扩散泵用加热盘的制作方法

文档序号:27861226发布日期:2021-12-08 13:03阅读:477来源:国知局

1.本实用新型实施例涉及加热器技术领域,具体涉及一种扩散泵用加热盘。


背景技术:

2.油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10

4~10

5帕,工作压力范围为10

1~10

4帕,抽速范围为几十至十几万升/秒(1升=10

3米3)。油扩散泵是获得高真空的主要设备,广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
3.油扩散泵中设有加热器,用于对扩散泵中的油加热。
4.但现有油扩散泵中的加热器,温度不易控制。


技术实现要素:

5.本实用新型的目的在于提供一种扩散泵用加热盘,以解决上述背景技术中的问题。
6.本实用新型实施例提供一种扩散泵用加热盘,包括:固定盘、加热丝和热电偶;
7.所述固定盘的中心设有第一通孔;
8.所述固定盘的顶面设有多个第一固定条,所述多个第一固定条在所述固定盘上呈放射状布设,所述第一固定条等间隔的设有多个第一容置槽;
9.所述加热丝包括:第一加热丝和第二加热丝;
10.所述第一加热丝和所述第二加热丝呈螺旋状的盘绕在所述固定盘上,嵌入在所述第一容置槽内,且所述第一加热丝和所述第二加热丝在所述固定盘上交替盘绕;
11.所述热电偶设置在所述固定盘上,位于所述第一加热丝和所述第二加热丝的上方;
12.所述第一加热丝、所述第二加热丝和所述热电偶的冷端从所述第一通孔穿出,用于与控制器电性连接。
13.基于上述方案可知,本实用新型的扩散泵用加热盘,通过设置固定盘、加热丝和热电偶,固定盘的顶面设有多个第一固定条,多个第一固定条在固定盘上呈放射状布设,第一固定条等间隔的设有多个第一容置槽,加热丝包括第一加热丝和第二加热丝,第一加热丝和第二加热丝呈螺旋状的盘绕在固定盘上,嵌入在第一固定条的第一容置槽内,且第一加热丝和第二加热丝在固定盘上交替盘绕,热电偶设置在固定盘上。本实用新型的扩散泵用加热盘,设置在扩散泵内,第一加热丝和第二加热丝间隔的盘绕在固定盘上,分别与控制器电性连接,控制器分别控制第一加热丝和第二加热丝的电性的通断,对温度的控制更加方便、准确。
14.在一种可行的方案中,还包括:第一盖板;
15.所述第一盖板设置在所述第一固定条上,用于封闭所述第一容置槽。
16.在一种可行的方案中,所述加热丝还包括:第三加热丝和第四加热丝;
17.所述固定盘的底面设有多个第二固定条,所述多个第二固定条在所述固定盘上呈放射状布设,所述第二固定条等间隔的设有多个第二容置槽;
18.所述第三加热丝和所述第四加热丝呈螺旋状的盘绕在所述固定盘上,嵌入在所述第二容置槽内,且所述第三加热丝和所述第四加热丝在所述固定盘上交替盘绕。
19.在一种可行的方案中,还包括:第二盖板;
20.所述第二盖板设置在所述第二固定条上,用于封闭所述第二容置槽。
21.在一种可行的方案中,所述固定盘、所述第一固定条、所述第二固定条、所述第一盖板和所述第二盖板的材质为不锈钢。
22.在一种可行的方案中,还包括:固定法兰;
23.所述第一加热丝、所述第二加热丝、所述第三加热丝、所述第四加热丝和所述热电偶的冷端固定穿设在所述固定法兰上,所述固定法兰用于固定。
24.在一种可行的方案中,所述固定法兰设有密封槽,所述密封槽用于供密封件嵌入。
25.在一种可行的方案中,所述密封槽呈刀口型,用于供紫铜环嵌入。
26.在一种可行的方案中,所述固定盘设有多个第二通孔;
27.所述多个第二通孔在所述固定盘上均匀布设。
附图说明
28.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
29.图1为本实用新型实施例中的扩散泵用加热盘的俯视示意图;
30.图2本实用新型实施例中的扩散泵用加热盘的主视示意图;
31.图3本实用新型实施例中的图2中的a处的放大图;
32.图4本实用新型实施例中的图2中的b处的放大图。
33.图中标号:
34.1、固定盘;11、第一通孔;12、第一固定条;121、第一容置槽;13、第一盖板;14、第二固定条;141、第二容置槽;15、第二盖板;16、第二通孔;2、加热丝;21、第一加热丝;22、第二加热丝;23、第三加热丝;24、第四加热丝;3、热电偶;4、固定法兰;41、密封槽。
具体实施方式
35.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
36.在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型
和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
37.在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,也可以是成一体;可以是机械连接,也可以是电连接,也可以是通讯连接;可以是直接连接,也可以通过中间媒介的间接连接,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
38.下面以具体地实施例对本实用新型的技术方案进行详细说明。下面这几个具体的实施例可以相互结合,对于相同或相似的概念或过程可能在某些实施例不再赘述。
39.如本技术背景技术中的描述,现有的油扩散泵中设有加热器,用于对扩散泵中的油加热。
40.本技术的发明人发现,现有的油扩散泵中的加热器,设有一根加热丝,加热丝在通电时对扩散泵中的油加热,但单根加热丝的设置对温度不易控制,温度的波动较大。
41.为了解决上述问题,本技术发明人提出了本技术的技术方案,具体实施例如下:
