一种滑阀真空泵的制作方法

1.本实用新型涉及滑阀装置技术领域，尤其涉及一种滑阀真空泵。


背景技术：

2.传统的滑阀真空泵一般设置有一个泵轴，该泵轴带动一个偏心轮转动。在真空滑阀泵的运转过程中，其旋转质量有较大的偏心，滑阀真空泵难以做到完美的质量平衡，所以在运转时会产生较大的震动。
3.若不对滑阀真空泵的震动进行消除，可能会造成单晶炉拉晶等径过程中液面共振，进而导致晶线断线，造成重大损失甚至重大安全事故。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种滑阀真空泵，其震动较小，在工作中能够实现动态平衡，保证安全生产。
5.如上构思，本实用新型所采用的技术方案是：
6.一种滑阀真空泵，包括：
7.第一泵体，为双层结构以形成第一冷却夹层，所述第一泵体内设置有第一泵腔，所述第一泵腔内设置有第一偏心轮，所述第一偏心轮连接有第一滑阀杆；
8.第二泵体，外表面与所述第一泵体的外表面连接，所述第二泵体为双层结构以形成第二冷却夹层，所述第二泵体内设置有第二泵腔，所述第二泵腔内设置有第二偏心轮，所述第二偏心轮连接有第二滑阀杆；
9.泵轴，能够绕自身轴线转动，所述泵轴沿第一方向延伸并依次穿过所述第一泵腔和所述第二泵腔，所述第一偏心轮和所述第二偏心轮均与所述泵轴连接，所述第一偏心轮和所述第二偏心轮相对所述泵轴呈180
°
对称分布；
10.减震系统，所述第一泵体和所述第二泵体上均设置有所述减震系统。
11.可选地，所述第一方向为水平方向，所述第一滑阀杆和所述第二滑阀杆分别位于所述泵轴的左右两侧。
12.可选地，所述减震系统包括弹簧减震垫。
13.可选地，所述第一泵体和所述第二泵体的下表面均安装有所述弹簧减震垫。
14.可选地，所述第一泵腔内设置有第一滑阀环，所述第一偏心轮安装于所述第一滑阀环的内侧，所述第一滑阀杆安装于所述第一滑阀环的外侧。
15.可选地，所述第一泵腔内设置有第一滑阀导轨，所述第一滑阀杆能够在所述第一滑阀导轨内运动。
16.可选地，所述第一泵体上设置有与所述第一泵腔连通的第一进气口，外界气体能够依次经由所述第一进气口、所述第一滑阀杆进入所述第一泵腔内。
17.可选地，所述第一泵体上设置有与所述第一泵腔连通的第一排气口，所述第一排气口内设置有第一排气阀。
18.可选地，所述第二泵体上设置有与所述第二泵腔连通的第二进气口，外界气体能够依次经由所述第二进气口、所述第二滑阀杆进入所述第二泵腔内，所述第二进气口与所述第一进气口的朝向相反。
19.可选地，所述第一泵体和所述第二泵体一体成型连接。
20.本实用新型提出的滑阀真空泵在使用时，由泵轴带动第一偏心轮和第二偏心轮同时转动，由于第一偏心轮和第二偏心轮相对泵轴呈180
°
对称分布，在转动时能够实现动态平衡；第一滑阀杆和第二滑阀杆分别安装在第一偏心轮和第二偏心轮上，在运动时第一滑阀杆和第二滑阀杆能够互相抵消偏心震动；第一泵体和第二泵体上均设置有减震系统，减震系统能够吸收震动，进一步对滑阀真空泵进行减震。
21.同时，第一泵体为双层结构以形成第一冷却夹层，第二泵体为双层结构以形成第二冷却夹层，从而能够在第一冷却夹层和第二冷却夹层内流通冷却液，实现对第一泵体和第二泵体的冷却降温，避免温度过高影响滑阀真空泵的安全性能。
附图说明
22.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本实用新型实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
23.图1是本实用新型实施例提供的滑阀真空泵的俯视图；
24.图2是图1中a-a截面的阶梯剖视图。
25.图中：
26.1、泵轴；
27.2、第一泵体；21、第一泵腔；22、第一偏心轮；23、第一滑阀杆；24、第一冷却夹层；25、第一滑阀环；26、第一进气口；27、第一滑阀导轨；28、第一排气阀；
28.3、第二泵体；31、第二泵腔；32、第二偏心轮；33、第二滑阀杆；34、第二冷却夹层；35、第二滑阀环；36、第二进气口；37、第二滑阀导轨；38、第二排气阀。
具体实施方式
29.为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部。
30.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置。
31.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安
装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
32.参见图1和图2，本实施例提供一种滑阀真空泵，其在工作时产生的震动较小，有益于生产安全系数的提高，避免在生产过程中因为引起其他物体的共振而导致重大损失甚至重大安全事故。
33.具体地，本实施例中，滑阀真空泵包括第一泵体2、第二泵体3、泵轴1和减震系统。
