一种晶圆机台机架箱体的抽气系统及其风扇安装支架的制作方法

1.本实用新型属于晶圆机台技术领域，尤其涉及一种晶圆机台机架箱体的抽气系统及其风扇安装支架。


背景技术：

2.现有技术中，晶圆机台机架箱体的抽气风扇的进气口和风扇设计到晶圆承载平台所在的层，并且抽气风扇使用直流风扇。这样晶圆机台机架箱体中使用直流风扇对晶圆承载平台所在的空间进行抽气，且直流风扇正对着晶圆承载平台。由于直流风扇的外部具有金属保护罩，当风扇产生故障时，比如叶片轴破裂脱落，叶片与金属保护罩摩擦产生颗粒碎片。风扇脱落造成刮蹭形成的颗粒碎片会对晶圆承载平台上的晶圆的表面造成一定的损伤，使得晶圆报废；并且因为缺少更灵敏的风扇故障检测手段，影响范围广，损失较大。
3.因此，对于上述问题，仍然需要一种改善的晶圆机台机架箱体的抽气系统和风扇安装支架。


技术实现要素：

4.基于此，有必要针对上述技术问题，本实用新型的目的在于提供一种晶圆机台机架箱体的抽气系统及其风扇安装支架。
5.基于上述目的，采用如下技术方案：
6.根据本实用新型，提供一种用于晶圆机台的风扇安装支架，包括：
7.支架主体，该支架主体是包括空腔的直板形主体；
8.延伸部，所述延伸部由所述支架主体的一端延伸而出，并且所述延伸部也包含空腔；
9.进气部，该进气部设置在延伸部上；
10.出气部，该出气部设置在支架主体的另一端上；
11.其中，与进气部相对的延伸部侧面与支架主体形成钝角。
12.进一步地，进气部为进气开口且与延伸部的空腔连通。
13.进一步地，支架主体还包括设置在进气部和出气部之间的安装部，通过安装部将风扇安装支架固定安装在晶圆机台的机架箱体的隔板上。
14.进一步地，延伸部的剖面为类直角梯形。
15.进一步地，延伸部与支架主体一体成型且延伸部的空腔与支架主体的空腔连通。
16.进一步地，出气部为抽气开口且与支架主体的空腔连通。
17.进一步地，风扇安装在出气部的抽气开口中。
18.进一步地，风扇为涡轮风扇。
19.根据本实用新型，提供一种晶圆机台机架箱体的抽气系统，包括：
20.机架箱体，该机架箱体包括设置在机架箱体的底部的底板、设置在机架箱体的顶部的顶板、以及将机架箱体分隔为多个空间且与顶板和底板平行设置的隔板；
21.如上所述的风扇安装支架；
22.安装基座，该安装基座设置在隔板的侧面，且与风扇安装支架的安装部固定连接；
23.其中，风扇安装支架的进气部位于隔板和顶板之间，以使得进气部抽走隔板和顶板之间空间的气体；风扇安装支架的出气部位于底板和隔板之间，风扇安装在出气部的抽气开口中，以使得风扇将从进气部抽进的气体排出到底板和隔板之间的空间。
24.进一步地，风扇为涡轮风扇。
25.本实用新型具有以下有益技术效果：本实用新型的晶圆机台机架箱体的抽气系统将直流风扇升级为涡轮风扇，避免叶片摩擦其它部件产生碎片颗粒，影响洁净度；并且，通过风扇安装支架将风扇的位置进行改造，将风扇下移动至晶圆承载平台的下一层，避免风扇正对晶圆承载平台，从根源上避免了风扇损坏时的碎片颗粒对晶圆承载平台上的晶圆的损坏。
附图说明
26.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的实施例。
27.图1为现有技术的风扇安装支架的立体示意图；
28.图2为现有技术的晶圆机台机架箱体的抽气系统的示意图；
29.图3为本实施例的风扇安装支架的立体示意图；
30.图4为本实施例的晶圆机台机架箱体的抽气系统的侧面示意图；
31.图5为本实施例的晶圆机台机架箱体的抽气系统的风扇异常检测系统的示意图；
32.【附图标记说明】
33.1：现有技术风扇安装支架；11：风扇安装件；12：主体；14：抽气开口；15：主体的一端；16：主体的另一端；17：安装孔；
34.2：晶圆机台机架箱体；21：底板；22：顶板；23：隔板；24：第一空间；25：第二空间；
35.3：风扇安装支架；31：支架主体；32：延伸部；33：进气开口；34：抽气开口；35：支架主体的一端；36：支架主体的另一端；37：安装部。
36.4：单片机；
37.5：涡流风扇。
具体实施方式
38.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型实施例进一步详细说明。
39.需要说明的是，本实用新型实施例中所有使用“第一”和“第二”等的表述均是为了区分两个相同名称非相同的实体或者非相同的参量，可见“第一”“第二”仅为了表述的方便，不应理解为对本实用新型实施例的限定，后续实施例对此不再一一说明。
40.如图1所示的为现有技术的风扇安装支架，如图2所示的为现有技术的晶圆机台机架箱体的抽气系统。
41.图1所示的用于晶圆机台的现有技术风扇安装支架1，包括风扇安装件11和主体12，风扇安装件11的底部设置有螺纹孔(未示出)，通过常规的螺栓
‑
螺母安装方式将风扇安装件11固定至主体12上。
42.该主体12是内部中空的长方形主体，优选地，主体的长250mm、宽60mm、高13mm。该风扇安装件11是内部中空的长方形件，其沿长度方向延伸的一侧面上包括沿长度方向设置的两个抽气开口14，该抽气开口14用于安装直流风扇且其形状与直流风扇的形状配合，优选地，主体的长140mm、宽60mm、高13mm。风扇安装件11安装在主体12的一端，大约占据主体12长70mm的位置。特别地，风扇安装件11设置抽气开口14的对侧面且与主体12接触的侧面上设置有通气开口，以使得主体12和风扇安装件11连通。主体12的另一端沿长度方向延伸的一侧面设置有安装孔17以将风扇安装支架1固定到晶圆机台上，且主体12的该端部不闭合以使得气体能够排出。
