泵的制作方法

本发明涉及泵。

背景技术：

在日本特开2013－256887号公报中公开如下技术：在电磁式膜片泵中，一般使用由橡胶等弹性体构成的具有伞形(阀伞部)形状的止回阀，伞形(阀伞部)开闭时的撞击声成为振动音升高的较大的主要原因。

在日本特开2013－256887号公报中公开了如下电磁式膜片泵：既能够极力抑制装置的重量以及成本的增加，又能够提高静音性。该电磁式膜片泵具有按压膜片的周缘部来固定的膜片保持部。膜片保持部具有分隔壁，隔着该分隔壁，在其内侧具有用于形成膜片室的膜片室形成凹部，隔着分隔壁，在其外方具有用于形成吸气室以及排出室的吸气室形成凹部以及排出室形成凹部。在形成有吸气室形成凹部的分隔壁的内侧装配吸入阀，在形成有排出室形成凹部的分隔壁的外侧装配排出阀，在吸气室形成凹部以及排出室形成凹部设置有消音用的金属制阀罩。

在日本特开2013－256887号公报所公开的电磁式膜片泵中，为了提高静音性而需要追加消音用的金属制罩，从而有部件件数变多的可能性。

技术实现要素：

本发明的目的是提供能够降低泵发出的声音的技术。

本发明的示例性的泵具有：驱动部；通过驱动部的驱动而移动的可动部；容积通过可动部的移动而增减的泵室；构成泵室的上壁的隔壁部；以及设于隔壁部且供流体在上下方向上通过的流体通过部。流体通过部具备：具有在上下方向上贯通隔壁部的多个通气孔的阀座部；以及具有在上下方向上延伸的轴部且对多个通气孔进行开闭的阀芯。阀座部具有分配多个通气孔的第一区域以及第二区域。第一区域位于由包含轴部的中心线的相互正交的两个平面划分出的四个划分区中的以中心线为中心相互对置的两个划分区的一方，第二区域位于另一方。

例示的本发明提供能够降低泵发出的声音的技术。

有以下的本发明优选实施方式的详细说明，参照附图，可以更清楚地理解本发明的上述及其他特征、要素、步骤、特点和优点。

附图说明

图1是本发明的实施方式的泵的立体图。

图2是表示马达和曲柄部的立体图。

图3是分解表示图2所示的结构的一部分的立体图。

图4是分解表示图1所示的泵的一部分的分解立体图。

图5是从下侧观察第二块体的立体图。

图6是叠置第一块体、第二块体、以及盖体而成的层叠体的剖面立体图。

图7是从下方观察盖体的立体图。

图8是表示盖体中的流体的流动的图。

图9是用于说明阀座部的结构例的示意图。

图10是用于说明图9所示的阀座部的变形例的图。

图11是用于说明图9所示的阀座部的变形例的图。

图12是表示流体通过部与第一分隔壁的关系的一个例子的图。

图13是本实施方式的吸入侧阀座部的概略图。

图14是表示盖体的水平剖面的一部分的图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的例示的实施方式的泵进行详细说明。

图1是本发明的实施方式的泵1的立体图。泵1是流体用泵。如图1所示，泵1具有驱动部10、第一块体20、第二块体30、以及盖体40。驱动部10具有箱体11和马达12。马达12安装于箱体11的一侧面。

在本说明书中，将箱体11、第一块体20、第二块体30、以及盖体40叠置的方向定义为上下方向。相对于箱体11，将第一块体20侧设为上。另外，将后述的图3所示的马达12的输出轴12a延伸的方向定义为前后方向。前后方向与上下方向正交。将箱体11的与输出轴12a正交的两个面中的安装有马达12的面侧设为前侧。另外，将与以上定义的上下方向以及前后方向正交的方向定义为左右方向。如图1所示，在左右方向上排列的吸入端口41以及排出端口42中，相对于吸入端口41，将排出端口42侧设为右。按照以上的上下、前后、以及左右的定义，说明各部的形状、位置关系。但是，并非意在通过这些方向的定义来限定本发明的泵的使用时的朝向。

在泵1中，箱体11、第一块体20、第二块体30、以及盖体40以该顺序从下至上排列。在从上观察的俯视中，箱体11、第一块体20、第二块体30、以及箱体40均为矩形状，且是大致相同的尺寸。箱体11、第一块体20、第二块体30、以及箱体40以将四角对齐的方式叠置，通过上下延伸的第一螺钉2对四角进行固定而一体化。

