技术特征：
1.一种真空排气方法，通过真空泵装置对真空腔室进行排气，该真空排气方法的特征在于，包含如下工序：上升工序，在使所述真空泵装置起动之后，使所述真空泵装置的转速上升至规定的稳定速度；以及气体导入工序，在所述真空泵装置的转速到达所述稳定速度之后，向所述真空泵装置导入非活性气体。2.根据权利要求1所述的真空排气方法，其特征在于，所述稳定速度包含第一稳定速度，该第一稳定速度是所述真空泵装置的当前的转速中的逆变器输出变得大于所述真空泵装置的轴输出时的速度，在所述真空泵装置的转速到达所述第一稳定速度之后，执行所述气体导入工序。3.根据权利要求1所述的真空排气方法，其特征在于，所述稳定速度包含第二稳定速度，该第二稳定速度是所述真空泵装置的转速为额定转速时的速度，在所述真空泵装置的转速到达所述第二稳定速度之后，执行所述气体导入工序。4.根据权利要求1～3中任一项所述的真空排气方法，其特征在于，所述真空排气方法包含气体加热工序，通过与所述真空泵装置连接的非活性气体供给线路对所述非活性气体进行加热。5.根据权利要求1～3中任一项所述的真空排气方法，其特征在于，所述真空排气方法包含开动作工序，在所述气体导入工序中，打开开闭阀，该开闭阀安装于与所述真空泵装置连接的非活性气体供给线路。6.根据权利要求1～3中任一项所述的真空排气方法，其特征在于，所述真空排气方法包含如下工序：第一导入工序，通过从与所述真空泵装置连接的非活性气体供给线路分支的旁通线路将包含零流量的第一流量的非活性气体导入所述真空泵装置；以及第二导入工序，将大于所述第一流量的第二流量的非活性气体导入所述真空泵装置。7.一种真空排气系统，其特征在于，具备：真空泵装置，该真空泵装置对真空腔室进行排气；气体导入装置，该气体导入装置向所述真空泵装置导入非活性气体；以及控制装置，该控制装置对所述真空泵装置的动作和所述气体导入装置的动作进行控制，所述控制装置在使所述真空泵装置起动之后，使所述真空泵装置的转速上升至规定的稳定速度，在所述真空泵装置的转速到达所述稳定速度之后，所述控制装置控制所述气体导入装置而向所述真空泵装置导入所述非活性气体。8.根据权利要求7所述的真空排气系统，其特征在于，所述稳定速度包含第一稳定速度，该第一稳定速度是所述真空泵装置的当前的转速中的逆变器输出变得大于所述真空泵装置的轴输出时的速度，在所述真空泵装置的转速到达所述第一稳定速度之后，所述控制装置控制所述气体导入装置而向所述真空泵装置导入所述非活性气体。
9.根据权利要求7所述的真空排气系统，其特征在于，所述稳定速度包含第二稳定速度，该第二稳定速度是所述真空泵装置的转速为额定转速时的速度，在所述真空泵装置的转速到达所述第二稳定速度之后，所述控制装置控制所述气体导入装置而向所述真空泵装置导入所述非活性气体。10.根据权利要求7～9中任一项所述的真空排气系统，其特征在于，所述气体导入装置具备：非活性气体供给线路，该非活性气体供给线路与所述真空泵装置连接；以及气体加热结构，该气体加热结构通过所述非活性气体供给线路对所述非活性气体进行加热。11.根据权利要求10所述的真空排气系统，其特征在于，所述气体加热结构是对所述非活性气体供给线路进行加热的加热器。12.根据权利要求10所述的真空排气系统，其特征在于，所述气体加热结构是由所述真空泵装置的排气口侧的压缩热加热的泵壳体。13.根据权利要求7～9中任一项所述的真空排气系统，其特征在于，所述气体导入装置具备开闭阀，该开闭阀对非活性气体供给线路进行开闭，所述控制装置对所述开闭阀的开闭动作进行控制。14.根据权利要求7～9中任一项所述的真空排气系统，其特征在于，所述气体导入装置具备流量传感器，该流量传感器对在非活性气体供给线路流动的非活性气体的流量进行检测，所述控制装置基于从所述流量传感器发送的流量信号对开闭阀的状态进行判断。15.根据权利要求7～9中任一项所述的真空排气系统，其特征在于，所述气体导入装置具备开闭阀和流量传感器的组合，该开闭阀对非活性气体供给线路进行开闭，该流量传感器对在所述非活性气体供给线路流动的非活性气体的流量进行检测。16.根据权利要求7～9中任一项所述的真空排气系统，其特征在于，所述气体导入装置具备：旁通线路，该旁通线路从非活性气体供给线路分支，并与所述真空泵装置连接；以及流量控制装置，该流量控制装置通过所述旁通线路对导入所述真空泵装置的所述非活性气体的流量进行控制，所述控制装置执行第一导入工序，通过所述流量控制装置将包含零流量的第一流量的非活性气体导入所述真空泵装置，所述控制装置在执行所述第一导入工序且所述真空泵装置的转速到达所述稳定速度之后，执行第二导入工序，将大于所述第一流量的第二流量的非活性气体导入所述真空泵装置。17.根据权利要求16所述的真空排气系统，其特征在于，所述流量控制装置具备开闭阀，该开闭阀对所述旁通线路进行开闭。18.根据权利要求16所述的真空排气系统，其特征在于，所述流量控制装置具备流量调整阀或节流孔，该流量调整阀或节流孔安装于所述旁通
线路。
技术总结
本发明提供一种能够抑制副生成物的生成并解决伴随非活性气体的导入的问题的真空排气方法及真空排气系统。真空排气方法包含如下工序：在使真空泵装置(DP)起动之后，使真空泵装置(DP)的转速上升至规定的稳定速度的上升工序；以及在真空泵装置(DP)的转速到达稳定速度之后，向真空泵装置(DP)导入非活性气体的气体导入工序。体导入工序。体导入工序。
技术研发人员：佐佐木慎一郎 穂积崇史 盐川笃志
受保护的技术使用者：株式会社荏原制作所
技术研发日：2022.01.28
技术公布日：2022/8/30