一种钢带传输装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体电镀技术领域，尤其涉及一种钢带传输装置。


背景技术：

2.在利用半导体电镀设备加工电镀产品时，需要对产品进行通电，使得电解工艺槽体内的铜电镀至产品上。在实际生产过程中，由于下钢带是和产品一起被浸没在电解液中的，因此会出现铜被电镀到下钢带上的现象，从而影响产品镀铜的均匀性，影响产品的良率和品质。同时，下钢带上被镀铜后，在下钢带传输的过程中会导致下钢带上的铜掉落入电解工艺槽体内，从而出现污染电解液的现象，缩短电解液的使用寿命，增加成本。
3.因此，亟需设计一种钢带传输装置，来解决以上技术问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提出一种钢带传输装置，结构简单，能够使上钢带和下钢带绝缘，避免下钢带镀金属，提高产品良率和品质；能够延长电解液的使用寿命，节约成本。
5.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
6.本实用新型提供一种钢带传输装置，包括：
7.转轴，所述转轴上设置有上转盘和下转盘，所述上转盘上设置有上钢带，所述下转盘上设置有下钢带，所述转轴能够驱动所述上转盘和/或所述下转盘进行转动；
8.钢带绝缘组件，所述钢带绝缘组件套设在所述转轴上，所述下转盘设置在所述钢带绝缘组件上，所述钢带绝缘组件被配置为绝缘所述下钢带和所述转轴。
9.作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述钢带绝缘组件包括第一绝缘部和第二绝缘部，所述第一绝缘部与所述第二绝缘部一体成型，所述第一绝缘部套设在所述转轴上，所述第二绝缘部位于所述第一绝缘部的下方，所述第二绝缘部用于支撑所述下转盘。
10.作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述第一绝缘部的截面和所述第二绝缘部的截面均呈圆形，且所述第二绝缘部的直径大于所述第一绝缘部的直径。
11.作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述下转盘上开设有第一安装孔，所述第二绝缘部上开设有第二安装孔，所述钢带传输装置包括固定件，所述固定件穿设在所述第一安装孔和所述第二安装孔中。
12.作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述第一绝缘部内壁上凸设有凸出部，所述凸出部将所述第一绝缘部限定出第一容置空间和第二容置空间；所述转轴上设置有第一轴承和第二轴承，所述第一轴承和所述第二轴承之间限定出第三容置空间，所述凸出部容置在所述第三容置空间内，所述第一轴承容置于所述第一容置空间，所述第二轴承容置于所述第二容置空间。
13.作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述钢带传输装置还包括拖轮，所述拖轮套设在所述转轴上，且所述拖轮设置在所述钢带绝缘组件的下方，所述拖轮被配置为托衬所述钢带绝缘组件。
14.作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述转轴上设置有键槽，所述钢带传输装置包括花键，所述花键设置在所述键槽内，所述上转盘通过所述花键装配在所述转轴上。
15.作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述钢带绝缘组件为硅胶件。
16.作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述钢带传输装置包括上连接板和下连接板，所述转轴的两端分别与所述上连接板和所述下连接板连接。
17.作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述钢带传输装置还包括架体，所述上连接板和所述下连接板均固定连接在所述架体上。
18.本实用新型的有益效果至少包括：
19.本实用新型提供一种钢带传输装置，该钢带传输装置主要包括转轴、上转盘、下转盘和钢带绝缘组件。其中转轴上设置有上转盘和下转盘，上转盘上设置有上钢带，下转盘上设置有下钢带，转轴能够驱动上转盘和/或下转盘进行转动。钢带绝缘组件套设在转轴上，下转盘设置在钢带绝缘组件上，钢带绝缘组件被配置为绝缘下钢带和转轴。通过在下转盘与转轴之间设置钢带绝缘组件，进而实现转轴与下钢带的绝缘，这样使得转轴上的电流无法传递至下转盘，进而也就使得下钢带无法实现电流的导通，从而使得电解工艺槽体内的电解液无法电镀至下钢带上，保证了下钢带的稳定性和可靠性，能够避免下钢带由于电镀上金属后在传输过程中导致下钢带上的金属掉落入电解工艺槽体内，从而出现污染电解液的危险，也就是说，避免了电解液被污染，延长电解液的使用寿命，节约成本。同时，提升产品电镀的均匀性，提高产品良率。
附图说明
20.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本实用新型实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
21.图1为本实用新型实施例所提供的钢带传输装置(去除架体)的结构示意图；
22.图2为图1中a处的局部放大图；
23.图3为本实用新型实施例所提供的钢带传输装置(去除架体)在另一视角下的结构示意图；
24.图4为本实用新型实施例所提供的钢带传输装置(去除架体、上连接板和下连接板)的爆炸图；
25.图5为本实用新型实施例所提供的钢带传输装置的结构示意图。
26.附图标记
27.100、转轴；110、第一轴承；120、第二轴承；130、拖轮；140、键槽；
28.200、上转盘；
29.300、下转盘；310、第一安装孔；
30.400、钢带绝缘组件；410、第一绝缘部；4101、凸出部；420、第二绝缘部；430、第二安装孔；
31.500、上连接板；600、下连接板；700、架体。
具体实施方式
32.为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
