专利名称：一种用于半导体电镀设备的排液泵结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体化学电镀设备，特别是涉及一种用于半导体电镀设备的排液泵结构。
背景技术：
化学电镀是半导体制程中一个非常重要的制程，几乎每一个半导体器件都需要进行若干次的化学电镀，因此，保证化学电镀制程的稳定性对半导体生产至关重要。在化学电镀的过程中，为了保持电镀的稳定性，其反应液在离子浓度低于预设值时便需要进行换液，此时需要及时将这些原有的废液抽出以进行反应液的替换。一般的化学电镀设备可以通过排液泵将这些废液抽出。现有的一种排液泵，其包括动力轴，该动力轴的一端具有卡槽；泵体，该泵体的一侧壁上具有多个排液孔及一与所述动力轴对应的连接孔；齿轮轴，该齿轮轴的材料为塑料，其轴端具有与该齿轮轴一体成型的塑料卡件，该塑料卡件卡接于所述动力轴的卡槽内以实现与所述动力轴的连接，其齿轮端穿过所述泵体侧壁延伸至泵体外部，且该齿轮端的齿轮上装设有旋转扇叶。如图f图2所示，这种排液泵具有以下缺点I)这种排液泵由于其齿轮轴21通过塑料卡件22卡接于所述动力轴上，在排液泵运行多次后常常会出现损坏现象，从而导致旋转扇叶的转速变慢、化学液泄漏等不良影响，降低排液泵的寿命，如图1所示；2)由于齿轮轴的齿轮211和旋转扇叶(未予图示)经常会接触到如CuSO4等废液，CuSO4容易在齿轮211和旋转扇叶上结成晶体，严重降低排液泵的抽液效率，如图2所示。鉴于以上缺点，提供一种有效提供排液泵的稳定性、延长排液泵寿命及保证抽液效率的排液泵改进结构实属必要。
实用新型内容鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于半导体电镀设备的排液泵结构，用于解决现有技术中排液泵连接容易失效、寿命短及由于扇叶结晶而导致抽液效率减低等问题。为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种用于半导体电镀设备的排液泵结构，所述排液泵结构至少包括动力轴，所述动力轴的一端具有一^^槽；泵体,所述泵体的一侧壁具有多个排液孔及一与所述动力轴对应的连接孔；齿轮轴，所述齿轮轴为金属空心轴，其轴端丝扣连接有一金属螺帽，该金属螺帽卡接于所述卡槽内以实现与所述动力轴的连接，其齿轮端通过所述连接孔延伸至泵体的外部，该齿轮端还设置有一连接至所述齿轮轴内部的喷淋件，所述喷淋件具有多个喷淋孔，且各该喷淋孔朝向所述齿轮端上的齿轮；输液管，包括设置于所述齿轮轴内部的主液管及与该主液管相连且与各该喷淋孔对应的多个分液管；[0012]扇叶,装置于所述齿轮轴的齿轮上。作为本实用新型的用于半导体电镀设备的排液泵结构的一种优选方案，所述齿轮轴的材料为铜或不锈钢。作为本实用新型的用于半导体电镀设备的排液泵结构的一种优选方案，所述金属螺帽的材料为铜或不锈钢。作为本实用新型的用于半导体电镀设备的排液泵结构的一种优选方案，所述卡槽为六角柱状的凹槽，所述金属螺帽为六角柱状的柱体。作为本实用新型的用于半导体电镀设备的排液泵结构的一种优选方案，所述喷淋件具有Γ12个喷淋孔。作为本实用新型的用于半导体电镀设备的排液泵结构的一种优选方案，所述输液管的为聚四氟乙烯PTFE管。如上所述，本实用新型提供一种用于半导体电镀设备的排液泵结构，包括动力轴，所述动力轴的一端具有一卡槽；泵体，所述泵体的一侧壁具有多个排液孔及一与所述动力轴对应的连接孔；齿轮轴，所述齿轮轴为金属空心轴，其轴端丝扣连接有一金属螺帽，该金属螺帽卡接于所述卡槽内以实现与所述动力轴的连接，其齿轮端通过所述连接孔延伸至泵体的外部，该齿轮端还设置有一连接至所述齿轮轴内部的喷淋件，所述喷淋件具有多个喷淋孔，且各该喷淋孔朝向所述齿轮端上的齿轮；输液管，包括设置于所述齿轮轴内部的主液管及与该主液管相连且与各该喷淋孔对应的多个分液管；以及扇叶，装置于所述齿轮轴的齿轮上。本实用新型具有以下有益效果采用金属齿轮轴和金属螺帽设计，可以避免齿轮轴和动力轴连接的失效，有利于提高排液泵的稳定性和寿命；在齿轮和扇叶出增加了喷淋件，有效地避免反应液在齿轮和扇叶上结晶，保证排液泵的工作效率。
