一种水环式真空发生装置的制作方法

本实用新型属于真空发生装置技术领域，涉及一种水环式真空发生装置。

背景技术：

在半导体厂，厂务制程真空系统应用于提供制程设备的真空吸盘或吸笔来搬运传送晶片，是厂务系统中相当重要之支援系统。凡能将特定空间内的气体去除以减低气体分子数目，造成某种程度的真空状态的设备称之为真空发生装置。由于厂务制程真空度的要求为50-200torrabs之间，故真空发生装置大都为正位移排式，例如水环式真空发生装置。

其中市面上的水冷真空发生装置存在着诸如循环水杂质，泵体冷却不足，提供真空状态不稳定的问题，易造成吸盘或吸笔在搬运传送晶片中损坏晶片的风险。

技术实现要素：

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种水环式真空发生装置，具有冷却水循环管路，对真空泵进行快速高效冷却，保证了真空泵能长时间稳定工作。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种水环式真空发生装置，包括具有方形箱体的小推车，其特征在于，方形箱体内由隔板分隔为上腔室和下腔室，上腔室内固定有水箱，下腔室内固定有真空泵，真空泵具有进水端、进气端和液气出口端，进水端连接有进水管，进气端连接有进气管，水箱具有出水端、排污端、出气端和液气进口端，出水端连接有出水管，出气端连接有出气管，真空泵的液气出口端与水箱的液气进口端之间通过一连接管连通，进水管上连接有三通电磁阀，排污端与三通电磁阀之间通过排污管连通。

进一步的，所述的进气管、出气管、进水管、出水管均伸出方形箱体。

进一步的，出气管上连接有消音器。

进一步的，所述进气管上连接有调压阀和压力计。

进一步的，本水环式真空发生装置还包括一个设置在小推车一侧的水桶，所述出水管和进水管均连接在一个水桶上，出水管上连接有过滤组件，过滤组件包括过滤套管和过滤网，过滤网固定在过滤套管内。

进一步的，所述进水管上连接有手动阀。

与现有技术相比，本水环式真空发生装置具有以下优点：

真空泵在启动后气体和冷却水一起流动，冷却水在水桶、真空泵、水箱之间循环流动，将真空泵内的工作热量转移到冷却水中，对真空泵进行快速高效冷却，保证了真空泵能长时间稳定工作。

附图说明

图1为水环式真空发生装置的主视图；

图2为水环式真空发生装置的左视图；

图3为水环式真空发生装置的右视图。

图中，1、方形箱体；2、小推车；3、隔板；4、真空泵；41、进水端；42、进气端；43、液气出口端；44、进水管；45、进气管；5、水箱；51、出水端；52、排污端；53、出气端；54、液气进口端；55、出水管；56、出气管；57、排污管；6、连接管；7、三通电磁阀；8、消音器；9、调压阀；10、压力计；11、手动阀；12、水桶；13、过滤组件。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。

如图1-3所示，本水环式真空发生装置，包括具有方形箱体1的小推车2，方形箱体1内由隔板3分隔为上腔室和下腔室，上腔室内固定有水箱5，下腔室内固定有真空泵4，真空泵4具有进水端41、进气端42和液气出口端43，进水端41连接有进水管44，进气端42连接有进气管45，水箱5具有出水端51、排污端52、出气端53和液气进口端54，出水端51连接有出水管55，出气端53连接有出气管56，真空泵4的液气出口端43与水箱5的液气进口端54之间通过一连接管6连通，进水管44上连接有三通电磁阀7，排污端52与三通电磁阀7之间通过排污管57连通。

所述的进气管45、出气管56、进水管44、出水管55均伸出方形箱体1，出气管56上连接有消音器8，所述进水管44上连接有手动阀11，所述进气管45上连接有调压阀9和压力计10。

本水环式真空发生装置还包括一个设置在小推车2一侧的水桶12，所述出水管55和进水管44均连接在一个水桶12上，出水管55上连接有过滤组件13，过滤组件13包括过滤套管和过滤网，过滤网固定在过滤套管内。

工作原理：启动真空泵4后，打开手动阀11，水桶12内的冷却水被吸附到进水管44内，空气则被吸到进气管45内，此时三通电磁阀7将进水管44与排污管57的通道关闭，冷却水和空气一起进入到真空泵4内，冷却水对真空泵4进行冷却，最后空气和冷却水都由液气出口端43一起排出到水箱5内，空气则由出气端53排出，冷却水则有出水端51排回到水桶12内。当需要进水箱5内的污水进行清理时可以调节三通电磁阀7，使排污管57与进水管44连通，水箱5内的废水经排污管57，经过进水管44及手动阀11排出。

从水箱5流出的冷却水经过过滤组件13的过滤后流回水桶12，适时再加入新冷却水回流至真空泵4。

作为另一种方案，水桶12包括进水桶、出水桶和抽水泵，在进水桶内设置抽水泵将水从出水通抽至进水桶，适当补入冷却水至进水桶。需更换循环水时，打开手动阀11，排出水箱5内的水。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

技术特征：

1.一种水环式真空发生装置，包括具有方形箱体的小推车，其特征在于，方形箱体内由隔板分隔为上腔室和下腔室，上腔室内固定有水箱，下腔室内固定有真空泵，真空泵具有进水端、进气端和液气出口端，进水端连接有进水管，进气端连接有进气管，水箱具有出水端、排污端、出气端和液气进口端，出水端连接有出水管，出气端连接有出气管，真空泵的液气出口端与水箱的液气进口端之间通过一连接管连通，进水管上连接有三通电磁阀，排污端与三通电磁阀之间通过排污管连通。

2.根据权利要求1所述的一种水环式真空发生装置，其特征在于，所述的进气管、出气管、进水管、出水管均伸出方形箱体。

3.根据权利要求1所述的一种水环式真空发生装置，其特征在于，出气管上连接有消音器。

4.根据权利要求1所述的一种水环式真空发生装置，其特征在于，所述进气管上连接有调压阀和压力计。

5.根据权利要求1所述的一种水环式真空发生装置，其特征在于，本水环式真空发生装置还包括一个设置在小推车一侧的水桶，所述出水管和进水管均连接在一个水桶上，出水管上连接有过滤组件，过滤组件包括过滤套管和过滤网，过滤网固定在过滤套管内。

6.根据权利要求1所述的一种水环式真空发生装置，其特征在于，所述进水管上连接有手动阀。

技术总结
本实用新型提供了一种水环式真空发生装置，包括具有方形箱体的小推车，方形箱体内由隔板分隔为上腔室和下腔室，上腔室内固定有水箱，下腔室内固定有真空泵，真空泵具有进水端、进气端和液气出口端，进水端连接有进水管，进气端连接有进气管，水箱具有出水端、排污端、出气端和液气进口端，出水端连接有出水管，出气端连接有出气管，真空泵的液气出口端与水箱的液气进口端之间通过一连接管连通，进水管上连接有三通电磁阀，排污端与三通电磁阀之间通过排污管连通。真空泵在启动后气体和冷却水一起流动，冷却水在水桶、真空泵、水箱之间循环流动，将真空泵内的工作热量转移到冷却水中，对真空泵进行快速高效冷却，保证了真空泵能长时间稳定工作。

技术研发人员：杨兆明;颜凯;中原司
受保护的技术使用者：浙江芯晖装备技术有限公司
技术研发日：2020.01.07
技术公布日：2020.10.16