技术总结
本实用新型公开了一种扩散泵泵芯，包括位于中部的泵芯体，泵芯体上端设置顶喷嘴伞盖，泵芯体的外表面由上至下设有若干个喷嘴伞盖，相邻喷嘴伞盖之间设有包围在泵芯体外的分流导流腔；顶喷嘴伞盖通过连接杆与最下方喷嘴伞盖处的法兰相连，法兰下固定连接设置保温罩，保温罩底端固定连接底座油盘，最下方喷嘴伞盖处的法兰下连接有用于降低返油率的挡流圈。本实用新型能够控制返油率，在提高抽气量增加抽气效率的同时还控制了返油率。气效率的同时还控制了返油率。气效率的同时还控制了返油率。
技术研发人员：瞿建强
受保护的技术使用者：江阴市光科光电精密设备有限公司
技术研发日：2020.08.21
技术公布日：2021/6/8