43.图2所示的晶圆机台机架箱体2，该机架箱体2包括设置在机架箱体的底部的底板21、设置在机架箱体的顶部的顶板22、以及将机架箱体分隔为第一空间24和第二空间25且与顶板22和底板21平行设置的隔板23；第一空间24放置了晶圆承载平台，第二空间25放置了提供动力的驱动马达。将风扇安装支架1通过其一端的安装孔17安装至隔板23的侧面，并且风扇安装支架1的直流风扇正对第一空间24，直流风扇将第一空间24的气体通过风扇安装支架1抽至第二空间25。
44.如图3所示的为本实施例的风扇安装支架，如图4所示的为本实施例的晶圆机台机架箱体的抽气系统。
45.图3所示的用于晶圆机台的风扇安装支架3，包括：
46.支架主体31，该支架主体31是包括空腔的直板形主体，并且支架主体的一端35延伸出延伸部32；延伸部32包含空腔；延伸部32与支架主体31一体成型且延伸部32的空腔与支架主体31的空腔连通。优选地，支架主体31的长约400mm、宽约70mm、高约10mm。
47.进气部，该进气部设置在延伸部32上；进气部为进气开口33且与延伸部32的空腔连通。
48.出气部，该出气部设置在支架主体的另一端36的沿长度方向延伸的侧面；出气部为抽气开口34且与支架主体31的空腔连通。风扇安装在出气部的抽气开口34中。
49.设置在进气部和出气部之间的安装部37，通过安装部37将风扇安装支架3固定安装在晶圆机台的机架箱体2的隔板23上。优选地，该安装部37为多个螺孔，可以通过螺栓
‑
螺母配合的方式将风扇安装支架3固定安装在晶圆机台的机架箱体的隔板23。
50.其中，与进气部相对的延伸部32侧面与支架主体31形成钝角。进气部所在的延伸部32侧面与支架主体31沿长度方向延伸的侧面平行。即，延伸部32沿长度方向的剖面为类直角梯形，优选地，延伸部32的上底长约10mm、下底长约110mm，上底和下底宽约70mm、一侧高约10mm，另一侧高约30mm。
51.优选地，风扇为涡轮风扇。
52.图4所示的晶圆机台机架箱体的抽气系统，为了更好的示出位置关系，图4采用侧视图的方式示出。该系统包括：
53.机架箱体2，该机架箱体2包括设置在机架箱体2的底部的底板21、设置在机架箱体2的顶部的顶板22、以及将机架箱体分隔为第一空间24和第二空间25且与顶板22和底板21
平行设置的隔板23；
54.如上所述的风扇安装支架3；
55.安装基座(未示出)，该安装基座设置在隔板23的侧面，且与风扇安装支架3的安装部37固定连接；
56.其中，风扇安装支架3的进气开口33位于隔板23和顶板22之间的第一空间24，以使得从进气开口33抽走隔板23和顶板22之间空间的气体；风扇安装支架3的出气部位于底板21和隔板23之间的第二空间25，风扇安装在出气部的抽气开口34中，以使得风扇将从进气开口33抽进的第一空间24的气体排出到底板21和隔板23之间的第二空间25。
57.优选地，风扇为涡轮风扇。
58.此外，图2和图4所示的晶圆机台机架箱体为相同的结构，因此，重复的部件采用同一附图标记。
59.在另一优选实施例中，晶圆机台机架箱体的抽气系统还具有风扇异常检测系统，如图5所示。
60.由于风扇采用涡流风扇，涡流风扇其自身具备脉冲信号。每个涡流风扇5都与单片机4通信连接，多个单片机4通过同一控制器进行控制，进而涡流风扇5通信连接至控制面板。控制器还与机台的警报装置进行通信连接。涡流风扇的脉冲信号依次通过单片机的脉冲电路(进行侦测转速)、逻辑电路，最终形成输出信号到控制器。当一个区域中的两个风扇如有一个检测到转速异常，输出信号都断开，机台的警报装置通过控制器接收到这个断开信号，机台发出警报。控制面板可以显示各个风扇的转速、设定风扇的转速上下限值、以及显示警报信号和风扇信号的on/off。
61.优选地，单片机为89c52单片机。
62.现有的机台警报为两个风扇同时故障时，机台才发出警报。本实施例引入了单片机，能够实现任何一个风扇故障(转速异常)均能发出警报。
63.以上是本实用新型公开的示例性实施例，但是应当注意，在不背离权利要求限定的本实用新型实施例公开的范围的前提下，可以进行多种改变和修改。尽管本实用新型实施例公开的元素可以以个体形式描述或要求，但除非明确限制为单数，也可以理解为多个。
64.所属领域的普通技术人员应当理解：以上任何实施例的讨论仅为示例性的，并非旨在暗示本实用新型实施例公开的范围(包括权利要求)被限于这些例子；在本实用新型实施例的思路下，以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合，并存在如上所述的本实用新型实施例的不同方面的许多其它变化，为了简明它们没有在细节中提供。因此，凡在本实用新型实施例的精神和原则之内，所做的任何省略、修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型实施例的保护范围之内。