新型石英源瓶阀门的制作方法

本发明涉及太阳能电池片制造领域、半导体集成电路及其他领域，具体来说是涉及一种用于盛装化学品(三氯氧磷、三溴化硼等)石英源瓶等容器上的新型阀门。

背景技术：

目前，在太阳能电池片制造领域中盛装化学品(三氯氧磷、三溴化硼等)的石英源瓶上的控制阀门均采用的是两个阀门来分别控制石英源瓶的进气和出气状态。如在中国专利CN100383441C公开的源瓶专用组合管阀件中，该阀门采用的是两个阀门来分别控制石英源瓶上的进气和出气的打开或关闭，且阀门打开或关闭状态阀位指示不明确。经实践证明，上述操作存在一定的安全隐患，尤其是误操作，当进气阀打开，出气阀未打开或未完全打开时，会导致石英源瓶爆瓶事故的发生。

技术实现要素：

本发明所要解决的技术问题是提供一种结构简单、操作简便、进气和出气同时控制、阀位开关指示明确、可避免误操作的新型石英源瓶阀门。

本发明采用的技术方案是：阀体内的阀芯上端连接旋柄，阀体内有穿过阀芯的进气通道和出气通道，阀芯上有与进气通道和出气通道相对应的进气孔和出气孔。

所述阀体、阀芯采用PFA、PTFE等高纯耐腐蚀材质制成。

本发明具有如下有益效果：通过一个阀门可实现石英源瓶进气、出气的同时打开或关闭，阀位开、关状态指示明确，操作简便，避免误操作带来石英源瓶爆瓶事故的发生，提高操作使用安全性。

附图说明

图1为本发明实施例1阀门打开状态结构示意图。

图2为本发明实施例1阀门关闭状态结构示意图。

图3为本发明实施例2阀门打开状态结构示意图。

图4为本发明实施例2阀门打开状态俯视结构示意图。

图5为本发明实施例2阀门关闭状态结构示意图。

图6为本发明实施例2阀门关闭状态俯视结构示意图。

图中1阀体、2旋柄、3阀芯、4进气通道、5出气通道、6进气孔、7出气孔。

具体实施方式

实施例1：阀体1内的阀芯3上端连接旋柄2，阀体1内有穿过阀芯3的进气通道4和出气通道5，阀体1内的进气通道4和出气通道5上下排列，阀体1的上部有穿过阀芯3的进气通道4，阀体1的下部有穿过阀芯3的出气通道5，阀芯3上有与进气通道4和出气通道5相对应的进气孔6和出气孔7。阀体1、阀芯3采用PFA、PTFE等高纯耐腐蚀材质制成。在操作时，通过旋柄2旋转阀芯3，实现所有通道的同时打开，当阀芯3再旋转90°时，所有通道同时关闭，实现进气通4道和出气通道5的同时控制，避免误操作带来的安全隐患。

实施例2：阀体1内的阀芯3上端连接旋柄2，阀体1内有穿过阀芯3的进气通道4和出气通道5，阀体1内的进气通道4和出气通道5为前后水平排列，阀体1的前部有穿过阀芯3的进气通道4，阀体1的后部有穿过阀芯3的出气通道5，阀芯3上有与进气通道4和出气通道5相对应的进气孔6和出气孔7。阀体1、阀芯3采用PFA、PTFE等高纯耐腐蚀材质制成。在操作时，通过旋柄2旋转阀芯3，实现所有通道的同时打开，当阀芯3再旋转90°时，所有通道同时关闭，实现进气通4道和出气通道5的同时控制，避免误操作带来的安全隐患。

需要说明的是：本发明不仅限用于石英源瓶，还可应用于盛装其它高纯化学品的容器；还可通过改变阀门的材质(如不锈钢、铜等)，增加通道，应用于其他领域，适用于两种或多种物质同时进、出的情况。