技术总结
本发明提供一种阀门机构及半导体加工设备，其用于开启或封闭腔室的阀口，包括阀板以及用于驱动该阀板上升或下降的驱动装置，其中，阀板设置在腔室的内部，且阀板与阀口分别具有倾斜的对接面，阀板的对接面与阀口的对接面相互平行。阀板通过上升或下降使其对接面与阀口的对接面相接触或相分离，以实现阀口的开启或封闭。本发明提供的阀门机构，其可以在腔室体积不变的前提下，减小半导体加工设备的整体体积，同时使腔室布局更为紧凑。
技术研发人员：王桐
受保护的技术使用者：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
文档号码：201510778471
技术研发日：2015.11.13
技术公布日：2017.05.24