可以使得薄膜的镀铜效果更好,均匀性更高,同时也不会使产品产生孔洞;
33.3、通过在镀液槽的后端设置出料挤液辊组,对镀铜后薄膜进行挤压,挤出薄膜上残留的镀液;
34.4、通过在镀液槽的内部前端设置进液管,在镀液槽的内部后端设置出液管,即可以使得镀液中铜离子的浓度保持不变,又可以使得镀液槽内部的镀液顺着薄膜移动方向的均匀流动,从而使得薄膜的镀铜效果更佳,均匀性更高。
附图说明
35.图1为本实用新型的结构示意图;
36.图2为本实用新型的剖视图;
37.图3为本实用新型中阴极边缘导电机构的结构示意图;
38.图4为本实用新型中阴极边缘导电机构的正视图;
39.图5为本实用新型中阴极边缘导电机构的侧视图;
40.图6为图2中a部分的放大图;
41.图7为本实用新型中镀液槽的结构示意图;
42.图8为本实用新型中镀液槽的俯视图。
43.在图中,
44.1、放卷机构;2、镀液槽;201、满液预留口;3、上排正极导电钛篮;4、下排正极导电钛篮;5、阴极边缘导电机构;501、上导电皮带;502、下导电皮带;503、上导电皮带轮;504、上导电皮带驱动电机;505、第一固定板;506、第二固定板;507、下导电皮带轮;508、下导电皮带驱动电机;509、第三固定板;510、第四固定板;511、上压紧气缸;512、上包胶压轮;513、下压紧气缸;514、下包胶压轮;515、第五固定板;516、第一直线导杆;517、第一直线轴承;518、穿膜提升气缸;519、第六固定板;520、第二直线导杆;521、第二直线轴承;522、第三直线轴承;523、上导电滑环;524、上导电转轴;525、上导电轮;526、下导电滑环;527、下导电转轴;528、下导电轮;529、上辅助阴极槽;530、下辅助阴极槽;531、夹持机构;6、负极导电辊组;7、左正极导电钛板;8、右正极导电钛板;9、第一过棍;10、展平辊;11、出料挤液辊组;1101、固定辊;1102、活动压辊;1103、出料挤液气缸;12、第二过棍;13、第三过棍;14、进液管;15、出液管;16、接液槽;17、薄膜。
具体实施方式
45.为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。
46.需要说明的是,当部件被称为“设置在”或者“固定在”或者“安装在”另一个部件,它可以直接或者间接位于该另一个部件上。当一个部件被称为“连接于”另一个部件,它可以是直接或者间接连接至该另一个部件上。术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“内”、“外”等指示的方位或位置为基于附图所示的方位或位置,仅是为了便于描述,不能理解为对本技术方案的限制。术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”、“第五”、“第六”仅用于便于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明技术特征的数量。“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。“若干个”的含义是一个或一个以上,除非另有明确具体的限定。
47.请参阅图1至图2,本实用新型实施例提供了一种水平电镀设备,包括放卷机构1和镀液槽2,镀液槽2内设置有上排正极导电钛篮3和下排正极导电钛篮4,上排正极导电钛篮3和下排正极导电钛篮4的左右两侧均设置有阴极边缘导电机构5,阴极边缘导电机构5通过上下两个导电皮带夹紧放卷机构1所输送的薄膜17的边缘形成边缘导电并带动薄膜17移动,使薄膜17沿着水平直线方向经过上排正极导电钛篮3和下排正极导电钛篮4之间。本实用新型通过阴极边缘导电机构5的上下两个导电皮带将阴极电流传递到镀液中与上排正极导电钛篮3和下排正极导电钛篮4形成导电闭环体,通过电流把镀液中铜离子均匀的覆盖在薄膜17上,且通过边缘压紧导电的方式可有效的解决产品孔洞多及孔洞直径偏大的问题。