图广图2显示为现有技术中的排液泵结构示意图。图3显示为本实用新型的用于半导体电镀设备的排液泵结构的截面结构示意图。图4显示为本实用新型的用于半导体电镀设备的排液泵结构中的金属螺帽的平面结构示意图。图5显示为本实用新型的用于半导体电镀设备的排液泵结构中的喷淋件的平面结构示意图。元件标号说明10动力轴11泵体111排液孔112连接孔12齿轮轴121轴端122齿轮13金属螺帽14喷淋件[0033]141喷淋孔15输液管16扇叶17排液区
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。请参阅图3至图5。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。如图3 图5所示，本实用新型提供一种用于半导体电镀设备的排液泵结构，所述排液泵结构至少包括动力轴10,所述动力轴10的一端具有一^^槽；泵体11,所述泵体11的一侧壁具有多个排液孔111及一与所述动力轴10对应的连接孔112 ；
齿轮轴12，所述齿轮轴12为金属空心轴，其轴端121丝扣连接有一金属螺帽13，该螺帽卡接于所述卡槽内以实现与所述动力轴10的连接，其齿轮端通过所述连接孔112延伸至泵体11的外部，该齿轮端还设置有一连接至所述齿轮轴12内部的喷淋件14，所述喷淋件14具有多个喷淋孔141，且各该喷淋孔141朝向所述齿轮端上的齿轮122 ；输液管15，包括设置于所述齿轮轴12内部的主液管及与该主液管相连且与各该喷淋孔141对应的多个分液管；扇叶16,装置于所述齿轮轴12的齿轮122上。所述动力轴10连接于排液泵发动机,用于为扇叶16的转动提供动力。在本实施例中，所述动力轴10具有一卡槽，该卡槽为六角柱状的凹槽结构。当然，在其它实施例中，所述卡槽也可以是如长方柱、五角柱等多边形柱状凹槽结构，且并不限于此处所列举的几种。所述齿轮轴12的材料为铜或不锈钢，所述金属螺帽13的材料为铜或不锈钢。由于所述齿轮轴12和与其丝扣连接的金属螺帽13采用铜或者不锈钢材料，可以保证所述齿轮轴12和所述动力轴10的连接不会失效，有利于保证排液泵的稳定性，延长排液泵的寿命。需要说明的是，所述齿轮轴12或金属螺帽13的材料并不限于此处所列举的两种，也可以是铝合金、钛合金等金属材料。如图4所示，由于所述动力轴10的卡槽为六角柱状的凹槽，在本实施例中，所述金属螺帽13为六角柱状的柱体，以保证所述金属螺帽13与所述卡槽卡接的稳定性。当然，所述金属螺帽13的形状需根据所述卡槽的形状改变，即所述卡槽为长方柱、五角柱等多边形柱状凹槽结构，则所述金属螺帽13为长方柱、五角柱等多边形柱状结构。所述动力轴10及所述喷淋件14均为中空设计，且喷淋件14与所述动力轴10的内部相连，在本实施例中，所述喷淋件14具有4 12个喷淋孔141，在一具体的实施过程中，所述喷淋件14的形状为圆形，所述喷淋件14具有6个喷淋孔141，该6个喷淋孔141均匀分布于所述喷淋件14中，如图5所示。需要说明的是，所述喷淋件14的喷淋孔141数量可以在一定范围内超出此处所列举的范围，单单是喷淋孔141数量的变化应该落在本实用新型所能实施的范围内。所述输液管15为聚四氟乙烯PTFE管，用于将如去离子水等液体输送至所述喷淋件14，并对所述齿轮轴12的齿轮122及扇叶16进行清洗。所述输液管15内的液体可根据残留在所述齿轮122及扇叶16上的结晶材料而进行改变。在本实施例中，为了清洗CuSO4晶体，输液管15内的液体采用去离子水。聚四氟乙烯PTFE具有较高的稳定性，可以保证内部输送液体的纯净度，并延长所述输液管的寿命。