图2是表示马达12和曲柄部13的立体图。图2中还一并示出后述的可动部22。图3是分解表示图2所示的结构的一部分的立体图。驱动部10除了马达12以外还具有曲柄部13。曲柄部13配置于箱体11的内部。固定于箱体11的前表面的马达12的输出轴12a漏出至箱体11的内部，并与曲柄部13连结。如图2以及图3所示，曲柄部13具有偏心旋转体131、连杆132、平衡器133、以及轴承134。

偏心旋转体131具有主体部1311和突出销1312。主体部1311是在前后方向上延伸的圆柱状。突出销1312从主体部1311的后端向后方突出。偏心旋转体131在前端具有在前后方向上延伸且供输出轴12a插入的轴安装孔(未图示)。突出销1312从轴安装孔偏心地配置。即，突出销1312相对于输出轴12a偏心地配置。通过在轴安装孔插入输出轴12a，从而偏心旋转体131安装于马达12。偏心旋转体131与输出轴12a一起旋转。

连杆132具有环状部1321、连结部1322、以及板状部1323。环状部1321是在前后方向上延伸的圆环状。连结部1322从环状部1321向上侧延伸。板状部1323为圆板状，在与上下方向正交的方向上扩展。连结部1322连结环状部1321和板状部1323。偏心旋转体131经由轴承134插入环状部1321。环状部1321的内径比主体部1311的外径大。轴承134的内圈与主体部1311的外周面对置。轴承134的外圈与环状部1321的内周面对置。突出销1312从环状部1321向后方突出。

平衡器133是圆柱状的锤部件。平衡器133具有在前后方向上贯通的销安装孔1331。销安装孔1331相对于平衡器133的中心轴偏心地配置。通过突出销1312插入销安装孔1331，从而平衡器133安装于偏心旋转体131。平衡器133与偏心旋转体131一起旋转。

输出轴12a通过马达12的驱动而旋转。伴随输出轴12a的旋转，偏心旋转体131以及平衡器133旋转。伴随偏心旋转体131的旋转，经由轴承134与偏心旋转体131连结的连杆132在上下方向上运动。即、曲柄部13将马达12的旋转变换成上下方向的往复运动。根据本实施方式的使用了马达12的驱动部10，例如能够构成小型的干式真空泵。

图4是分解表示图1所示的泵1的一部分的分解立体图。在图4中，省略了第一螺钉2。如图4所示，第一块体20具有第一框体部21和可动部22。即、泵1具有可动部22。第一框体部21在上下方向上延伸。可动部22的外周部由第一框体部21的上部支撑。

可动部22通过驱动部10的驱动而移动。在本实施方式中，可动部22是通过驱动部10的驱动而振动的膜片。根据本实施方式，例如能够构成小型的干式真空泵。详细而言，可动部22与连杆132的上下方向的运动连动地上下振动。

如图3以及图4所示，在本实施方式中，可动部22具有膜片部221和固定板222。膜片部221是圆板状的弹性部件。膜片部221可以是例如epdm(三元乙丙橡胶)或者硅酮橡胶等橡胶部件。如图3所示，膜片部221在上表面具有朝向上侧突出的环状的膜片凸部2211。膜片部221在中央部具有在上下方向上贯通的突起安装孔2212。

固定板222配置于膜片部221的上侧。详细而言，固定板222为圆板状，且被膜片凸部2211将周围包围。固定板222例如由铝等金属构成。但是，固定板222例如也可以由树脂等金属以外的材料构成。固定板222在下表面中央部具有朝向下侧突出的圆柱状的突起2221。突起2221插入膜片部221的突起安装孔2212。固定板222在中央部具有包含突起2221在内在上下方向上贯通的螺钉安装孔2222。通过在螺钉安装孔2222插入第二螺钉223，膜片部221与固定板222一起螺钉固定于连杆132的板状部1323。

图5是从下侧观察第二块体30的立体图。如图4以及图5所示，第二块体30具有第二框体部31和被第二框体部31包围的圆板状的隔壁部32。即、泵1具有隔壁部32。第二框体部31和隔壁部32也可以是单一部件，但也可以是分体部件。在本实施方式中，第一框体部31由塑料件构成。隔壁部32由塑料件构成，且在上表面侧配置有橡胶件。隔壁部32为板状，位于第二框体部31的上部侧。因此，如图5所示，第二块体30在下表面侧具有朝向上侧凹陷的第二块体凹部33。