33.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
34.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
35.在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
36.如图1-图3所示，本实施例提供一种钢带传输装置，该钢带传输装置主要包括转轴100、上转盘200、下转盘300和钢带绝缘组件400。其中转轴100上设置有上转盘200和下转盘300，上转盘200上设置有上钢带，下转盘300上设置有下钢带，转轴100能够驱动上转盘200和/或下转盘300进行转动。钢带绝缘组件400套设在转轴100上，下转盘300设置在钢带绝缘组件400上，钢带绝缘组件400被配置为绝缘下钢带和转轴100。
37.基于以上设计，转轴100、上转盘200和下转盘300均采用金属材质制成。例如可以采用不锈钢材质。由于在实际生产过程中需要对钢带传输装置进行通电，电流传导至转轴100上，转轴100与上转盘200导电连接，上转盘200与上钢带导电连接，上钢带上设置有夹具，夹具上夹持着待电镀的产品。电流能够经转轴100传导至上转盘200的钢带上，进而传导至待电镀产品上，使得电解液中的金属电镀至待电镀产品的表面，完成电镀工艺。下钢带上也设置有夹具，用于支撑夹持待电镀产品，其中，在进行电镀工艺时，下钢带始终位于电解液中。本实施例中通过在下转盘300与转轴100之间设置钢带绝缘组件400，进而实现转轴100与下钢带的绝缘，这样使得转轴100上的电流无法传递至下转盘300，进而也就使得下钢带无法实现电流的导通，从而使得电解工艺槽体内的电解液无法电镀至下钢带上，保证了下钢带的稳定性，能够避免下钢带由于电镀上金属后在传输过程中导致下钢带上的金属掉落入电解工艺槽体内，从而出现污染电解液的危险，避免电解液被污染，延长电解液的使用寿命，节约成本。同时，提升产品电镀的均匀性，提高产品良率。
38.可选地，本实施例中的电镀金属可以为电镀铜。
39.如图4所示，在本实施例中，钢带绝缘组件400包括第一绝缘部410和第二绝缘部420，第一绝缘部410与第二绝缘部420一体成型，第一绝缘部410套设在转轴100上，第二绝缘部420位于第一绝缘部410的下方，第二绝缘部420用于支撑下转盘300。进一步地，第一绝
缘部410的截面和第二绝缘部420的截面均呈圆形，且第二绝缘部420的直径大于第一绝缘部410的直径，进而使得第二绝缘部420能够支撑并绝缘下转盘300。
40.可选地，本实施例中的钢带绝缘组件400可以采用硅胶材质制成，也可以采用塑料材质制成，还可以采用其他绝缘性的材质制成，此处不再一一赘述。
41.如图1所示，在本实施例中，下转盘300上开设有第一安装孔310，第二绝缘部420上开设有第二安装孔430，钢带传输装置包括固定件，固定件穿设在第一安装孔310和第二安装孔430中。固定件可以设置为螺栓，通过固定件实现下转盘300与钢带绝缘组件400的稳定连接，避免下转盘300与钢带绝缘组件400出现相对位移或松脱的现象，从而影响两者之间绝缘的可靠性。
42.请继续参考图4，在本实施例中，第一绝缘部410内壁上凸设有凸出部4101，凸出部4101将第一绝缘部410限定出第一容置空间和第二容置空间；转轴100上设置有第一轴承110和第二轴承120，第一轴承110和第二轴承120之间限定出第三容置空间，凸出部4101容置在第三容置空间内，进而提高钢带绝缘组件400与转轴100连接的可靠性和稳定性，避免钢带绝缘组件400松脱。第一轴承110容置于第一容置空间，第二轴承120容置于第二容置空间。第一轴承110和第二轴承120的设置有利于提高下转盘300转动的灵活性。
43.如图1所示，本实施例中的钢带传输装置还包括拖轮130，拖轮130套设在转轴100上，且拖轮130设置在钢带绝缘组件400的下方，拖轮130被配置为托衬钢带绝缘组件400。拖轮130的设置有利于提高下转盘300的稳定性，避免下转盘300转脱落转轴100。
44.如图4所示，在本实施例中，转轴100上设置有键槽140，钢带传输装置包括花键(图中未示出)，花键设置在键槽140内，上转盘200通过花键装配在转轴100上，进而提高转轴100与上转盘200连接的稳定性和可靠性，使得转轴100与上转盘200形成一个整体。可以理解的是，在本实施例中，转轴100上可以设置驱动齿轮(图中未示出)，驱动齿轮与电机(图中未示出)驱动连接，使得电机能够带动驱动齿轮转动，从而使得驱动齿轮带动转轴100转动，由于转轴100与上转盘200采用花键和键槽140的结构稳定连接，这样使得当转轴100在转动时，转轴100能够同步带动上转盘200转动。当然，也可以将电机直接与转轴100连接，使得电机直接驱动转轴100转动，本实施例对驱动的方式不做要求，只要能够实现转轴100驱动上转盘200同步转动即可。本实施例中采用另外一台电机独立与下转盘300驱动连接，进而实现另一台电机驱动下转盘300进行转动，作业人员可以通过调节上述两台电机的转速和频率，使得上转盘200和下转盘300实现同步转动。
45.如图1所示，在本实施例中，钢带传输装置包括上连接板500和下连接板600，转轴100的两端分别与上连接板500和下连接板600连接，进而有利于转轴100的转动，同时提高上转盘200和下转盘300的转动的稳定性。
46.进一步地，如图5所示，本实施例中的钢带传输装置还包括架体700，上连接板500和下连接板600均固定连接在架体700上。架体700的设置有利于将上连接板500和下连接板600架设在一定的高度上，便于作业人员的实际作业，提高加工操作的效率。
47.显然，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实
用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。
48.注意，在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”等的描述意指接合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式接合。