所述泵体11与扇叶16之间为排液区17，排液泵工作时，所述动力轴10带动所述扇叶16转动，将排液区17中的废液通过所述排液孔111排出。同时，通过所述输液管15向所述喷淋件14输送清洗液对所述齿轮122和扇叶16进行清洗。综上所述，本实用新型提供一种用于半导体电镀设备的排液泵结构，包括动力轴10，所述动力轴10的一端具有一卡槽；泵体11，所述泵体11的一侧壁具有多个排液孔111及一与所述动力轴10对应的连接孔112 ;齿轮轴12，所述齿轮轴12为金属空心轴，其轴端121丝扣连接有一金属螺帽13，该金属螺帽卡接于所述卡槽内以实现与所述动力轴10的连接，其齿轮端通过所述连接孔112延伸至泵体11的外部，该齿轮端还设置有一连接至所述齿轮轴12内部的喷淋件14，所述喷淋件14具有多个喷淋孔141，且各该喷淋孔141朝向所述齿轮端上的齿轮122 ;输液管15,包括设置于所述齿轮轴12内部的主液管及与该主液管相连且与各该喷淋孔141对应的多个分液管；以及扇叶16，装置于所述齿轮轴12的齿轮122上。本实用新型具有以下有益效果采用金属齿轮轴12和金属螺帽13设计，可以避免齿轮轴12和动力轴10连接的失效，有利于提高排液泵的稳定性和寿命；在齿轮122和扇叶16出增加了喷淋件14，有效地避免反应液在齿轮122和扇叶16上结晶，保证排液泵的工作效率。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
权利要求1.一种用于半导体电镀设备的排液泵结构，其特征在于，所述排液泵结构至少包括 动力轴，所述动力轴的一端具有一卡槽； 泵体，所述泵体的一侧壁具有多个排液孔及一与所述动力轴对应的连接孔； 齿轮轴，所述齿轮轴为金属空心轴，其轴端丝扣连接有一金属螺帽，该金属螺帽卡接于所述卡槽内以实现与所述动力轴的连接，其齿轮端通过所述连接孔延伸至泵体的外部，该齿轮端还设置有一连接至所述齿轮轴内部的喷淋件，所述喷淋件具有多个喷淋孔，且各该喷淋孔朝向所述齿轮端上的齿轮； 输液管，包括设置于所述齿轮轴内部的主液管及与该主液管相连且与各该喷淋孔对应的多个分液管；以及 扇叶，装置于所述齿轮轴的齿轮上。
2.根据权利要求1所述的用于半导体电镀设备的排液泵结构，其特征在于所述齿轮轴的材料为铜或不锈钢。
3.根据权利要求1所述的用于半导体电镀设备的排液泵结构，其特征在于所述金属螺帽的材料为铜或不锈钢。
4.根据权利要求1所述的用于半导体电镀设备的排液泵结构，其特征在于所述卡槽为六角柱状的凹槽，所述金属螺帽为六角柱状的柱体。
5.根据权利要求1所述的用于半导体电镀设备的排液泵结构，其特征在于所述喷淋件具有Γ12个喷淋孔。
6.根据权利要求1所述的用于半导体电镀设备的排液泵结构，其特征在于所述输液管为聚四氟乙烯PTFE管。
专利摘要本实用新型提供一种用于半导体电镀设备的排液泵结构，包括一端具有一卡槽的动力轴；一侧壁具有多个排液孔及一连接孔的泵体；齿轮轴，其为金属空心轴，其轴端丝扣连接有一金属螺帽，该金属螺帽卡接于所述卡槽内以实现与动力轴的连接，其齿轮端通过所述连接孔延伸至泵体的外部，该齿轮端还设置有一连接至所述齿轮轴内部的喷淋件，所述喷淋件具有多个喷淋孔，且各该喷淋孔朝向齿轮；输液管，包括设置于所述齿轮轴内部的主液管及与该主液管相连且与各该喷淋孔对应的多个分液管；以及装置于齿轮扇叶。本实用新型采用金属齿轮轴和金属螺帽设计，可以提高排液泵的稳定性和寿命；增加了喷淋件，可以避免反应液在齿轮和扇叶上结晶，保证排液泵的工作效率。
文档编号F04D29/02GK202900680SQ201220564820
公开日2013年4月24日 申请日期2012年10月30日 优先权日2012年10月30日
发明者李广宁 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司