流体控制装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种流体控制装置，通过使管线支承部件的定位更容易，能够实现组装时间的缩短化，并且能够抑制对流体控制仪器进行支承的部分的高度的增加。基座部件（30）通过上横框部件（31）以及下横框部件（32）和与其正交的左右纵框部件（33、34）而形成为方形的框状。在各横框部件（31、32）上设有用于对各管线支承部件（40）进行定位的定位部，各管线支承部件（40）的上下端部以通过各横框部件（31、32）的定位部而被定位的状态，被夹持于各横框部件（31、32）和以能够装卸的方式安装于基座部件（30）的上、下罩部件（36、37）之间。
【专利说明】流体控制装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体制造装置等所使用的流体控制装置，尤其涉及多个流体控制仪器集成化而形成的流体控制装置。
【背景技术】
[0002]半导体制造装置中使用的流体控制装置中，将多条管线并列状地设置在基座部件上的集成化不断发展，其中，所述管线是多个流体控制仪器串联状地配置且不经由管、接头地连接从而形成的。作为集成化流体控制装置，在框体内以垂直状态设置的情况居多，在专利文献I中，作为这样的流体控制装置公开了下述构造:具有多条将多个流体控制仪器安装于一条可动轨道(管线支承部件)而形成的管线，多条管线的各可动轨道相对于朝向与其正交的方向的固定轨道(基座部件)以能够滑动的方式安装。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本特开2009 - 204090号公报
【发明内容】
[0006]发明所要解决的课题
[0007]根据上述以往的流体控制装置，通过将多个流体控制仪器预先组装于可动轨道，作为框体内的作业，只要进行将可动轨道安装于固定轨道的作业即可，具有能够容易地进行管线的增设(包括变更)的优点。
[0008]然而，关于可动轨道的定位及紧固方法，由于同时进行定位及紧固，因此存在为了对可动轨道(管线支承部件)进行定位耗费时间的问题。
[0009]另外，由于仅利用紧固部件(螺栓等)同时进行管线支承部件的定位及固定，因此是对紧固部件(螺栓)施加有多个较大应力(拉伸应力、剪切应力等)的构造。
[0010]并且，由于可动轨道的端部与固定轨道重叠，因此对流体控制仪器进行支承的部分的高度成为可动轨道(管线支承部件)的高度+固定轨道(基座部件)的高度，对其再增加流体控制仪器而得到的流体控制装置的高度变得较高，因此还存在用于对其进行收纳的空间(框体)变大的问题。
[0011]本发明的目的在于提供一种流体控制装置，通过使管线支承部件的固定容易，能够实现组装时间的缩短化。
[0012]另外，本发明的其他的目的在于提供一种流体控制装置，能够抑制对流体控制仪器进行支承的部分的高度的增加。
[0013]用于解决课题的手段
[0014]本发明的流体控制装置中，多个流体控制仪器安装于一个管线支承部件，多个管线支承部件以能够装卸的方式安装于基座部件，其特征在于，基座部件通过上横框部件以及下横框部件和与其正交的左右纵框部件而形成为方形的框状，在各横框部件上设置有用于对各管线支承部件进行定位的定位部，各管线支承部件的上下端部以通过各横框部件的定位部而被定位的状态被固定。
[0015]本说明书中，对于安装有流体控制仪器的管线支承部件，以将流体控制仪器近前地安装的状态(图9)作为主视图，正面、背面以及上下、左右以此为基准而确定。该状态是流体控制装置的典型的设置状态，但本发明的流体控制装置并不限于该设置状态，有时形成为方形的框状的基座部件以垂直(Y方向)的方式设置，另外，还存在形成为方形的框状的基座部件以水平(X方向、Z方向)的方式设置的情况。另外，在以垂直状态设置的情况下，还存在上横框部件在左右某一方、下横框部件在其另一方，各管线支承部件配置为上下平行的并列状的情况。