42.图1为本实用新型实施例中的扩散泵用加热盘的俯视示意图,图2本实用新型实施例中的扩散泵用加热盘的主视示意图,图3本实用新型实施例中的图2中的a处的放大图,图4本实用新型实施例中的图2中的b处的放大图。如图1至图4所示,本实施例的扩散泵用加热盘,包括:固定盘1、加热丝2和热电偶3。
43.固定盘1的中心设有第一通孔11。
44.固定盘1的顶面上设有多个第一固定条12,第一固定条12自固定盘1的中部向外侧延伸,多个第一固定条12在固定盘1上呈放射状的均匀布设,在第一固定条12上等间隔的设有多个第一容置槽121。
45.加热丝2包括第一加热丝21和第二加热丝22。
46.第一加热丝21和第二加热丝22呈螺旋状的盘绕在固定盘1的顶面上,第一加热丝21和第二加热丝22嵌入在第一固定条12的第一容置槽121内,且第一加热丝21和第二加热丝22在固定盘1上交替盘绕,即第一加热丝21和第二加热丝22相互交替的嵌入在第一固定条12的第一容置槽121内。
47.热电偶3设置在固定盘1的顶面上,位于第一加热器21和第二加热器22的上方,并通过钢丝绑带固定在加热丝上。
48.第一加热丝21、第二加热丝22和热电偶3的冷端从固定盘1中部的第一通孔11中向下穿出固定盘,分别用于与控制器电性连接。
49.通过上述内容不难发现,本实施例的扩散泵用加热盘,通过设置固定盘、加热丝和热电偶,固定盘的顶面设有多个第一固定条,多个第一固定条在固定盘上呈放射状布设,第一固定条等间隔的设有多个第一容置槽,加热丝包括第一加热丝和第二加热丝,第一加热丝和第二加热丝呈螺旋状的盘绕在固定盘上,嵌入在第一固定条的第一容置槽内,且第一加热丝和第二加热丝在固定盘上交替盘绕,热电偶设置在固定盘上。本实施例的扩散泵用加热盘,设置在扩散泵内,第一加热丝和第二加热丝间隔的盘绕在固定盘上,分别与控制器电性连接,控制器分别控制第一加热丝和第二加热丝的电性的通断,对温度的控制更加方
便、准确。
50.可选的,如图3所示,本实施例中的扩散泵用加热盘,还包括:第一盖板13。
51.第一盖板13的长度和宽度与第一固定条12的长度和宽度对应,第一盖板13设置在第一固定条12的顶面上,将第一固定条12上的第一容置槽121封闭,防止嵌入在第一容置槽121内的第一加热丝21和第二加热丝22从第一容置槽121内弹出。
52.可选的,本实施例中的扩散泵用加热盘,加热丝2还包括:第三加热丝23和第四加热丝24。
53.固定盘1的底面上设有多个第二固定条14,第二固定条14自固定盘1的中部向外侧延伸,多个第二固定条14在固定盘1上呈放射状布设,第二固定条14上等间隔的设有多个第二容置槽141。
54.第三加热丝23和第四加热丝24呈螺旋状的盘绕在固定盘1的底面上,第三加热丝23和第四加热丝24嵌入在第二固定条14的第二容置槽141内,且第三加热丝23和第四加热丝24在固定盘1上交替盘绕,即第三加热丝23和第四加热丝24相互交替的嵌入在第二固定条14的第二容置槽141内,第三加热丝23和第四加热丝24的冷端分别与控制器电性连接。设置第三加热丝和第四加热丝,可更加快速的加热,且对温度的控制更加的精准。
55.进一步的,本实施例中的扩散泵用加热盘,还包括:第二盖板15。
56.第二盖板15的长度和宽度与第二固定条14的长度和宽度对应,第二盖板15设置在第二固定条14的底面上,将第二固定条14上的第二容置槽141封闭,防止第三加热丝23和第四加热丝24从第二容置槽141内弹出。
57.进一步的,本实施例中的扩散泵用加热盘,还包括:固定法兰4。
58.第一加热丝21、第二加热丝22、第三加热丝23、第四加热丝24和热电偶3的冷端固定穿设在固定法兰4上,固定法兰4与扩散泵上的连接法兰固定连接,使加热盘固定在扩散泵上,方便加热盘的安装固定。
59.进一步的,本实施例中的扩散泵用加热盘,固定法兰4的底面上设有密封槽41。加热盘固定在扩散泵上时,固定法兰4的密封槽41内嵌入密封件,使得固定法兰4与扩散泵上的连接法兰之间密封,实现加热盘与扩散泵的密封连接。
60.进一步的,本实施例中的加热盘,固定法兰4上的密封槽41呈刀口型,加热盘在固定时,通过紫铜环等密封件嵌入在固定法兰4的刀口型的密封槽41内,使得加热盘与扩散泵之间具有更好的密封。
61.可选的,本实施例中的扩散泵用加热盘,固定盘1、第一固定条12、第二固定条14、第一盖板13和第二盖板15的材质为不锈钢。
62.进一步的,本实施例中的扩散泵用加热盘,固定盘1上设有多个第二通孔16。
63.多个第二通孔16在固定盘1上均匀布设,且第二通孔16布满整个固定盘,方便扩散泵内的液体的流动。
64.在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一特征和第二特征直接接触,或第一特征和第二特征通过中间媒介间接接触。
65.而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可以是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水
平高度低于第二特征。
66.在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述,意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任意一个或者多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外,在不相互矛盾的情况下,本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
67.最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
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