真空泵的固定部件的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种环状的固定部件，该环状的固定部件作为真空栗的构成部件，被收纳于栗壳内，前述真空栗将借助该栗壳内的转子的旋转吸入的气体排出。
【背景技术】
[0002]以往，作为将借助栗壳内的转子的旋转吸入的气体排出的真空栗，例如已知有专利文献I中记载的涡轮分子栗。该文献I的涡轮分子栗构成为，借助转子(R)的旋转从吸气口(凸缘14a附近)吸入气体，将吸入的气体从排气口(15a)排出(参照该文献I的0024段的记载)。
[0003]另外，在该文献I的祸轮分子栗中，米用在栗机壳(14)的内侧设置内侧机壳(142)、进而在该内侧机壳(142)的内侧收纳前述转子(R)的结构，并采用以下结构:作为借助内侧机壳(142)吸收由转子(R)在旋转中破损产生的破坏性的能量(以下称为破坏能)的机构，在前述内侧机壳(142)和前述栗机壳(14)之间形成间隙(T)，由此使由破坏能引起的内侧机壳(142)的变形变得可能，借助该变形吸收破坏能。
[0004]但是，根据该文献I中记载的涡轮分子栗，虽然转子(R)的破坏能被转化为内侧机壳(142)的变形能，但是没有考虑构成该内侧机壳(142)的材料的伸长量来设定前述间隙(T)。因此，虽然设置了前述间隙(T)，但是有无法充分吸收破坏能的情况。另外，从省空间化的观点来看，在实现涡轮分子栗的紧凑化的方面，不考虑材料的伸长量的前述间隙(T)的设定是实现紧凑化时造成障碍的主要原因之一。
[0005]此外，前述括弧内的附图标记是专利文献I使用的附图标记。
[0006]专利文献1:日本特许第4197819号公报。
【发明内容】
[0007]本发明是为了解决前述问题点做出的发明，其目的是提供一种适用于实现破坏能(由于转子在旋转中破损产生的破坏性的能量)的降低的真空栗的固定部件和具备该固定部件的真空栗。
[0008]为了实现前述目的，本发明是一种真空栗的固定部件，是作为真空栗的构成部件被收纳于栗壳内的环状的固定部件，前述真空栗将借助该栗壳内的转子的旋转吸入的气体排出，其特征在于，前述固定部件在被收纳于前述栗壳内的状态下，在该固定部件的外周面与前述栗壳的内周面之间形成有满足下述条件的间隙，条件:2d/D< emax，D:前述固定部件的外径，2d:前述间隙的宽度，前述固定部件的断裂伸长率。
[0009]在前述本发明中，也可以是，其特征在于，前述固定部件借助铸造制成。
[0010]在前述本发明中，也可以是，其特征在于，前述固定部件是借助金属模具铸造制成的金属模具铸件。
[0011 ]在前述本发明中，也可以是，其特征在于，前述固定部件是在砂型铸造后实施了热处理的砂型铸件。
[0012]在前述本发明中，也可以是，其特征在于，前述固定部件在借助前述铸造制造时，加入添加剂，使前述断裂伸长率与原材机加工件等同。
[0013]在前述本发明中，也可以是，其特征在于，前述固定部件由铝合金构成。
[0014]另外，本发明是具备前述固定部件的真空栗。
[0015]在本发明中，作为被收纳于栗壳内的环状的固定部件的具体结构，该固定部件在被收纳于栗壳内的状态下，在其外周面和栗壳的内周面之间形成有满足前述条件的间隙。因此，即使在由于破坏能导致固定部件发生最大伸长变形的情况下，即，在固定部件发生伸长变形至与其断裂伸长率大致相同程度的附近的情况下，伸长变形的固定部件也不接触栗壳的内表面，或者仅是轻轻接触的程度，因此，能够提供一种真空栗的固定部件和具备该固定部件的真空栗，前述固定部件能够有效防止破坏能经由伸长变形的固定部件传递至栗壳侧的现象，能够在固定部件处充分吸收破坏能，并且，适用于在实现栗壳的小型化的同时实现破坏能的降低。
【附图说明】
[0016]图1是具备涉及本发明的真空栗的固定部件的真空栗的剖视图。
[0017]图2(a)是构成图1的真空栗的间隔件(一半)的剖视图，(b)是该间隔件的俯视图。
[0018]图3是铝合金的应力应变曲线图。
【具体实施方式】
[0019]以下参照附图对用于实施本发明的最优的实施方式进行详细说明。
[0020]图1是具备涉及本发明的真空栗的固定部件的真空栗的剖视图，在图2中，(a)是构成图1的真空栗的间隔件(一半)的剖视图，(b)是该间隔件的俯视图。
