专利名称：罗茨真空泵的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及真空设备技术领域，尤其是一种罗茨真空泵。
背景技术：
众所周知，罗茨真空泵必须在大气压强小于10千帕以后才能启动，常用
的罗茨真空泵都带有一个安装在吸风区和排风区之间的溢流阀，以防止因吸风 区和排风区之间压差过大时罗茨真空泵电机长时间过载运行，当罗茨真空泵工
作时，被抽气体从进气口进入泵的密封腔体内，再从呈"8"形的转子和泵壳 之间的腔体中通过，到达排气口，被前级泵抽走，如吸风区和排风区之间压差 较小，则气体直接被前级泵抽走，同时通过设在溢流阀底部的密封圈使真空度 得到保证，如压差较大，达到对溢流阀阀体底面的作用力大于溢流阀阀体的自 重，则溢流阀阀体被顶开，部分气体重回到进气口，从而保护罗茨真空泵电机 不长时间过载运行；但当罗茨真空泵不工作时，吸风区和排风区之间几乎没有 压力差，溢流阀不动作，所有从进气口抽入的气体只能从"8"形的转子之间 的间隙中通过，此间隙一般只有0.2mm左右，所以，罗茨真空泵不工作时，此 间隙就反而成为了对前级泵抽气速度的制约，从而延长了罗茨真空泵的启动时 间，降低了生产效率，如果从前级泵进气口做三通并增加阀门、管道等直接与 被抽真空腔体连接，也能实现提高抽气速度的目的，但从设备的整体性、安全 可靠性以及改造的难度系数等方面考虑，都不是太经济合适。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种罗茨真空泵，其可提高前级泵的预抽气速 度，使前级泵在较短时间内将真空系统中的气压抽到罗茨真空泵的启动压强以下，从而达到提高生产效率的目的。
本实用新型实现其目的所采用的技术方案是 一种罗茨真空泵，包括泵体， 泵体内具有吸风区和排风区，吸风区和排风区之间设置有通道，所述的通道通 过可控阀门实现其开启或关闭，在罗茨真空泵未工作、前级泵预抽气时通道为 开启状态，罗茨真空泵工作时通道为关闭状态。
所述的可控阀门为气动式。
本实用新型的有益效果是本实用新型采用气动式可控阀门来控制吸风区 和排风区之间通道的开启或关闭，在前级泵进行预抽气时，通道开通，吸风区 的气体可直接经通道通过排风区抽走，从而使得前级泵从大气状态抽到罗茨真 空泵启动工作压强的时间较原先缩短了 2/3左右，大大提高了生产效率。以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型应用于真空系统的结构示意图。 图3是真空系统应用于连续式镀膜设备系统的结构示意图。 图中l.泵体2.吸风区3.排风区4.通道5.可控阀门6.真空腔体 7.滑阀真空泵 8.罗茨真空泵 9.高真空泵10.进片室11.隔离阀门 12.前过度室13.镀膜室14.后过度室 15.出片室 16.放气阀具体实施方式
。
现在结合附图对本实用新型作进一步的说明。这些附图均为简化的示意 图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有 关的构成。
如
图1所示的一种罗茨真空泵，包括泵体1，泵体1内具有吸风区2和排风区3，吸风区2和排风区3之间设置有通道4，所述的通道4通过可控阀门5 实现其开启或关闭，该可控阀门5采用气动式控制。
具体说，该罗茨真空泵合理地利用了原带溢流阀的罗茨真空泵的结构，原 带溢流阀的罗茨真空泵在吸风区2和排风区3之间设有溢流阀，现将原先设置 的溢流阀去除后，在原位置设置了气动式可控阀门5，变成了一个可控制的通 道4，在罗茨真空泵停止工作时，气动式可控阀门5打开，使通道4面积增加， 流阻减少，这样在吸风区2的气体就可经该通道4通过排风区3被前级泵快速 抽走，由此提高了前级泵的抽气效率，使前级泵在较短时间内将真空系统中的 气压抽到罗茨真空泵的启动压强以下，从而达到提高生产效率的目的，当罗茨 真空泵开始工作时，通过可控阀门5关闭而使通道4阻断，从而保证罗茨真空 泵的抽气速度和真空度要求，而气动式可控阀门5的工作状态根据罗茨真空泵 的工作状态而定，由PLC程序控制，与罗茨真空泵联动。