在本实施方式中，隔壁部32在下表面侧具有朝向上侧凹陷的隔壁部凹部321。隔壁部凹部321沿圆形状的隔壁部32的外缘而形成，且包围后述的流体通过部34。由此，在固定板222在左右方向或者前后方向上倾斜的情况下，能够抑制固定板222和隔壁部32接触。

图6是叠置第一块体20、第二块体30、以及盖体40而成的层叠体50的剖面立体图。如图6所示，通过在第一块体20上配置第二块体30，从而形成由第二块体凹部33和可动部22包围而成的泵室60。即、泵1具有泵室60。隔壁部32构成泵室60的上壁。泵室60的容积通过可动部22的移动而增减。详细而言，通过可动部22向上侧移动，泵室60的容积减小。通过可动部22向下侧移动，泵室60的容积增加。

在隔壁部32设有多个流体通过部34。即、泵1具有供流体在上下方向上通过的多个流体通过部34。在本实施方式中，流体通过部34具有吸入侧流体通过部341和排出侧流体通过部342。吸入侧流体通过部341向泵室60吸入流体。排出侧流体通过部342从泵室60排出流体。相对于圆形状的隔壁部32的中心，吸入侧流体通过部341位于左侧，排出侧流体通过部342位于右侧。此外，在马达12向与本实施方式相反的方向旋转的情况下，相对于圆形状的隔壁部32的中心，吸入侧流体通过部341位于右侧，排出侧流体通过部342位于左侧。

在本实施方式中，如图4以及图5所示，吸入侧流体通过部341以及排出侧流体通过部342均各设两个。两个吸入侧流体通过部341以及两个排出侧流体通过部342均在前后方向上排列。但是，吸入侧流体通过部341以及排出侧流体通过部342的个数也可以分别为一个，也可以分别为三个以上。吸入侧流体通过部341和排出侧流体通过部342的个数也可以相互不同。

流体通过部34具有阀座部35和阀芯36。阀座部35具有在上下方向上贯通隔壁部32的多个通气孔37。通气孔37例如为圆形状。但是，通气孔37的形状并不限于圆形状，例如也可以为椭圆形状、多边形状。如图6所示，阀芯36具有在上下方向上延伸的轴部36a和设于轴部36a的一端的伞部36b。阀芯36对多个通气孔37进行开闭。详细而言，轴部36a相对于隔壁部32上下运动，从而切换伞部36b堵塞通气孔37的状态和通气孔37未被伞部36b堵塞的状态。

此外，详细而言，在阀座部35设有在上下方向上贯通隔壁部32且供轴部36a插入的轴安装孔35a(参照图6)。轴安装孔35a由于轴部36a的插入而被堵塞。

在本实施方式中，吸入侧流体通过部341具有吸入侧阀座部351和吸入侧阀芯361。排出侧流体通过部342具有排出侧阀座部352和排出侧阀芯362。吸入侧阀座部351和排出侧阀座部352的结构相互不同。对于这些详情，将于后文叙述。吸入侧阀芯361和排出侧阀芯362是相同的结构。

图7是从下方观察盖体40的立体图。例如，如图6以及图7所示，盖体40配置于隔壁部32的上侧。盖体40为向下侧开口的杯状。如图4以及图7所示，在盖体40的前侧面设有吸入端口41以及排出端口42。即、泵1具有吸入端口41和排出端口42。吸入端口41与吸入侧流体通过部341相通，吸入流体。排出端口42与排出侧流体通过部342相通，排出流体。吸入端口41以及排出端口42均为在前后方向上延伸的筒状。在泵1为真空泵的情况下，吸入端口41使用例如管等与成为真空的容器相通。通过泵1的驱动，气体从容器经由吸入端口41而被送入泵室60。气体从泵室60经由排出端口42向外部排出。盖体40、吸入端口41、以及排出端口42例如可以是通过树脂成形而构成的单一部件。吸入端口41以及排出端口42也可以是与盖体40分体的部件。

如图7所示，盖体40在内侧具有平板状的分离壁43。分离壁43将盖体40的内侧的空间左右二等分。即、盖体40具有由分离壁43左右分离的吸入室44和排出室45。在本实施方式中，吸入室44位于分离壁43的左侧，排出室45位于分离壁43的右侧。吸入室44与吸入端口41相通。从吸入端口41吸入的流体进入吸入室44。排出室45与排出端口42相通。排出室45的流体通过排出端口42而向泵1的外部排出。