48.请参阅图3至图5,阴极边缘导电机构5包括上导电皮带501、下导电皮带502、上导电皮带驱动组件、下导电皮带驱动组件、上导电皮带压紧组件及下导电皮带压紧组件,上导电皮带501与下导电皮带502上下相对设置,上导电皮带驱动组件与上导电皮带501连接并带动上导电皮带501转动,上导电皮带压紧组件带动上导电皮带501的下端下移,压向下导
电皮带502并张紧上导电皮带501,下导电皮带驱动组件与下导电皮带502连接并带动下导电皮带502转动,下导电皮带压紧组件带动下导电皮带502的下端下移,张紧下导电皮带502。通过上导电皮带压紧组件和下导电皮带压紧组件,可以在薄膜17运行中起到压紧薄膜17边缘、将负极电流均匀传递到薄膜17上以及水平平稳的带动薄膜17运行的作用。
49.请参阅图3至图5,上导电皮带驱动组件包括上导电皮带驱动电机504和上下两排上导电皮带轮503,上排的上导电皮带轮503和上导电皮带驱动电机504安装在第一固定板505上,下排的上导电皮带轮503安装在第二固定板506上,上导电皮带501套设在上下两排上导电皮带轮503上,上导电皮带驱动电机504与上排任意一个上导电皮带轮503连接并带动该上导电皮带轮503转动,从而实现带动上导电皮带501转动。
50.请参阅图3至图5,下导电皮带驱动组件包括下导电皮带驱动电机508和上下两排下导电皮带轮507,上排的下导电皮带轮507安装在第三固定板509上,下排的下导电皮带轮507和下导电皮带驱动电机508安装在第四固定板510上,下导电皮带502套设在上下两排下导电皮带轮507上,下导电皮带驱动电机508与下排任意一个下导电皮带轮507连接并带动该下导电皮带轮507转动,从而实现带动下导电皮带502转动。
51.请参阅图3至图5,上导电皮带压紧组件包括上压紧气缸511和多个并排均匀的设置在下排的上导电皮带轮503之间的上包胶压轮512,上压紧气缸511安装在第一固定板505上,多个上包胶压轮512安装在第二固定板506上,上压紧气缸511的活动端与第二固定板506连接并带动第二固定板506上下移动。上压紧气缸511启动后,通过第二固定板506带动下排的上导电皮带轮503和上包胶压轮512下移,从而带动上导电皮带501的下端下移,压向下导电皮带502并张紧上导电皮带501。
52.请参阅图3至图5,下导电皮带压紧组件包括下压紧气缸513和多个并排均匀的设置在上排的下导电皮带轮507之间的下包胶压轮514,下压紧气缸513安装在第五固定板515上,多个下包胶压轮514安装在第三固定板509上,下压紧气缸513的活动端与第四固定板510连接并带动第四固定板510上下移动。下压紧气缸513启动后,通过第四固定板510带动下排的下导电皮带轮507下移,从而带动下导电皮带502的下端下移,张紧下导电皮带502。因上包胶压轮512和下包胶压轮514质地比较柔软,既能使上导电皮带501和下导电皮带502均匀的压紧薄膜17的边缘,又能起到缓冲作用,避免压坏薄膜17。
53.请参阅图3至图5,为了使下压紧气缸513能够平稳的带动第四固定板510下移,第五固定板515的底部设置有第一直线导杆516,第四固定板510上设置有第一直线轴承517,第一直线轴承517套设在第一直线导杆516外,使得第四固定板510可以沿着在第一直线导杆516上下移动。