图2是真空系统的结构示意图，在通常的真空系统中，为了提高抽气速率 并保证真空腔体6达到较好的真空度要求,通常采用滑阀真空泵7+罗茨真空泵 8+罗茨真空泵8+高真空泵9的组合形式来对真空腔体6抽真空，而罗茨真空泵 8和高真空泵9是不能直接抽除大气的，其中的罗茨真空泵8必须在压强小于 IO千帕以后才能启动， 一般工作压强是小于4千帕，系统工作时，是滑阀真 空泵7先工作，将系统中的气压抽至罗茨真空泵8启动的压强之下，罗茨真空 泵8和高真空泵9依次开始，将真空腔体6内的真空度抽到符合要求。
图3真空系统应用于连续式镀膜设备系统的结构示意图，系统工作时，首 先在手动条件下，中间镀膜室13依靠滑阀真空泵7+罗茨真空泵8+罗茨真空泵 8组成的真空机组将气体压强抽到10帕以下，其中当真空机组从大气状态下开 始抽气时，将罗茨真空泵8上的气动式可控阀门5打幵，此时因压强没有达到4000帕左右，罗茨真空泵8没有启动，被抽气体就直接从吸风区2通过原溢流 阀口的直径80mm左右的通道4到达排风区3，被前级滑阀真空泵7抽走，有效 提高了滑阀真空泵7的抽速，使滑阀真空泵7从大气抽到罗茨真空泵8启动工 作压强的时间縮短了 2/3左右；当罗茨真空泵8开始工作时，可控阔门5关闭， 吸风区2和排风区3之间的通道4阻断，保证了罗茨真空泵8的抽速和其极限 真空度的要求。
在将气体压强抽到10帕以下时，高真空泵9工作和高真空阀门开启开始抽 高真空，当达到工艺真空度要求以及达到工艺温度等条件后，转入自动程序。 此时，进片室10的放气阀16在进片室10与前过渡室12之间的隔离阀门11 关闭的条件下工作，进片室10变成大气压，工件进入进片室10，放气阀16 关闭，机组工作，将进片室10抽到3帕以下，进片室10和前过渡室12之间 的隔离阀门11打开，工件送入前过渡室12后关闭隔离阀门11，进片室10再 重复放气接工件。前过渡室12的工件在短暂停留预热并抽除因进片室10较差 真空造成的杂气后，打开前过渡室12与镀膜室13之间的隔离阀门11，工件进 入镀膜室13进行镀膜，镀膜后的工件经后过渡室14冷却后从出片室15送出。 连续式镀膜设备系统的生产效率除了靶表面功率密度影响外，主要局限于 滑阀真空泵7+罗茨真空泵8+罗茨真空泵8组成的低真空机组工作时的抽气效 率，所以要有效提高生产效率，就必须比较经济地提高低真空机组的抽速。
权利要求1.一种罗茨真空泵，包括泵体(1)，泵体(1)内具有吸风区(2)和排风区(3)，吸风区(2)和排风区(3)之间设置有通道(4)，其特征是所述的通道(4)通过可控阀门(5)实现其开启或关闭。
2. 根据权利要求1所述的罗茨真空泵，其特征是所述的可控阀门(5)为气 动式。
专利摘要本实用新型公开了一种罗茨真空泵，用于真空系统中对真空腔体抽取真空度，包括泵体，泵体内具有吸风区和排风区，吸风区和排风区之间设置有通道，所述的通道通过可控阀门实现其开启或关闭，所述的可控阀门为气动式。本实用新型采用气动式可控阀门来控制吸风区和排风区之间通道的开启或关闭，在前级泵对真空腔体进行预抽气时，通道开通，吸风区的气体可直接经通道通过排风区抽走，从而使得前级泵从大气状态抽到罗茨真空泵启动工作压强的时间较原先大大缩短，由此提高了生产效率。
文档编号F04C18/14GK201344125SQ20092014297
公开日2009年11月11日 申请日期2009年2月5日 优先权日2009年2月5日
发明者冯新伟 申请人:江苏津通先锋光电显示技术有限公司