[0016]各管线支承部件相对于各横框部件的固定，例如，既可以通过两部件的嵌合而进行，也可以使用另外的部件(例如罩部件)而进行。
[0017]优选各管线支承部件被夹持于各横框部件和上、下罩部件之间，所述上、下罩部件以能够装卸的方式安装于基座部件。
[0018]各横框部件的定位部例如是在各横框部件的上表面形成的凹部，作为各管线支承部件，通过其上下端部嵌合于各横框部件的凹部而被定位。用于定位的结构并不限于此，也可以以凸部作为各横框部件的定位部，在各管线支承部件的上下端部设置与其嵌合的凹部。
[0019]优选在各横框部件上，在其至少两端部设置有螺纹孔，而罩部件在其两端部形成有外螺纹部件插入孔，通过外螺纹部件而以能够装卸的方式安装于横框部件。
[0020]作为各管线支承部件，例如，主体部分是截面倒U字状的钣金制。作为各横框部件，例如，是截面大致口字状的钣金制、不锈钢等的金属制扁条。在横框部件为截面大致口字状的情况下，优选以朝背面侧开口的方式配置，并在其上壁形成有凹部。作为纵框部件，例如，主体部分是截面倒U字状的钣金制。作为罩部件，例如，是截面大致L字状的钣金制。
[0021]作为流体控制仪器，能够使用开闭阀(进行流体通路的阻挡、开放的阀)、减压阀、压力以及流量的测定以及显示器、流量调整器(流量控制阀、质量流量控制器那样的热式质量流量控制装置、压力式流量控制装置等)等。
[0022]一条管线中，例如，成为下段层的多个通路块状接头部件通过外螺纹部件安装于管线支承部件，成为上段层的多个流体控制仪器通过来自上方的外螺纹部件以跨过相邻的接头部件的方式而安装于接头部件。这样一来，通过将来自上方的外螺纹部件拆下，能够将上段层的流体控制仪器单独地向上方取出。一条管线的结构不限于由下段层和上段层构成的结构，能够采用各种结构。
[0023]组装该流体控制装置时，将安装有所需的流体控制器的管线支承部件依次定位并固定(没有通过螺栓等将各管线支承部件固定的作业)。
[0024]在使用罩部件的情况，将全部的管线支承部件进行了定位后，只要将上下的罩部件通过螺栓等固定于基座部件(横框部件或者纵框部件)即可。
[0025]这样一来，能够通过上横框部件支承管线支承部件的自重，能够减少对作业者造成的重量的负担，减少作业的功夫、作业时间，并且，能够消除用于固定各管线支承部件的功夫，能够实现组装时间的大幅缩短化。
[0026]优选各管线支承部件具有平板状的仪器载置部和在其上端侧朝背面侧折弯的上折弯部，仪器载置部的上下端部与各横框部件的正面抵接，上折弯部与上横框部件的上表面抵接。
[0027]这样一来，管线支承部件的上折弯部通过上横框部件的上表面承受，由此，能够通过上横框部件支承管线支承部件的自重，并且能够抑制流体控制装置中对流体控制仪器进行支承的部分的高度的增加。
[0028]优选在各管线支承部件的上折弯部设置有向下方延伸的凸部，在上横框部件的上表面以所需间隔形成有能够供上折弯部的凸部嵌入的凹部。
[0029]上折弯部的凸部例如是上折弯部的背面侧端部向下侧被直角地折弯并且其左右宽度变短的部分。凸部的形状可以采用各种形状，与其相适应地确定上横框部件的凹部的形状。
[0030]这样一来，进行各管线支承部件的定位时，只要使上折弯部的凸部从上方(利用自重)嵌合于上横框部件的凹部即可，能够容易地进行各管线支承部件的定位。
[0031]更优选上横框部件的凹部以比管线支承部件的配置的间距小的间隔设置，将多个凹部以隔一个、隔2个等方式使用，从而能够对管线支承部件进行定位。
[0032]优选各管线支承部件还具有左右折弯部，该左右折弯部在仪器载置部的左右两缘朝背面侧折弯，在下横框部件的上表面，以所需间隔形成有能够供左右折弯部的下端部嵌入的凹部。
[0033]作为左右折弯部，其上下端部被切缺，与仪器载置部的上下长度相比其上下长度短，且形成为在仪器载置部的上下端部与上下横框部件的上表面抵接时以及将上折弯部的凸部从上方嵌合于上横框部件的凹部时的任一情况下都不会干扰上下横框部件的形状。
[0034]这样一来，能够通过左右折弯部对仪器载置部进行加强，并且，能够实现利用该折弯部的定位，能够确保各管线支承部件的强度，并且将结构简单化。
