一种新型风囊泵的制作方法

本技术涉及阀泵装置，尤其涉及一种新型风囊泵。

背景技术：

1、目前，国内半导体等行业中控制强酸、强碱等高腐蚀性流体状态的泵阀高度依赖进口，国内尚无可靠耐用的自动切换方向阀泵产品进行国产技术替代。为实现半导体等行业制程中，利用逻辑电路控制电磁阀切换方向实现风囊泵在高腐蚀流体输送的可控性、密封性、耐用性。现有的风囊泵主要采用逻辑电路控制电磁阀切换方向实现风囊泵的工作，该过程中风囊泵需要用逻辑电路控制电磁阀切换方向时，风囊泵才能切换工作方向；当风囊泵局部故障时不能识别停止工作，电磁阀会继续切换工作方向，容易加重风囊泵的损伤。

技术实现思路

1、发明目的：本实用新型的目的是提供一种新型风囊泵，提高左右腔室内风囊的协同性，提高风囊泵逻辑切换安全性能和液体输送效率。

2、技术方案：本实用新型所述的一种新型风囊泵，所述风囊泵包括：

3、泵体，所述泵体中央设置有阀板，所述泵体由阀板分隔成左腔室和右腔室；在左腔室、右腔室内分别安装有风囊；所述阀板中央位于两组风囊之间设置有驱动柱，所述驱动柱可沿着阀板左右移动；所述左腔室或右腔室内风囊进气鼓胀将挤压驱动柱向异侧移动并挤压异侧风囊收缩排气；

4、其中，所述阀板两侧分别设置有阀腔流道，其一阀腔流道中央与左腔室连通，另一阀腔流道中央与右腔室连通，且两道阀腔流道上下端分别由进液流道、出液流道连通，阀腔流道上下端分别设置有阀球，所述阀球控制阀腔流道进口端或出口端单向导通；所述左腔室或右腔室内风囊收缩将控制相应阀腔流道的进液流道导通并进液，且左腔室或右腔室内风囊鼓胀将控制相应阀腔流道的出液流道导通并排液。

5、优选的，所述泵体在左腔室或右腔室外端固定连接有螺纹端管以及连接在螺纹端管上的端盖，所述端盖将风囊固定压紧在左腔室或右腔室内，且端盖上设置有与风囊连通的进气孔和出气孔。

6、优选的，所述出气孔设置在端盖中央，且在端盖内侧开设有出气孔连通的安装沉孔；所述安装沉孔内设置有活塞组件，且活塞组件的活塞杆前端支撑在风囊中央。

7、优选的，所述端盖上与进气孔、出气孔对应连接有开关阀，所述开关阀控制向风囊进气或排气。

8、优选的，所述开关阀为电动阀或磁控阀。

9、有益效果：与现有技术相比，本实用新型具有如下突出的优点：

10、本实用新型的风囊泵结构紧凑，左腔室内风囊和右腔室内风囊可通过膨胀或收缩协同动作，实现两道阀腔流道分别进行单向进液或单向排液，从而实现高腐蚀流体连续进液、排液，保持液体输送的稳定性；该风囊泵生产成本低、密封性好、耐腐蚀性好，可满足高腐蚀流体连续进液、排液。

技术特征：

1.一种新型风囊泵，其特征在于，所述风囊泵（1）包括：

2.根据权利要求1所述的新型风囊泵，其特征在于，所述泵体（11）在左腔室或右腔室外端固定连接有螺纹端管（115）以及连接在螺纹端管上的端盖（12），所述端盖（12）将风囊（16）固定压紧在左腔室（113）或右腔室（114）内，且端盖（12）上设置有与风囊（16）连通的进气孔（116）和出气孔（118）。

3.根据权利要求2所述的新型风囊泵，其特征在于，所述出气孔（118）设置在端盖（12）中央，且在端盖（12）内侧开设有出气孔连通的安装沉孔（117）；所述安装沉孔（117）内设置有活塞组件（18），且活塞组件（18）的活塞杆前端支撑在风囊（16）中央。

4.根据权利要求3所述的新型风囊泵，其特征在于，所述端盖（12）上与进气孔（116）、出气孔（118）对应连接有开关阀，所述开关阀控制向风囊（16）进气或排气。

5.根据权利要求4所述的新型风囊泵，其特征在于，所述开关阀为电动阀或磁控阀。

技术总结
本技术公开了一种新型风囊泵，包括泵体，泵体由阀板分隔成左腔室和右腔室，在左腔室、右腔室内安装有风囊；阀板中央设置可左右移动得驱动柱，左腔室或右腔室内风囊进气鼓胀将挤压驱动柱向异侧移动并挤压异侧风囊收缩排气；阀板两侧分别设置有阀腔流道，其一阀腔流道中央与左腔室连通，另一阀腔流道中央与右腔室连通，且两道阀腔流道上下端分别由进液流道、出液流道连通，阀腔流道上下端分别设置控制单向导通的阀球；风囊收缩将控制相应阀腔流道的进液流道导通并进液，风囊鼓胀将控制相应阀腔流道的出液流道导通并排液。本技术结构紧凑、协同性好、生产成本低、密封性好、耐腐蚀性好，可满足高腐蚀流体连续进液、排液。

技术研发人员：杨晓飞,杨鹏,裴嘉宁
受保护的技术使用者：南京华榕微电子科技有限公司
技术研发日：20230330
技术公布日：2024/1/14