具有消音器的真空泵的制作方法

文档序号:16358169发布日期:2018-12-22 08:00阅读:596来源:国知局
具有消音器的真空泵的制作方法

本发明涉及一种真空泵,特别是双轴真空泵,诸如爪式真空泵或罗茨真空泵。

【背景技术】

这种真空泵包括泵壳体,该泵壳体限定了吸入室。吸入室连接有气体入口和气体出口。在吸入室内部布置有转子元件,其中在爪式泵或罗茨泵等的情况下,它们是布置在两个轴上的转子元件。两个轴分别被支撑在泵壳体中。真空泵特别地被配置为多级真空泵。根据要求,通常的做法是将最后的各级中的一级与用于气镇(“gasballast”)的入口的入口管道连接。在此,例如具有大气压的空气或其它气体可用作气镇。

特别是在具有高轴速度的预真空泵的情况下,当对着大气进行抽吸时会发出大的噪音。为了消除噪音,通常的做法是将外部消音器连接到气体出口。即使设置了用于气镇的入口管道,当气镇对着大气而打开时也会产生很大的噪音。为了消除这种声音,通常的做法是还在气镇入口处设置外部消音器。连接到真空泵的消音器通常包括布置在消音器中的消音材料。在潮湿的情况下,特别是当抽吸湿的气体时,这是不利的,因为水汽积聚在消音器中并且可以损坏它并且需要长的干燥时间。液体吸收可能导致消音效果的丧失或至少导致消音效果的恶化。进一步地,污染物可能沉积在这种吸收材料中,其中消音器的清洁是一个复杂的过程。

特别是当真空泵用于实验室或人员工作的其它领域时,需要对发生的噪声进行消音。然而,在此提供外部消音器是不利的,因为它们需要附加的空间。这在实验室等中是特别不利。



技术实现要素:

本发明的目的是开发一种真空泵,其中可以采用简单且节省空间的方式而实现消音。

根据本发明,该目的是分别通过权利要求1和2的特征而实现的。

根据本发明的消音真空泵特别是对抗大气输送的预真空泵。特别地,它们是双轴真空泵,例如爪式泵或罗茨泵。

真空泵包括布置在泵壳体中的吸入室。吸入室连接有气体入口和气体出口。在吸入室内部布置转子元件,其中,优选地,这些转子元件由支撑在泵壳体中的两个轴保持。优选地,在输送方向上,多个转子元件,特别是转子元件对是一个接一个地布置的,使得形成多个连续的泵级。根据本发明的真空泵可以是具有或不具有用于气镇的入口管道的真空泵。如果提供了用于气镇的入口管道,则该入口管道优选地通向大气,使得环境空气被用作气镇。同样地,取决于应用领域,可以使用另一种气体作为气镇,使得气镇连接到对应的气体供应系统。气镇的入口管道通常连接到最后的各泵级中的一个泵级。

根据本发明的第一优选实施例,当使用气镇时发生的大的且可能地高频的噪声被消音。为此目的,在入口管道的管道区段之间布置至少一个声音膨胀空间,特别是将至少一个声音膨胀空间集成到泵壳体中。通过提供至少一个这样的声音膨胀空间,根据膨胀式消音器的原理来执行消音。

根据独立的发明的第二优选实施例,提供了一种真空泵,其可以不包括用于气镇的入口管道或者其中这样的入口未提供有至少一个声音膨胀空间,其中特别是最后的泵级的气体出口连接有排放管道。优选地,排放管道连接有排气管路或排泄装置,气体通过排气管路输送到大气中。为了消音的目的,在排放管道的管道区段之间设置至少一个声音膨胀空间,该声音膨胀空间是集成到泵壳体中的。

真空泵的另一优选实施例是上述两个实施例的组合。因此,在这种真空泵中,因此提供了一方面具有至少一个声音膨胀空间的用于气镇的入口管道,以及另一方面具有至少一个声音膨胀空间的排放管道。

在上述所有实施例中,特别优选的是,至少一个声音膨胀空间被集成到泵壳体中,使得至少一个声音膨胀空间被布置在壳体盖和/或壳体侧壁中。优选地,所述至少一个声音膨胀空间既布置在壳体盖中又布置在壳体盖被安装到其上的侧壁中。这提供的优点是,通过简单地移除壳体盖,至少一个声音膨胀空间易于进入并且因此可以采用简单的方式进行清洁。进一步地,因此可以采用简单的方式来实现大的膨胀空间。

根据本发明的优选方面,至少一个声音膨胀空间被配置为使得在声音膨胀空间的入口开口处实现与管道区段相比的横截面的多倍增加。特别地,优选的是与管道区段的横截面相比,实现了横截面的多倍增加。因此,可以实现良好的消音效果。

根据布置在用于气镇的入口管道中和/或在用于输送的介质的排放管道中的消音器的另一优选实施例,提供了声音膨胀空间。在此,在用于气镇的入口管道中可以布置至少两个声音膨胀空间,和/或在用于气体的排放管道中可以布置至少两个声音膨胀空间。优选地,它们分别在流动方向上一个接一个地并且串联地布置。另外,优选的是,对应地一个接一个地布置的声音膨胀空间的形状和/或体积本质上是完全相同的。

根据声音膨胀空间的另一优选实施例,声音膨胀空间的入口和出口开口,特别是所有声音膨胀空间,如果提供多个这样的空间的话,则是相对于彼此以交错的方式而布置的。特别地,选择交错的布置,使得如在流动方向上所看到的那样,入口开口和出口开口并不相互重叠。进一步优选的是,既提供水平又提供垂直的交错的布置。