盖体40在内侧具有上下延伸的筒状的第一分隔壁46。通过盖体40配置于第二块体30至上，从而第一分隔壁46包围流体通过部34。第一分隔壁46的下端部与隔壁部32的上表面接触。在本实施方式中，吸入室44和排出室45分别各设有两个圆筒状的第一分隔壁46。以下，将吸入室44侧的第一分隔壁46表现为吸入侧第一分隔壁461，将排出室45侧的第一分隔壁46表现为排出侧第一分隔壁462。吸入侧第一分隔壁461包围吸入侧流体通过部341。排出侧第一分隔壁462包围排出侧流体通过部342。

此外，在本实施方式中，在吸入侧以及排出侧，第一分隔壁46的个数与流体通过部34的个数一致，各为两个。第一分隔壁46的个数可以与流体通过部34的个数的变更一致地变更。

两个吸入侧第一分隔壁461沿分离壁43在前后方向上排列。两个排出侧第一分隔壁462沿分离壁43在前后方向上排列。在本实施方式中，吸入侧第一分隔壁461以及排出侧第一分隔壁462的侧面的一部与分离壁43连接。但是，吸入侧第一分隔壁461以及排出侧第一分隔壁462也可以与分离壁43不连接。在本实施方式中，与吸入侧第一分隔壁461相比，排出侧第一分隔壁462的直径更大。但是，排出侧第一分隔壁462和吸入侧第一分隔壁461也可以是直径相同，也可以是与吸入侧第一分隔壁461相比，排出侧第一分隔壁462的直径更小。

第一分隔壁46在侧面具有开口部46a。开口部46a既可以是切口，也可以是贯通孔。若将开口部46a做成切口，则可以避免对盖体40进行树脂成形时使用的金属模具变得复杂。在本实施方式中，开口部46a在吸入侧第一分隔壁461以及排出侧第一分隔壁462的任一方都是设于下端部的切口。在两个吸入侧第一分隔壁461，设置开口部46a的位置相同，且设于前方下端部。在两个排出侧第一分隔壁462，设置开口部46a的位置不同。前方的排出侧第一分隔壁462在前方下端部设有开口部46a。后方的排出侧第一分隔壁462在从前方下端部向右侧偏移的位置设有开口部46a。在本实施方式中，在前后方向上排列的两个排出侧第一分隔壁462连接，因此在两个排出侧第一分隔壁462之间，开口部46a的位置错开。

此外，在两个吸入侧第一分隔壁461之间，设置开口部46a的位置也可以不同。在两个排出侧第一分隔壁462，设置开口部46a的位置也可以相同。

盖体40在内侧具有上下延伸且包围第一分隔壁46的第二分隔壁47。在本实施方式中，在从上观察的俯视中，在吸入室44和排出室45分别设有矩形状的第二分隔壁47。在从上观察的俯视中，第二分隔壁47的后方侧面中的左右的端部的一方开口。以下，将吸入室44侧的第二分隔壁47表现为吸入侧第二分隔壁471，将排出室45侧的第二分隔壁47表现为排出侧第二分隔壁472。

在从上观察的俯视中，吸入侧第二分隔壁471的后方侧面中的右侧的端部开口。排出侧第二分隔壁472的后方侧面中的左侧的端部开口。即、吸入侧第二分隔壁471以及排出侧第二分隔壁472都是开口的端部侧与分离壁43连接。在本实施方式中，吸入侧第二分隔壁471以及排出侧第二分隔壁472分别通过在后方下端部各设于一个部位的切口部47a开口。切口部47a设于分离壁43的附近。吸入侧第二分隔壁471包围两个吸入侧第一分隔壁461。在吸入侧第二分隔壁471与吸入侧第一分隔壁461之间设有间隙。在吸入侧第二分隔壁471与构成吸入室44的盖体40的内壁之间设有间隙。排出侧第二分隔壁472包围两个排出侧第一分隔壁462。在排出侧第二分隔壁472与排出侧第一分隔壁462之间设有间隙。在排出侧第二分隔壁472与构成排出室45的盖体40的内壁之间设有间隙。

