技术总结
一种新型石英源瓶阀门，阀体内的阀芯上端连接旋柄，阀体内有穿过阀芯的进气通道和出气通道，阀芯上有与进气通道和出气通道相对应的进气孔和出气孔。阀体内穿过阀芯的进气通道和出气通道上下排列，也可以前后水平排列，阀体、阀芯采用PFA、PTFE等高纯耐腐蚀材质制成。本发明具有如下有益效果：通过一个阀门可实现石英源瓶进气、出气的同时打开或关闭，阀位开、关状态指示明确，该阀门具有操作简便，避免误操作带来石英源瓶爆瓶事故的发生，提高操作使用安全性。
技术研发人员：向东;宋一成;王祥权
受保护的技术使用者：向东
技术研发日：2016.12.21
技术公布日：2018.06.29