微机电泵模块的制作方法

文档序号:18368144发布日期:2019-08-07 01:28阅读:来源:国知局
技术总结
一种微机电泵模块,包含:一微处理器,输出一定电压及一变电压;一微机电芯片,电连接微处理器,微机电芯片包含:一芯片本体,为一长方形态样,具有一短边;多个微机电泵,设置于芯片本体,且分别具有一第一电极及一第二电极;多个连接电极,设置于芯片本体且邻近短边,连接电极分别电连接微机电泵的第一电极;以及至少一共电极,设置于芯片本体且邻近短边,共电极电连接微机电泵的第二电极;其中,微处理器分别电连接连接电极及共电极,以传输该定电压至共电极以及传输该变电压至连接电极。

技术研发人员:莫皓然;余荣侯;张正明;戴贤忠;廖文雄;黄启峰;韩永隆;李伟铭
受保护的技术使用者:研能科技股份有限公司
技术研发日:2018.12.05
技术公布日:2019.08.06

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