[0035]优选下横框部件的凹部的左右方向的宽度形成为:能够在下横框部件的一个凹部内嵌入相邻的管线支承部件的一方的左折弯部和另一方的右折弯部这双方的大小。
[0036]具体而言，下横框部件的凹部的左右方向的宽度=各管线支承部件的板厚的2倍即可。这样一来，能够无缝隙地配置相邻的管线支承部件，能够抑制各管线支承部件的松动，并且能够将装置的左右方向的总宽度减小。
[0037]优选下横框部件的凹部也以比管线支承部件的配置的间距小的间隔设置，将多个凹部以隔一个、隔2个等方式使用，从而能够对管线支承部件进行定位。另外，更优选上横框部件的凹部的左右方向的宽度与上横框部件的凹部的左右方向的宽度相等。
[0038]发明的效果
[0039]根据本发明的流体控制装置，由于基座部件通过上横框部件以及下横框部件和与其正交的左右纵框部件而形成为方形的框状，在各横框部件设置有用于对各管线支承部件进行定位的定位部，各管线支承部件的上下端部以通过各横框部件的定位部而被定位的状态被固定，因此在各管线支承部件的定位时，不需要基于螺栓等的固定作业，能够实现组装时间的大幅缩短化。
[0040]另外，各管线支承部件被夹持于各横框部件和上下罩部件之间，所述上下罩部件以能够装卸的方式安装于基座部件，由此，管线支承部件与各横框部件的定位构造(例如基于凸部与凹部的嵌合的定位)和固定构造(通过上下罩部件将管线支承部件固定的构造)被分开，由此，施加于用于安装上下罩部件的外螺纹部件的应力仅为通过上下罩部件将管线支承部件固定时产生的应力，能够不对外螺纹部件施加不需要的应力。
[0041]而且，各管线支承部件具有平板状的仪器载置部和在其上端侧朝背面侧折弯的上折弯部，仪器载置部的上下端部与各横框部件的正面抵接，上折弯部与上横框部件的上表面抵接，由此，能够抑制流体控制装置中支承流体控制仪器的部分的高度的增加。
【专利附图】
【附图说明】
[0042]图1是对本发明的流体控制装置的实施方式的主要部分省略罩部件而表示的立体图。
[0043]图2是对本发明的流体控制装置的实施方式的主要部分包含罩部件而表示的立体图。
[0044]图3表示本发明的流体控制装置的管线支承部件，图3 (a)是局部剖切主视图，图3 (b)是其侧视图，图3 (c)是其立体图。
[0045]图4是表示本发明的流体控制装置所使用的上横框部件的图，图4 Ca)是局部剖切俯视图，图4 (b)是图4 (a)的沿b — b线的剖视图，图4 (c)是局部剖切主视图。
[0046]图5是表示本发明的流体控制装置所使用的下横框部件的图，图5 Ca)是局部剖切俯视图，图5 (b)是图5 (a)的沿b — b线的剖视图，图5 (C)是局部剖切主视图。
[0047]图6是表示本发明的流体控制装置所使用的下罩部件的图，图6 Ca)是局部剖切俯视图，图6 (b)是图6 (a)的沿b — b线的剖视图，图6 (C)是局部剖切主视图。
[0048]图7是表示各管线支承部件与各横框部件的定位的结构的立体图。
[0049]图8是本发明的流体控制装置的主要部分的局部剖切垂直剖视图。
[0050]图9是表示本发明的流体控制装置的比较例的主视图。
[0051]图10是其侧视图。
[0052]附图标记的说明
[0053]30基座部件
[0054]31上横框部件
[0055]32下横框部件
[0056]33,34左、右纵框部件
[0057]36、37上、下罩部件
[0058]40管线支承部件
[0059]41仪器载置部
[0060]42上折弯部
[0061]43,44左、右折弯部
[0062]45 凸部
[0063]46凹部(定位部)
[0064]47凹部(定位部)
【具体实施方式】
[0065]以下参照附图对本发明的实施方式进行说明。[0066]以下的说明中，上下、左右是根据图9的上下、左右定义的，前后(正面以及背面)是以图9的纸面表侧为前(正面)、图9的纸面里侧为后(背面)定义的。