[0021]图1的真空栗P作为例如半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能电池板制造装置中的处理腔或其它密闭腔的气体排出机构等被利用。
[0022]在图1的真空栗P中，外壳I通过将筒状的栗壳C和栗基座B在其筒轴向上借助紧固机构E—体连结，构成为有底的圆筒形状。
[0023]栗壳C的上端部侧(图1中纸面上方)作为气体吸气口IA开口，另外，在栗基座B上设置气体排气口 2。此外，气体吸气口 IA连接于例如半导体制造装置的处理腔等高真空的未图示的密闭腔，气体排气口 2连通并连接于未图示的辅助栗。
[0024]在栗壳C内的中央部设置有圆筒状的定子柱3。该定子柱3立设在栗基座B上，在定子柱3的外侧设置有转子4，在定子柱3的内侧内置有磁轴承MB和驱动马达MT等各种电装部件，前述磁轴承MB作为支承转子4的机构，前述驱动马达MT作为旋转驱动该转子4的机构。此夕卜，磁轴承MB和驱动马达MT是公知的，因此省略其具体结构的详细说明。
[0025]转子4在栗基座B上能够旋转地配置，被栗基座B和栗壳C包围在内部。另外，该转子4为包围定子柱3的外周的圆筒形状，构成为下述结构:由连结部4A将直径不同的两个筒体(第I筒体4B和第2筒体4C)在其筒轴向上连结，并且，由端部件4D将该第I筒体4B的上端面侧堵塞。
[0026]在转子4的内侧安装有旋转轴41，由内置于前述定子柱3的磁轴承MB支承旋转轴41，以及，由内置于前述定子柱3的驱动马达MT旋转驱动旋转轴41，由此，转子4构成为，围绕其轴心(前述旋转轴41)能够旋转地被支承，并且围绕其轴心被旋转驱动。在该结构的情况下，前述旋转轴41、内置于定子柱3的前述磁轴承MB及驱动马达MT作为转子4的支承及驱动机构发挥功能。也可以借助与此不同的结构将转子4围绕其轴心能够旋转地支承并旋转驱动。
[0027]图1的真空栗P具备气体流路R作为将气体引导至排气口2来从该排气口 2向外部排出的机构，前述气体借助栗壳C内的转子4的旋转被从吸气口 IA吸入。
[0028]作为前述气体流路R的一实施方式，在图1的真空栗P中，该气体流路R整体的前半段的吸气侧气体流路RU比转子4的连结部4A更靠上游的上游侧)由多个旋转翼6和多个固定翼7形成，前述多个固定翼6被配设在转子4的外周面，前述多个固定翼7经由间隔件9被固定在栗壳C的内周面，后半段的排气侧气体流路R2(比转子4的连结部4A更靠下游的下游侧)借助转子4的外周面(具体来说是第2筒体4C的外周面)和与之对置的螺纹槽栗定子8形成为螺纹槽状的流路。
[0029]若进一步详细地说明吸气侧气体流路Rl的结构，则在图1的真空栗P中，构成吸气侧气体流路Rl的旋转翼6以转子4旋转中心等栗轴心为中心放射状地排列配置多个。另一方面，构成吸气侧气体流路Rl的固定翼7以经由间隔件9在栗径向及栗轴向上被定位的形式固定配置于栗壳C的内周侧，并且，以栗轴心为中心放射状地排列配置多个。
[0030]而且，在图1的真空栗P中，构成为，如前述那样放射状地配置的旋转翼6和固定翼7沿着栗轴心交替多层配置，由此吸气侧气体流路Rl被形成。
[0031]在由以上的结构构成的吸气侧气体流路Rl中，借助驱动马达MT的开动，转子4及多个旋转翼6—体地高速旋转，由此旋转翼6将朝下方向的动量施加给从气体吸气口 IA入射的气体分子。具有该朝下方向的动量的气体分子借助固定翼7被向下层的旋转翼侧送入。如以上这样的对气体分子的动量的施加动作和送入动作重复多层地进行，由此气体吸气口侧的气体分子通过吸气侧气体流路Rl，以向排气侧气体流路R2的方向依次移动的方式被排出。
[0032]接下来，若进一步详细地说明前述排气侧气体流路R2的结构，则在图1的真空栗P中，构成排气侧气体流路R2的螺纹槽栗定子8为将转子4的下游侧外周面(具体来说为第2筒体4C的外周面，以下也一样)包围的环状的固定部件，并且，配置为其内周面侧隔开既定间隙地与转子4的下游侧外周面(具体来说为第2筒体4C的外周面)对置。
[0033]另外，在该螺纹槽栗定子8的内周部形成有螺纹槽8A，螺纹槽8A的深度以朝向下方小径化的圆锥形变化，从螺纹槽栗定子8的上端到下端螺旋状地刻设。
[0034]而且，在图1的真空栗P中