54.请参阅图3至图5,阴极边缘导电机构5还包括穿膜提升组件,穿膜提升组件的提升端与上导电皮带501、上导电皮带驱动组件及上导电皮带压紧组件连接,并带动上导电皮带501、上导电皮带驱动组件及上导电皮带压紧组件上下移动。在薄膜17断带或者第一次穿膜时,先由上导电皮带501和下导电皮带502把薄膜17带过去之后,然后穿膜提升组件将上导电皮带501、上导电皮带驱动组件及上导电皮带压紧组件整体提起来,从而使得工作人员可以整理穿带好的薄膜17。
55.请参阅图3至图5,穿膜提升组件包括穿膜提升气缸518,穿膜提升气缸518安装在第六固定板519上,穿膜提升气缸518的活动端与第一固定板505连接并带动第一固定板505
上下移动,进而带动第二固定板506上下移动,从而带动上导电皮带501、上导电皮带驱动组件及上导电皮带压紧组件上下移动。
56.请参阅图3至图5,为了使穿膜提升气缸518能够平稳的带动第一固定板505上下移动,上压紧气缸511能够平稳的带动第二固定板506上下移动,第六固定板519与第三固定板509之间设置有第二直线导杆520,第一固定板505上设置有第二直线轴承521,第二固定板506上设置有第三直线轴承522,第二直线轴承521和第三直线轴承522均套设在第二直线导杆520外,使得第一固定板505和第二固定板506可以沿着在第二直线导杆520上下移动。
57.请参阅图3至图4,阴极边缘导电机构5还包括若干个上导电滑环523和若干个下导电滑环526,若干个上导电滑环523安装在第一固定板505上,上导电滑环523通过上导电转轴524连接上导电轮525,上导电轮525与上导电皮带501的导电层接触;若干个下导电滑环526安装在第四固定板510下,下导电滑环526通过下导电转轴527连接下导电轮528,下导电轮528与下导电皮带502的导电层接触。上导电滑环523通过上导电转轴524、上导电轮525实现将负极电流传递到上导电皮带501的导电层,下导电滑环526通过下导电转轴527、下导电轮528实现将负极电流传递到下导电皮带502的导电层,进而通过上导电皮带501和下导电皮带502的导电层将负极电流传递到薄膜17上。
58.优选的,上导电皮带501的导电层位于上导电皮带501的外表面内侧边缘,上导电皮带501的导电层位于下导电皮带502的外表面内侧边缘,使得上导电皮带501和下导电皮带502的导电层仅与薄膜17的边缘接触。
59.请参阅图3至图4,阴极边缘导电机构5还包括上辅助阴极槽529和下辅助阴极槽530,上辅助阴极槽529安装在第一固定板505上,上辅助阴极槽529的两侧设置有供上导电皮带501穿过的开口,上辅助阴极槽529内设置有用于消除上导电皮带501的导电层表面的镀铜颗粒的上蚀铜机构/蚀铜液体;下辅助阴极槽530安装在第四固定板510上,上辅助阴极槽529的两侧设置有供下导电皮带502穿过的开口,上辅助阴极槽529内设置有用于消除将下导电皮带502的导电层表面的镀铜颗粒的下蚀铜机构/蚀铜液体。在电镀过程中,上导电皮带501和下导电皮带502的导电层会吸引铜离子,极易镀上点装镀铜颗粒,镀铜颗粒在电流作用下不断长大,容易刺穿薄膜17的边缘处的膜面,因此通过在上导电皮带501的走带路径上设置上辅助阴极槽529,在下导电皮带502的走带路径上设置下辅助阴极槽530,可以及时消除上导电皮带501和下导电皮带502的导电层表面的镀铜颗粒。
60.请参阅图3至图5,阴极边缘导电机构5还包括用于夹持薄膜17的夹持机构531,夹持机构531设置在上导电皮带501与下导电皮带502的入膜口,通过在上导电皮带501与下导电皮带502的入膜口先把薄膜17的膜面夹持,可以防止薄膜17后溜带引起的不良问题,起到将薄膜17拉紧的作用。