吸入侧第一分隔壁461以及排出侧第一分隔壁462在从上观察的俯视中为圆形状。吸入侧第二分隔壁471以及排出侧第二分隔壁472在从上观察的俯视中为矩形状。因此，流体从吸入端口41至吸入侧第一分隔壁461，流体通过的间隙的剖面面积反复增减。由此，流体与壁面碰撞，撞击声容易因摩擦而变换成热能。其结果，能够降低从排出端口42排出的撞击声，从而能够降低泵1的噪音。

通过由吸入侧第二分隔壁471包围吸入侧第一分隔壁461，从而能够使流体从吸入端口41至吸入侧第一分隔壁461的路径长度变长。通过由排出侧第二分隔壁472包围排出侧第一分隔壁462，从而能够使流体从排出侧第一分隔壁462至排出端口42的路径长度变长。由此，能够降低从排出端口42排出的撞击声，从而能够降低泵1的噪音。

此外，在本实施方式中，构成为第二分隔壁47包围多个第一分隔壁46，但并不限于此，也可以构成为第二分隔壁47仅包围一个第一分隔壁46。在该结构中，在第一分隔壁46具有多个的情况下，第二分隔壁47的个数也为多个。另外，第一分隔壁46也可以被包含第二分隔壁在内的多个分隔壁例如双层或者三层地包围。

图8是表示盖体40中的流体的流动的图。主要参照图6以及图8，对泵1的动作进行说明。

若马达12开始驱动，则可动部22开始上下方向的运动。若可动部22下降，则泵室60膨胀而成为负压。若泵室60成为负压，则吸入侧阀芯361下降，流体经由设于吸入侧阀座部351的通气孔37从吸入室44被吸入泵室60。在负压下，排出侧阀芯362保持将设于排出侧阀座部352的通气孔37封闭的状态。

此外，在吸入室44，从吸入端口41吸入流体。被吸入到吸入室44的流体通过构成吸入室44的盖体40的内壁与吸入侧第二分隔壁471之间的间隙到达切口部47a。到达了切口部47a的流体通过吸入侧第二分隔壁471与吸入侧第一分隔壁461之间的间隙，经由开口部46a进入吸入侧第一分隔壁461的内侧。吸入侧第一分隔壁461的内侧的流体经由通气孔37被吸入泵室60。

另一方面，若可动部22上升，则泵室60被压缩而成为正压。若泵室60成为正压，则排出侧阀芯362上升，流体经由设于排出侧阀座部352的通气孔37从泵室60向排出室45排出。在正压下，吸入侧阀芯361保持将设于吸入侧阀座部351的通气孔37封闭的状态。

排出到排出侧第一分隔壁461的内侧的流体经由开口部46a进入排出侧第一分隔壁462与排出侧第二分隔壁472之间的间隙，并通过该间隙到达切口部47a。到达了切口部47a的流体通过排出侧第二分隔壁472与构成排出室45的盖体40的内壁之间的间隙，经由排出端口42向外部排出。

通过可动部22的上下方向的运动的反复进行，上述的流体的吸入和排出反复进行。例如，在泵1为真空泵的情况下，通过泵1的吸入动作，从欲成为真空的容器向泵1吸入气体，通过泵1的排出动作，泵1从容器吸入的气体向外部排出。通过该反复，能够提高欲成为真空的容器的真空度。

图9是用于说明阀座部35的结构例的示意图。图9中也示出了阀芯36的轴部36a。在图9中，阀座部35具有分配多个通气孔37的第一区域r1和第二区域r2。第一区域r1位于由包含轴部36a的中心线c的相互正交的两个平面p1、p2划分出的四个划分区s1～s4中的以中心线c为中心相互对置的两个划分区s1、s3的一方，第二区域r2位于另一方。相互正交的两个平面p1、p2是假想的平面，可任意地设定。在本实施方式中，第一区域r1位于划分区s1，第二区域r2位于划分区s3。此外，轴部36a的中心线c如图6所示那样在上下方向上延伸。在图9中，轴部36a的中心线c在与纸面正交的方向上延伸。

根据图9中例示的结构，能够将第一区域r1和第二区域r2配置为在以轴部36a的中心线c为中心的周向上分离90°以上。即、根据图9中例示的结构，能够将设于阀座部35的通气孔37配置为偏置于以轴部36a的中心线c为中心的周向的一部分。根据这样的结构，在流体通过流体通过部34时，能够仅使伞部36b的偏置的位置相对于阀座部35容易浮起。其结果，流体通过后，阀芯36关闭通气孔37时，能够降低阀芯36与阀座部35碰撞时的冲击。通过该冲击的降低，能够降低因阀芯36与阀座部35的碰撞而产生的撞击声。

