专利名称：实现容器中高真空度快速抽提的方法及其组合机组的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种对需抽真空容器的腔体中实现高真空度快速抽提的方法及其组合机组。
钠、钾、磷、钡等及其合金类吸气物以及锆类吸气物由于其固有的物理特性，都能吸附活性气体。众所周知钠、钾、磷、钡等及其合金对活泼的氧化性气体如O2H2、CO、CO2等具有很强的化学吸附作用，且抽速快，吸附量大；而锆类对氢具有很强的吸附力，但其抽速和吸气总量均无法与钠、钾、磷、钡及其合金类吸气物相比，一般多用于对已被抽成真空的真空腔维持高真空度，将其直接用于抽提真空尚未见报道。由于钠、钾、磷、钡等及其合金类吸气物和锆类吸气物的性质存在很大的差别，其使用中承受的吸气压力不同，因而在抽提真空的过程中分别采用钠、钾、磷、钡等及其合金类吸气物和锆类吸气物更未见有报道。
本发明的目的是这样实现的一种实现容器中高真空度快速抽提的方法，其特征在于将需抽真空容器的腔体在密封条件下与主抽提吸气仓形成一个密闭空间，吸气仓中活性吸气物将腔体内真空度提高到10-1pa～10-3pa再关闭其接触通道，然后使腔体内残留气体与副抽提吸气仓中激活的锆类吸气物接触，将真空度提升到10-3pa以上。
一种实现容器中高真空度快速抽提方法的组合机组，包括真空度测量装置，其特征在于组合机组中还包括主抽提吸气仓和副抽提吸气仓，所述各独立单元通过控制阀与需抽真空的腔体接口相接。
本发明的优点在于它与传统的实现腔体中高真空度的方法相比，由于它是以钠、钾、磷、钡等及其合金类吸气物为主抽提物，以锆类吸气物为副抽提物，具有方法简单，效率高，能耗低，其组合机组体积小，携带方便，且抽速快，尤其是在电力不足的野外作业时，仅凭蓄电池或干电池就能保证机组的正常运行。
图中1、需抽真空的腔体接口，2、真空度测量装置，3、副抽提吸气仓，4、主抽提吸气仓，5、释气单元，6、真空泵，7、电源，8、钠、钾、磷、钡及其合金类吸气物，9、加热体，10、吸气膜，11、锆类吸气物，12、控制阀。
本发明涉及的实现腔体中高真空度的方法是通过上述组合机组实现的，将需抽真空的腔体密封状态下与主抽提吸气仓4中的钠、钾、磷、钡及其合金类吸气物8接触，将腔内真空度提高到10-2pa～10-3pa，关闭其接触通道上的控制阀12，再打开副抽提吸气仓3接触通道上的控制阀12，使腔体内残留气体与副抽提吸气仓激活的锆类吸气物接触，将真空度提升到10-3pa以上。
具体实施时，也可以在将需抽真空的腔体密封状态下与主抽提吸气仓4中的钠、钾、磷、钡及其合金类吸气物8接触前，先通过真空泵将腔体中的真空度6抽提到200pa～400pa，关闭真空泵6通道上的控制阀12，然后进入后序流程。
具体实施时，还可以在将需抽真空的腔体密封状态下与主抽提吸气仓4中的钠、钾、磷、钡及其合金类吸气物8接触前，先通过真空泵将腔体中的真空度6抽提到200pa～400pa后，关闭真空泵6通道上的控制阀12，再打开释气单元5接触通道上的控制阀12，充入活性气体，使真空度下降，再重新启动真空泵6，将腔体真空度抽提到200pa～400pa后，关闭真空泵6通道上的控制阀12，然后进入后序流程。释气单元5中的活性气体可以是氮气或氧气或一氧化碳或二氧化碳等。在本实施例中，释气单元5中的活性气体是氧气。
由图2可见，所述的主抽提吸气仓4的中设有钠、钾、磷、钡及其合金类吸气物8，在本实施例中，钠、钾、磷、钡及其合金类吸气物8选用钡合金类吸气物，钡合金类吸气物的中心设有加热体9，钡合金类吸气物可以采用钡铝镍(BaALNi)或钡铝钛(BaALTi)合金粉制成的钡环，加热体9使钡合金类吸气物的钡分子扩散蒸发，使其在用玻璃或不锈钢材料制作的仓壁上形成一层钡吸气膜10，所述吸气膜10对活泼的氧化性气体具有很强的吸附作用，迅速将腔内真空度提高到10-1pa～10-3pa。
由图3和图4可见，副抽提吸气仓3中设有回转排列的锆类吸气物11，在本实施例中，所述的锆类吸气物11可以采用锆钒铁(ZrVFe)或锆铝(ZrAl)等合金粉压制或涂覆于康铜或镍或镀镍铁带上，制成锆带，并回转排列在副抽提吸气仓3中，工作前锆带因通电而发热，使压制或涂覆的锆类吸气物表面清洁，扩散和排出气体后被激活，被激活的锆带在工作中将会吸附更多的活性气体。
权利要求
1.一种实现容器中高真空度快速抽提的方法，其特征在于将需抽真空容器的腔体在密封条件下与主抽提吸气仓形成一个密闭空间，吸气仓中活性吸气物将腔体内真空度提高到10-1pa～10-3pa再关闭其接触通道，然后使腔体内残留气体与副抽提吸气仓中激活的锆类吸气物接触，将真空度提升到10-3pa以上。
2.根据权利要求1所述的实现容器中高真空度快速抽提的方法，其特征在于所述的活性吸气物为钠、钾、磷、钡及其合金，所述的活性吸气物可以为粉状或块状或气雾形成的吸气膜。
3.根据权利要求1所述的实现容器中高真空度快速抽提的方法，其特征在于在需抽真空容器的腔体密封状态下接触活性吸气膜前，先通过真空泵将腔体中的真空度抽提到200pa～400pa，关闭真空泵，然后进入后序流程。
4.根据权利要求1所述的实现容器中高真空度快速抽提的方法，其特征在于在需抽真空的腔体密封状态下接触活性吸气物前，先通过真空泵将腔体中的真空度抽提到200pa～400pa，关闭真空泵，再充入活性气体，使真空度下降，并重新启动真空泵，将腔体真空度抽提到200pa～400pa，关闭真空泵，然后进入后序流程。
5.一种实现容器中高真空度快速抽提方法的组合机组，包括真空度测量装置，其特征在于组合机组中还包括主抽提吸气仓和副抽提吸气仓，所述各独立单元通过控制阀与需抽真空的腔体接口相接。
6.根据权利要求5所述的实现容器中高真空度快速抽提方法的组合机组，其特征在于所述的独立单元还可以包括真空泵和充满活性气体的释气单元。
7.根据权利要求6所述的实现容器中高真空度快速抽提方法的组合机组，其特征在于所述的释气单元中的活性气体可以是氧气或氮气或氢气或一氧化碳或二氧化碳。
8.根据权利要求5或6所述的实现容器中高真空度快速抽提方法的组合机组，其特征在于所述各独立单元可以安装于同一机架上，也可以将各独立单元分别通过管路组装。
全文摘要
本发明涉及一种腔体中实现高真空度的方法及其组合机组。其特征在于将需抽真空的腔体密封状态下与活性吸气物接触，再使腔体内残留气体与激活的锆类吸气物接触，将真空度提升到10
文档编号F04B37/00GK1431397SQ03112860
公开日2003年7月23日 申请日期2003年2月21日 优先权日2003年2月21日
发明者朱雷 申请人:朱雷