真空阀、真空泵以及真空排气系统的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明提供一种能够进行与真空泵的状况相应的阀动作的真空阀。真空阀具备：阀片，受到开闭驱动；阀驱动部，对阀片进行开闭驱动；通信端子133，输入表示真空泵的动作状态的泵信息信号；以及阀控制部13，基于所输入的泵信息信号来控制阀动作。

技术研发人员：中村雅哉;小崎纯一郎;中谷敦夫;平田伸幸
受保护的技术使用者：株式会社岛津制作所
技术研发日：2017.11.14
技术公布日：2018.07.20