详细而言，第一区域r1和第二区域r2在以轴部36a的中心线c为中心的径向上对置。由此，能够使第一区域r1和第二区域r2在以轴部36a的中心线c为中心的周向上分离得远。因此，在沿周向错开了第一区域r1以及第二区域r2的位置，能够使伞部36b相对于阀座部35难以浮起。即、能够减少伞部36b浮起的范围。其结果，能够降低因阀芯36与阀座部35的碰撞而产生的撞击声。

第一区域r1以及第二区域r2分别具有一个通气孔37。由此，由于配置于各区域r1、r2的通气孔37的个数较少，因此能够使第一区域r1和第二区域r2容易分离。另外，由此，能够将通气孔37的个数设为最小限而抑制撞击声的产生。

详细而言，第一区域r1的通气孔37的中心和第二区域r2的通气孔37中心配置于以轴部36a的中心线c为中心的同一圆周上，且在周向上分离180°。第一区域r1的通气孔37和第二区域r2的通气孔37在从上观察的俯视中是直径为相同尺寸的圆形状。

图10以及图11是用于说明图9所示的阀座部35的变形例的图。在图10以及图11中还示出了阀芯36的轴部36a。分配于各区域r1、r2的通气孔37的个数并不限于一个，只要是一个以上即可。

例如，如图10所示，在阀座部35a中，分配至第一区域r1a以及第二区域r2a的通气孔37的个数可以均为多个。在图10所示的例子中，在各区域r1a、r2a中各分配有两个通气孔37。分配至各区域r1a、r2a的通气孔37的个数可以是三个以上。配置于各区域r1a、r1b的多个通气孔37的配置方式没有特别限定。多个通气孔37例如可以在以轴部36a的中心线c为中心的周向上排列配置、可以在径向上排列配置。

另外，如图11所示，在阀座部35b中，在第一区域r1b和第二区域r2b，通气孔37的排列方法可以不同。详细而言，在第一区域r1b和第二区域r2b，通气孔37的个数可以不同。在图11所示的例子中，第一区域r1b的通气孔37的个数是一个，在第二区域r2b的通气孔37的个数是两个。另外，在第一区域r1b和第二区域r2b配置有相同个数的多个通气孔37的情况下，多个通气孔37的设置位置以及排列方法可以不同。

图12是表示流体通过部34与第一分隔壁46的关系的一个例子的图。如图12所示，开口部46a优选在以轴部36a的中心线c为中心的周向上位于第一区域r1与第二区域r2之间。由此，能够在远离因阀芯36与阀座部35的碰撞而产生撞击声的位置的位置配置开口部46a。其结果，能够增长撞击声到达外部的路径长度。另外，在该结构中，由于撞击声通过作为狭窄空间的开口部46a，因此撞击声通过摩擦而变换成热能，能够减小向外部泄漏的撞击声。

此外，在图12所示的例子中，开口部46a在以轴部36a的中心线c为中心的周向上位于第一区域r1与第二区域r2的中间部。但是，开口部46a可以位于从上述的中间部向第一区域r1侧、或者第二区域r2侧偏移的位置。

吸入侧流体通过部341和排出侧流体通过部342中的至少排出侧流体通过部342的排出侧阀座部352具有分配多个通气孔37的第一区域r1以及第二区域r2。由此，至少在泵1中的流体的流动的下流侧配置有降低伴随阀芯36与阀座部35的碰撞而产生的撞击声的构造。即，根据本结构，至少在撞击声容易向外部泄漏的一侧配置有降低撞击声的构造。因此，与仅在吸入侧流体通过部341侧设置降低撞击声的构造的情况相比，能够提高撞击声的抑制效果。

在本实施方式中，排出侧阀座部352具有第一区域r1以及第二区域r2。即，排出侧阀座部352具有上述的图9所示的结构。吸入侧阀座部351没有第一区域r1以及第二区域r2。即，就吸入侧流体通过部341的吸入侧阀座部351而言，多个通气孔37的排列与排出侧阀座部352不同。由此，不仅能够提高与噪音相关的特性，还能够提高泵1的其它特性。