[0067]图9以及图10中，表示作为本发明对象的流体控制装置的I例(比较例)。
[0068]流体控制装置I具有多条管线，作为下段层的多个通路块状接头部件4安装于管线支承部件3、成为上段层的多个流体控制仪器5以跨过相邻的接头部件4的方式安装于接头部件4从而形成上述管线，各管线支承部件3相互平行地以能够装卸的方式安装于基座部件2。此外，各流体控制仪器5虽然各自具有不同功能，但由于是公知的因此以附图标记5对其进行统称，省略单独的说明。
[0069]基座部件2例如固定于框体的垂直的壁面等，通过对组装有接头部件4以及流体控制仪器5的管线支承部件3进行装卸而进行管线的变更、增设。
[0070]基座部件2通过配置于上侧的上横框部件11以及配置于下侧的下横框部件12、以及与它们正交的左纵框部件13以及右纵框部件14形成为方形的框状。
[0071]各流体控制仪器5通过来自上方的外螺纹部件而固定于所对应的接头部件4。另夕卜，各接头部件4通过来自上方的外螺纹部件而固定于管线支承部件3。
[0072]各横框部件11、12是不锈钢制扁条，在各横框部件11、12上，以所需间隔设置有将该横框部件11、12上下贯通的多个螺纹孔。
[0073]管线支承部件3是通过将钣金折弯而作为一体品形成的部件，构成为包括:平板状的仪器载置部21 ;在其两端将平板状的仪器载置部21的上下端部分别折弯而形成为折弯状的上下安装部22、23 ;与仪器载置部21的两缘相连的加强部24。
[0074]此外，仪器载置部21的上下端部的折弯形状，除了对钣金进行折弯成形以外，也可以以多个部件构成折弯形状等，只要能够获得与通过钣金的折弯而形成的上下安装部22,23同等的效果，可以是任何构成。
[0075]管线支承部件3的各安装部22、23，通过形成为与仪器载置部21的端部共面的平板状的平板部22a、23a和与其直角地相连的直角部22b、23b而成为大致L字状，在直角部22b,23设置有沿上下方向贯通的贯通孔25、26。
[0076]对于各管线支承部件3而言，上安装部22的直角部22b与上横框部件11的上表面(外表面)重叠，外螺纹部件10从上安装部22的直角部22b的上方(外侧)螺入上横框部件11的螺纹孔，由此其上端部固定于上横框部件11，另外，下安装部23的直角部23b与下横框部件12的下表面(外表面)重叠，外螺纹部件10从下安装部23的直角部23b的下方(外侧)螺入下横框部件12的螺纹孔，由此其下端部固定于下横框部件12。
[0077]进行上述的各管线支承部件3的固定时，由于各管线支承部件3的定位仅通过使该安装部22、23的贯通孔25、26和各横框部件11、12的螺纹孔15配合即可，因此能够简单并且容易地进行，能够实现组装时间的缩短化。另外，由于各管线支承部件3的形成为折弯状的安装部22、23的直角部22b、23b与各横框部件11、12的外表面重叠，因此使基座部件2(横框部件11、12)与管线支承部件3组合的高度不会成为基座部件2的高度十管线支承部件3的高度，而是基座部件2的高度+管线支承部件3的仪器载置部21的高度，与以往构造的固定轨道(基座部件)的高度+可动轨道(管线支承部件)的高度相比，能够降低高度。
[0078]在上述的流体控制装置I中，需要将各管线支承部件3分别通过外螺纹部件10安装，存在因此花费工时的问题(专利文献I的构造也存在相同的问题)。本发明的流体控制装置针对图9以及图10所示的流体控制装置I力图谋求消除用于固定各管线支承部件3的麻烦。以下，省略接头部件4以及流体控制仪器5的图示，仅对由基座部件30、管线支承部件40以及罩部件36、37构成的支承机构进行图示并说明。
[0079]如图1以及图2所示，基座部件30构成为包括上横框部件31以及下横框部件32和与它们正交的左纵框部件33以及右纵框部件34，各纵框部件33、34的上下两端部通过螺栓等的外螺纹部件35固定于各横框部件31、32的左右端部，从而形成为方形的框状。如后述那样，在各横框部件31、32设置有用于对各管线支承部件40进行定位的结构(上横框部件31的凹部(图中未体现)以及下横框部件32的凹部47)。