根据所述至少一个声音膨胀空间的另一优选方面,提供了管路区段。例如,管路区段与声音膨胀空间的入口连接并伸入后者中。特别地,管路区段具有与对应的管道区段相同的直径。由此,可以实现进一步的消音。优选地,入口开口和出口开口两者分别连接有管路区段,管路区段伸入到对应的声音膨胀空间中。

除了由在气镇的入口处和待输送的气体的排放管道中的优选实施例特别地实现的良好的消音效果之外,根据本发明的消音器的配置对于气镇入口是有利的,因为可以提供具有简单配置的旋转阀。当气镇入口通向大气时,这是特别有利的。甚至可以省略该阀。

由于将连接到出口管道的至少一个声音膨胀空间集成到根据本发明的泵壳体中,可以实现需要很小安装空间的经消音的真空泵。这同样适用于如下的真空泵:其中代替地或附加地对应的消音器连接到气镇的入口管道。

借助于根据本发明的真空泵,特别可以直接从大气吸入气镇,而不会产生很多噪音。特别地,在优选地若干个声音膨胀空间的优选实施例中,可以实现在小压力损失下的小气流损失。特别地,提供其中布置有声音膨胀空间的至少部分的壳体盖提供了如下的优点:它们不容易被污染并且易于清洁,因为特别是不使用窄的管道或多孔材料。根据本发明而配置的并被提供用于消音目的的声音膨胀空间还可用于连接到气密密封的泵。同样地,可以将根据本发明的声音膨胀空间布置在中间级的入口或出口中。进一步地,对应的布置可用于排气装置冲洗。此外,处理和投入使用很简单。

【附图说明】

下面参考附图,基于优选实施例详细地对本发明进行说明,其中:

图1示出了根据具有气镇入口的真空泵的本发明的实施例的示意性剖视图;

图2示出了具有根据本发明布置在排放管道中的声音膨胀空间的真空泵的示意性剖视图;

图3示出了其中在排放管道和用于气镇的入口管道中都设有消音器的透视示意剖视图;

图4示出了本质上上对应于图3的替代实施例的透视图;以及

图5至图7示出了用于消音目的的声音膨胀空间的替代配置的示意图。

【具体实施方式】

在图1中,示意性地示出了具有泵壳体10的真空泵。在泵壳体10中,吸入室22被配置用于形成多个级12、14、16、18、20。图示的示例性实施例是例如爪式泵,其中每级一个转子元件24被布置在吸入室22中。转子元件24由公共轴26保持,公共轴26特别是被支持在壳体10中。每个泵级12、14、16、18、20,转子元件24与未示出的相应的进一步转子元件配合,其中这些是由第二轴保持的。

在图1中,气体从左向右输送,其中气体通过气体入口28而被吸入并通过气体出口30而被排放。

在示例性实施例中,最后的仅一个泵级14连接有用于供给气镇的入口管道32。入口管道32包括管道区段34,管道区段34被配置为壳体10中的孔。进一步地,入口管道包括在连接到壳体10的壳体盖36中的被配置为凹槽的管道区段38、40以及被配置为孔的另一管道区段42。

在两个管道区段38、40和40、42之间分别提供相应的声音膨胀空间44。在图示的示例性实施例中,声音膨胀空间被部分地提供在壳体盖36中并且部分地提供在壳体10中。因此,通过移除壳体盖36,声音膨胀空间44易于清洁。

在图1所示的示例性实施例中,入口管道32的管道区段42连接有用于气镇的入口阀45。这是具有可旋转的阀体46的阀,用于打开和关闭阀入口管道48。

图2中示出的剖视图还图示了根据优选实施例的图1中所示出的真空泵,其中选择了相对于图1中所示出的截面,位于图1中所示出的截面的前面或后面的不同截面。图2中图示的真空泵的部分是出口。在此,排放管道30包括在壳体10中被布置为孔的管道区段50。布置在壳体盖36中并形成另一管道区段52的槽邻接管道区段30。声音膨胀空间44根据图1的入口管道的配置在流动方向上邻接前者,该声音膨胀空间连接到被配置为盖子36中的凹槽的管道区段54。另一声音膨胀空间44邻接所述管道区段,该声音膨胀空间然后连接到另一管道区段56。管道区段56进入排气管路58或与之连接。

分别布置在排放管道30中以及在对应的管道区段52、54、56之间的声音膨胀空间44是根据入口管道(图1)的声音膨胀空间44而配置的。

图3示出了壳体盖36的示意性透视图,其中壳体盖36的上侧60在已组装的状态下抵靠在泵壳体10的下侧62上(图1和2)。如在图3中特别可见,在图示的示例性实施例中,声音膨胀空间44具有相同的配置。声音膨胀空间44分别包括圆形横截面,其中底侧在边缘区域中是圆形的。另外,从图3中图示的示例性实施例可以看出,各个管道区段38、40、42和52、54、56分别是以水平和垂直交错的方式而布置的。这种交错的布置改善了消音效果。由于交错的布置,进入声音膨胀空间44的声波不能直接行进到相对的管道区段中。

为了进一步改善消音效果,如图4中图示的那样,可以分别将管路区段64连接到管道区段38、40、42和52、54、56,管路区段64分别伸入到声音膨胀空间44中。

在图5至图7中示意性示出了不同配置的声音膨胀空间44的进一步可能的实施例。对应的声音膨胀空间44可以是多于两个串联连接的声音膨胀空间44,其可以被布置用于气镇的入口和气体的出口的消音目的。在此,特别有利的是如图5和图6中图示的那样为声音膨胀空间提供附加的凸台或突起66,因为由此可以实现进一步的消音效果。还优选的是,流入和/或流出声音膨胀空间44的气体被引导通过管路区段64。

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