此外，吸入侧阀座部351也可以与排出侧阀座部352相同地，构成为具有第一区域r1以及第二区域r2。由此，能够增大因阀芯36与阀座部35的碰撞而产生的撞击声的抑制效果。

图13是本实施方式的吸入侧阀座部351的概略图。图13也示出了阀芯36的轴部36a。如图13所示，吸入侧阀座部351与排出侧阀座部352相比较，通气孔37的个数、直径、以及配置不同。此外，设于吸入侧阀座部351的多个通气孔37为相同尺寸以及相同形状。设于吸入侧阀座部351的多个通气孔37为圆形状。

详细而言，吸入侧阀座部351具有比排出侧阀座部352多的通气孔37。在本实施方式中，吸入侧阀座部351的通气孔37的个数是八个。吸入侧阀座部351的多个通气孔37沿以轴部36a的中心线c为中心的周向等间隔地配置。在本实施方式中，八个通气孔37在以轴部36a的中心线c为中心的周向上隔开45°配置。吸入侧阀座部351的通气孔37的直径比排出侧阀座部352的通气孔37的直径大。吸入侧阀座部351的多个通气孔37的中心配置于以轴部36a的中心线c为中心的同一圆周上。该圆周的直径比配置有排出侧阀座部352的通气孔37的中心的圆周的直径大。根据本实施方式，能够降低因撞击声而引起的噪音，并且能够提高泵效率。

但是，吸入侧阀座部351的通气孔37和排出侧阀座部352的通气孔37也可以是同一尺寸。吸入侧阀座部351的通气孔37的直径也可以比排出侧阀座部352的通气孔37的直径小。配置吸入侧阀座部351的多个通气孔37的圆周的直径和配置排出侧阀座部352的多个通气孔37的圆周的直径可以相同，也可以排出侧阀座部352一方更大。

在本实施方式中，在作为下游侧的流体通过部34的排出侧流体通过部342中，将通气孔37偏置地配置于第一区域r1以及第二区域r2，从而能够抑制伴随排出侧阀芯362与排出侧阀座部352的碰撞而产生的撞击声。并且，随着流体的流动而传向外部的撞击声在通过开口部46a、切口部47a、排出端口42之类的狭窄的空间时，容易变化成热能。并且，利用排出侧第一分隔壁462以及排出侧第二分隔壁472，使通过了排出侧流体通过部342的流体到达排出端口42的路径长度变长。因此，能够减小从排出端口42泄漏的撞击声。

图14是表示盖体40的水平剖面的一部分的图。如图14所示，排出端口42的内径比吸入端口41的内径小。详细而言，吸入端口41具有在前后方向上延伸的吸入侧筒部41a。吸入侧筒部41a的前端部与吸入端口的入口部分41b相通，后端部与吸入室44相通。排出端口42具有在前后方向上延伸的排出侧筒部42a。排出侧筒部42a的前端部与排出端口42的出口部分42b相通，后端部与排出室45相通。排出侧筒部42a的内径比吸入侧筒部41a的内径小。例如，排出侧筒部42a的内径为吸入侧筒部41a的内径的一半。此外，在本实施方式中，在前后方向上延伸的出口部分42b的直径也比入口部分41b的直径小。

在本实施方式中，向外部排出撞击声的排出端口42的内径狭窄地构成。因此，撞击声在通过排出端口42时容易通过摩擦而变换成热能。其结果，能够降低从排出端口42排出的撞击声。

本说明书中公开的各种技术性的特征在不脱离该技术性的创作主旨的范围内能够施加各种变更。另外，本说明书中所示的多个实施方式以及变形例可以在可能的范围内组合而实施。

在以上所示的实施方式中，可动部22做成了在上下方向上振动来使泵室60的容积变动的结构。并不限于该结构，例如，可动部22也可以做成在前后方向、左右方向上振动来使泵室60的容积变动的结构。该情况下，驱动部10的结构需要根据本实施方式的结构而变更。

另外，在以上所示的实施方式中，泵1做成了可动部22由膜片构成的膜片泵。并不限定于该结构，可动部22也可以由例如活塞等其它部件构成。

另外，在以上所示的实施方式中，做成了驱动部10具有马达12和曲柄部13的结构。不限于该结构，驱动部例如也可以做成具有电磁铁和伴随电磁铁的极性变化而振动的振动子的结构。即，本发明也能够应用于例如电磁式的膜片泵。

本发明能够利用于例如膜片泵。