[0080]作为管线支承部件40，除了以附图标记40表示的宽度窄的部件(构成一条管线的部件)外，还使用宽度宽的部件(构成4条管线的部件)，在基座部件30的右侧部分，确保有用于设置追加的管线的空间。
[0081]各管线支承部件40并非分别通过螺栓等的外螺纹部件固定于各横框部件31、32，如图2所示，上下罩部件36、37通过螺栓等的外螺纹部件38而紧固于横框部件31、32从而固定。
[0082]如图3所示，各管线支承部件40具有:平板状的仪器载置部41 ;在其上端侧朝背面侧折弯的上折弯部42 ;在仪器载置部41的左右两缘朝背面侧折弯的左右折弯部43、44。
[0083]上折弯部42形成为方形且为水平状，在其背面部，设置有朝向下方延伸的大致方形的凸部45。左右折弯部43、44以上下方向上长的方形而形成为与仪器载置部41呈直角的垂直状，与仪器载置部41的上下长度相比，左右折弯部43、44的上下长度短。作为凸部45，是上折弯部42的背面侧端部向下侧被直角地折弯并且其左右宽度变短的结构。此外，虽省略图示，作为构成4条管线的宽度宽的管线支承部件，基本上是与图3相同的形状，并且是在其左右两侧分别设置有凸部而在中央部不设置有凸部的形状，或者是以恒定的间隔设置有凸部的形状。
[0084]如图4所示，上横框部件31形成为朝背面侧开口的剖面大致口字状，在上横框部件的上壁31a，朝向背面侧以所需间隔形成有能够供管线支承部件40的上折弯部42的凸部45嵌入的大致方形的凹部46。
[0085]如图5所示，下横框部件32与上横框部件31相同地，形成为朝背面侧开口的剖面大致〕字状，在下横框部件32的上壁32a，以与上横框部件31的凹部46相同的间隔形成有大致方形的凹部47。上横框部件31的凹部46仅设置于背面侧，而该凹部47则遍及上壁32a的前后方向的全长而形成，管线支承部件40的左右折弯部43、44的下端部能够嵌入该凹部47。
[0086]如图6所示，下罩部件37 (上罩部件36也为相同形状)形成为由垂直壁部37a以及水平壁部37b构成的剖面L字状，在其垂直壁部37a设置有贯通孔(螺栓插入孔)48。
[0087]图7以及图8中，表示了各管线支承部件40和各横框部件31、32组合并定位的状态。
[0088]该图中，在设置于上横框部件31的上表面(上壁31a)的凹部46中嵌入有管线支承部件40的上折弯部42的凸部45，并且，在设置于下横框部件32的上表面(上壁32a)的凹部47中嵌入有管线支承部件40的左右折弯部43、44的下端部。作为管线支承部件40的左右折弯部43、44，以在仪器载置部41的上下端部与上下横框部件31、32的正面抵接时、以及将上折弯部42的凸部46从上方嵌合于上横框部件31的凹部46时的任一情况下，都不会干扰上下横框部件31、32的方式，其上端与仪器载置部41的上端相比位于下方，其下端与仪器载置部41的下端相比位于上方。管线支承部件40中，仪器载置部41的上下端部与各横框部件31、32的正面抵接,上折弯部42与上横框部件31的上表面抵接。由此,管线支承部件40的上折弯部42被上横框部件31的上表面承受，从而管线支承部件40的自重通过上横框部件31而被支承。
[0089]因此，在各管线支承部件40的定位时，只要使管线支承部件40的上折弯部42的凸部45从上方(利用自重)嵌合于上横框部件31的凹部46即可，能够容易地进行各管线支承部件40的定位。另外，左右折弯部43、44对仪器载置部41进行加强，利用该折弯部进行定位，由此，能够同时实现各管线支承部件40的强度确保和构成的简单化。
[0090]另外，关于高度(正面与背面的距离)，使基座部件30 (横框部件31、32)与管线支承部件40配合的高度并非基座部件30的高度+管线支承部件40的高度，而是基座部件30的高度+管线支承部件40的仪器载置部41的高度(厚度)，与以往构造的固定轨道(基座部件)的高度+可动轨道(管线支承部件)的高度相比，能够降低高度，能够抑制流体控制装置中对流体控制仪器进行支承的部分的高度的增加。