61.请参阅图2、图6,放卷机构1与镀液槽2之间设置有负极导电辊组6,负极导电辊组6包括多个上下间隔设置的负极导电辊,镀液槽2的内部前端设置有两个相互平行的左正极导电钛板7和右正极导电钛板8,薄膜17依次经过多个负极导电辊后进入镀液槽2内,并依次经过左正极导电钛板7和右正极导电钛板8之间、上排正极导电钛篮3和下排正极导电钛篮4之间。负极导电辊组6将负极电流传递到薄膜17,薄膜17进入镀液后,将阴极电流传递到镀液中与左正极导电钛板7和右正极导电钛板8形成导电闭环体,把镀液中铜离子覆盖在薄膜17上,对薄膜17进行预镀,同时因为薄膜17进入镀液中才会开始镀铜,也不会使产品产生孔
洞。因铜离子在镀液中具有流动性,铜离子移动到薄膜17有时间差,薄膜17在镀液中进行水平镀铜前,先进行预镀,让部分的铜离子先覆盖在薄膜17上,从而使得薄膜17镀铜效果更好,均匀性更高。
62.请参阅图1、图2,放卷机构1与负极导电辊组6之间依次设置有第一过棍9和展平辊10,薄膜17依次经过第一过棍9、展平辊10及负极导电辊组6,进入镀液槽2内。第一过棍9用于牵引控制薄膜17的走带路径,使得薄膜17能够顺利的与其他设备对接。展平辊10用于将薄膜17撑平,避免薄膜17发生褶皱,影响产品质量。
63.请参阅图1、图2,镀液槽2的后端设置有出料挤液辊组11,薄膜17从上排正极导电钛篮3和下排正极导电钛篮4之间经过后,经过出料挤液辊组11,出料挤液辊组11对镀铜后薄膜17进行挤压,挤出薄膜17上残留的镀液。具体的,出料挤液辊组11包括固定辊1101、活动压辊1102及出料挤液气缸1103,活动压辊1102与固定辊1101相互平行,出料挤液气缸1103的活动端与活动压辊1102连接并带动活动压辊1102压向固定辊1101。薄膜17经过固定辊1101和活动压辊1102之间时,出料挤液气缸1103启动,带动活动压辊1102压向固定辊1101,从而对薄膜17进行挤压,挤出薄膜17上残留的镀液。
64.请参阅图2、图7、图8,镀液槽2的内部前端设置第二过棍12,镀液槽2的内部后端设置第三过棍13,薄膜17沿着水平直线方向依次经过第二过棍12、上排正极导电钛篮3和下排正极导电钛篮4之间及第三过棍13。第二过棍12和第三过棍13用于牵引控制镀液内薄膜17的走带路径,使得薄膜17在进入镀液后能够水平经过上排正极导电钛篮3和下排正极导电钛篮4之间,并能够顺利的与其他设备对接。
65.请参阅图2、图7、图8,镀液槽2的内部前端设置有进液管14,镀液槽2的内部后端设置有出液管15,进液管14不断的输进镀液和出液管15不断排出的镀液,即可以使得镀液中铜离子的浓度保持不变,又可以使得镀液槽2内部的镀液顺着薄膜17移动方向的均匀流动,从而使得薄膜17的镀铜效果更佳,均匀性更高。
66.请参阅图1、图2,镀液槽2的下方设置有接液槽16,接液槽16与镀液槽2的排液口连通,镀液槽2内的镀液可以通过排液口排到接液槽16内。同时,镀液槽2的内部四角设置有满液预留口201,满液预留口201与接液槽16连通。当镀液槽2内部的镀液高度达到满液预留口201的高度时,高于满液预留口201的镀液会顺着满液预留口201流进接液槽16内,也可以避免镀液槽2进液量大于排液量时,镀液溢出镀液槽2流到设备外部,造成资源浪费,以及影响设备的运行。
67.应当理解的是,对本领域普通技术人员来说,可以根据上述说明加以改进或变换,而所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。
68.上面结合附图对本实用新型专利进行了示例性的描述,显然本实用新型专利的实现并不受上述方式的限制,只要采用了本实用新型专利的方法构思和技术方案进行的各种改进,或未经改进将本实用新型专利的构思和技术方案直接应用于其它场合的,均在本实用新型的保护范围内。
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