34.其中，第一泵体2为双层结构以形成第一冷却夹层24，第一泵体2内设置有第一泵腔21，第一泵腔21内设置有第一偏心轮22，第一偏心轮22连接有第一滑阀杆23。
35.第二泵体3外表面与第一泵体2的外表面连接，第二泵体3为双层结构以形成第二冷却夹层34，第二泵体3内设置有第二泵腔31，第二泵腔31内设置有第二偏心轮32，第二偏心轮32连接有第二滑阀杆33。
36.泵轴1能够绕自身轴线转动，泵轴1沿第一方向延伸并依次穿过第一泵腔21和第二泵腔31，第一偏心轮22和第二偏心轮32均与泵轴1连接，第一偏心轮22和第二偏心轮32相对泵轴1呈180
°
对称分布。
37.第一泵体2和第二泵体3上均设置有减震系统。
38.本实施例提供的滑阀真空泵在使用时，由泵轴1带动第一偏心轮22和第二偏心轮32同时转动，由于第一偏心轮22和第二偏心轮32相对泵轴1呈180
°
对称分布，在转动时能够实现动态平衡；第一滑阀杆23和第二滑阀杆33分别安装在第一偏心轮22和第二偏心轮32上，在运动时第一滑阀杆23和第二滑阀杆33能够互相抵消偏心震动；第一泵体2和第二泵体3上均设置有减震系统，减震系统能够吸收震动，进一步对滑阀真空泵进行减震。
39.同时，第一泵体2为双层结构以形成第一冷却夹层24，第二泵体3为双层结构以形成第二冷却夹层34，从而能够在第一冷却夹层24和第二冷却夹层34内流通冷却液，实现对第一泵体2和第二泵体3的冷却降温，避免温度过高影响滑阀真空泵的安全性能。
40.优选地，本实施例中，第一方向为水平方向，第一滑阀杆23和第二滑阀杆33分别位于泵轴1的左右两侧。也即，本实施例中，泵轴1横置，第一偏心轮22和第二偏心轮32的轴线也为横向，第一滑阀杆23和第二滑阀杆33也实现横置，从而将传统滑阀真空泵运转时产生的上下震动变为左右震动，使用时，滑阀真空泵安装于底面上，其左右两侧无其它物体，从而不会将震动传递给其它物体而引起其它物体的震动。
41.本实施例中，第一偏心轮22和第二偏心轮32相对泵轴1呈180
°
对称分布，泵轴1横置，第一偏心轮22和第二偏心轮32的轴线也为横向，从而使得第一滑阀杆23和第二滑阀杆33水平对称设置，运动时第一滑阀杆23和第二滑阀杆33能够互相抵消偏心震动。
42.具体地，本实施例中，减震系统包括弹簧减震垫。第一泵体2和第二泵体3的下表面均安装有弹簧减震垫。
43.优选地，本实施例中，第一泵体2和第二泵体3一体成型连接，共同形成泵体。优选地，泵轴1的轴线与泵体的中心线重合。
44.具体地，本实施例中，第一泵腔21内设置有第一滑阀环25，第一偏心轮22安装于第一滑阀环25的内侧，第一滑阀杆23安装于第一滑阀环25的外侧。
45.第一泵腔21内设置有第一滑阀导轨27，第一滑阀杆23能够在第一滑阀导轨27内运动。
46.第一泵体2上设置有与第一泵腔21连通的第一进气口26，外界气体能够依次经由第一进气口26、第一滑阀杆23进入第一泵腔21内。
47.第一泵体2上设置有与第一泵腔21连通的第一排气口，第一排气口内设置有第一排气阀28。
48.具体地，参见图2，第一滑阀杆23为长方形的滑阀杆，第一滑阀导轨27为半圆形，第一滑阀杆23能在第一滑阀导轨27中左右滑动及上下摆动，第一泵腔21被分隔成a室和b室，二者一个为吸气腔，另一个为排气腔。具体地，a室和b室两者中，与第一排气阀28连通的腔室为排气腔，另一个为吸气腔。在滑阀真空泵的运转过程中，a室和b室的容积均周期性地改变，使被抽入气体不断进入吸气腔，从而使得吸气腔的容积逐渐增大；同时，排气腔随着其容积的逐渐缩小而使气体受压缩，并通过第一排气阀28排出泵外。
49.具体地，本实施例中，第二泵腔31内设置有第二滑阀环35，第二偏心轮32安装于第二滑阀环35的内侧，第二滑阀杆33安装于第二滑阀环35的外侧。
50.第二泵腔31内设置有第二滑阀导轨37，第二滑阀杆33能够在第二滑阀导轨37内运动。
51.进一步地，本实施例中，第二泵体3上设置有与第二泵腔31连通的第二进气口36，外界气体能够依次经由第二进气口36、第二滑阀杆33进入第二泵腔31内，第二进气口36与第一进气口26的朝向相反。第二进气口36与第一进气口26的朝向相反，能够进一步平衡滑阀真空泵的震动。
52.第二泵体3上设置有与第二泵腔31连通的第二排气口，第二排气口内设置有第二排气阀38。
53.具体地，参见图2，第二滑阀杆33为长方形的滑阀杆，第二滑阀导轨37为半圆形，第二滑阀杆33能在第二滑阀导轨37中左右滑动及上下摆动，第二泵腔31被分隔成c室和d室，二者一个为吸气腔，另一个为排气腔。具体地，c室和d室两者中，与第二排气阀38连通的腔室为排气腔，另一个为吸气腔。在滑阀真空泵的运转过程中，c室和d室的容积均周期性地改变，使被抽入气体不断进入吸气腔，从而使得吸气腔的容积逐渐增大；同时，排气腔随着其容积的逐渐缩小而使气体受压缩，并通过第二排气阀38排出泵外。
54.以上实施方式只是阐述了本实用新型的基本原理和特性，本实用新型不受上述实施方式限制，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。