[0091]下横框部件32的凹部47的左右的宽度成为各管线支承部件40的左右折弯部43、44的一个的厚度的2倍。因此，能够在下横框部件32的一个凹部47内嵌入相邻的管线支承部件40的一方的左折弯部43和另一方的右折弯部44这双方。
[0092]如图8 (以及图2)所示，对于上罩部件36而言，其水平壁部36b紧贴于上横框部件31的上壁31a上表面，其垂直壁部36a紧贴于管线支承部件40的上端部正面，对于下罩部件37而言，其水平壁部37b紧贴于下横框部件32的下壁(下表面)，其垂直壁部37a紧贴于管线支承部件40的下端部。
[0093]组装该流体控制装置时，将安装有所需的流体控制器的管线支承部件依次安装，此时，通过将各管线支承部件40的上折弯部42的凸部45嵌入上横框部件31的凹部46并且将其左右折弯部43、44的下端部嵌入下横框部件32的凹部47来进行定位。这样将全部的管线支承部件40定位后，如图2所示，将上下罩部件36、37通过外螺纹部件38安装于各横框部件31、32。由此，各管线支承部件40被夹持于上下横框部件31、32与上下罩部件36、37之间，安装有流体控制器的各管线支承部件40固定于基座部件30。因此，在各管线支承部件40的定位时，不需要基于螺栓等的固定作业，能够实现组装时间的大幅缩短化。另外，在管线的增设、变更以及维护时，只要将上下罩部件36、37拆下，进行所需的管线支承部件40的拆下、新的管线支承部件40的追加等之后，安装上下罩部件36、37即可，作为管线的增设、变更以及维护也能够实现其时间的缩短化。
[0094]此外，作为左右折弯部43、44，也可以相对于仪器载置部41不为垂直状，只要能够进行仪器载置部41的加强、另外在将多个管线支承部件40平行地配置时不干扰相邻的管线支承部件40便可以是任意形状。该情况下，只要与其相适应地变更下横框部件32的凹部形状即可。
[0095]工业实用性
[0096]本发明适用于多个流体控制仪器集成化而形成的流体控制装置。使用本发明的流体控制装置，能够实现组装时间的缩短化，另外，能够抑制对流体控制仪器进行支承的部分的高度的增加。
【权利要求】
1.一种流体控制装置，多个流体控制仪器安装于一个管线支承部件，多个管线支承部件以能够装卸的方式安装于基座部件，其特征在于， 基座部件通过上横框部件以及下横框部件和与其正交的左右纵框部件而形成为方形的框状，在各横框部件上设置有用于对各管线支承部件进行定位的定位部，各管线支承部件的上下端部以通过各横框部件的定位部而被定位的状态被固定。
2.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，各管线支承部件被夹持于各横框部件和上、下罩部件之间，所述上、下罩部件以能够装卸的方式安装于基座部件。
3.如权利要求1或2所述的流体控制装置，其特征在于，各管线支承部件具有平板状的仪器载置部和在其上端侧朝背面侧折弯的上折弯部，仪器载置部的上下端部与各横框部件的正面抵接，上折弯部与上横框部件的上表面抵接。
4.如权利要求3所述的流体控制装置，其特征在于，在各管线支承部件的上折弯部设置有向下方延伸的凸部，在上横框部件的上表面以所需间隔形成有能够供上折弯部的凸部嵌入的凹部。
5.如权利要求4所述的流体控制装置，其特征在于，各管线支承部件还具有左右折弯部，该左右折弯部在仪器载置部的左右两缘朝背面侧折弯，在下横框部件的上表面，以所需间隔形成有能够供左右折弯部的下端部嵌入的凹部。
6.如权利要求5所述的流体控制装置，其特征在于，下横框部件的凹部的左右方向的宽度形成为:能够在下横框部件的一个凹部内嵌入相邻的管线支承部件的一方的左折弯部和另一方的右折弯部这双方的大小。
【文档编号】F15B11/00GK103748393SQ201280033618
【公开日】2014年4月23日 申请日期:2012年5月11日 优先权日:2011年5月20日
【发明者】四方出, 吉田恒夫, 野岛新也 申请人:株式会社富士金